1.一種激光裝置，其特征在于，
該激光裝置具備：
激光諧振器，其使激光振蕩；
冷卻水供給裝置，其將用于冷卻上述激光諧振器的冷卻水提供給上述激光諧振器；
水溫計(jì)，其測(cè)量被提供給上述激光諧振器的冷卻水的溫度；
溫濕度調(diào)整裝置，其調(diào)整放置有上述激光諧振器的空間的溫度以及濕度的至少一方；
溫度計(jì)，其測(cè)量通過(guò)上述溫濕度調(diào)整裝置調(diào)整后的空氣的溫度；
濕度計(jì)，其測(cè)量通過(guò)上述溫濕度調(diào)整裝置調(diào)整后的空氣的濕度；
控制部，其根據(jù)通過(guò)上述溫度計(jì)測(cè)量到的溫度以及通過(guò)上述濕度計(jì)測(cè)量到的濕度，來(lái)計(jì)算用于判定能否通過(guò)上述冷卻水供給裝置進(jìn)行冷卻水的供給的基準(zhǔn)溫度或基準(zhǔn)濕度；以及
比較部，其比較上述基準(zhǔn)溫度和冷卻水溫度，或者比較上述基準(zhǔn)濕度和通過(guò)上述濕度計(jì)測(cè)量到的濕度，
上述冷卻水供給裝置被構(gòu)成為：在輸出了用于啟動(dòng)上述激光諧振器的指令后，在上述冷卻水溫度比上述基準(zhǔn)溫度低時(shí)，或者在通過(guò)上述濕度計(jì)測(cè)量到的濕度比上述基準(zhǔn)濕度高時(shí)，停止上述冷卻水的供給，當(dāng)上述冷卻水溫度在上述基準(zhǔn)溫度以上時(shí)，或者當(dāng)通過(guò)上述濕度計(jì)測(cè)量到的濕度在上述基準(zhǔn)濕度以下時(shí)，開(kāi)始或繼續(xù)上述冷卻水的供給。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝置，其特征在于，
上述基準(zhǔn)溫度是放置有上述激光諧振器的空間內(nèi)的露點(diǎn)或?qū)υ撀饵c(diǎn)加上預(yù)定的余量后的值，上述基準(zhǔn)濕度是放置有上述激光振蕩器的空間的結(jié)露產(chǎn)生濕度或從該結(jié)露產(chǎn)生濕度減去了預(yù)定的余量后的值。
3.一種激光裝置，其特征在于，
該激光裝置具備：
激光諧振器，其使激光振蕩；
冷卻水供給裝置，其將用于冷卻上述激光諧振器的冷卻水提供給上述激光諧振器；
水溫計(jì)，其測(cè)量被提供給上述激光諧振器的冷卻水的溫度；
溫濕度調(diào)整裝置，其調(diào)整放置有上述激光諧振器的空間的溫度以及濕度中的至少一方；
溫度計(jì)，其測(cè)量通過(guò)上述溫濕度調(diào)整裝置調(diào)整后的空氣的溫度；
濕度計(jì)，其測(cè)量通過(guò)上述溫濕度調(diào)整裝置調(diào)整后的空氣的濕度；
控制部，其決定被提供給上述激光諧振器的冷卻水的控制目標(biāo)溫度，并且根據(jù)通過(guò)上述溫度計(jì)測(cè)量到的溫度以及通過(guò)上述濕度計(jì)測(cè)量到的濕度，計(jì)算用于判定能否通過(guò)上述冷卻水供給裝置進(jìn)行冷卻水的供給的基準(zhǔn)溫度；
水溫調(diào)整裝置，其根據(jù)上述控制目標(biāo)溫度調(diào)整提供給上述激光諧振器的冷卻水的水溫；以及
比較部，其比較上述基準(zhǔn)溫度和上述控制目標(biāo)溫度，
上述冷卻水供給裝置被構(gòu)成為在輸出了用于啟動(dòng)上述激光諧振器的指令后，在上述控制目標(biāo)溫度比上述基準(zhǔn)溫度低時(shí)，停止上述冷卻水的供給，在上述控制目標(biāo)溫度在上述基準(zhǔn)溫度以上時(shí)，開(kāi)始或繼續(xù)上述冷卻水的供給。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光裝置，其特征在于，
上述控制目標(biāo)溫度被計(jì)算設(shè)定為保持在上述基準(zhǔn)溫度以上的狀態(tài)下隨上述基準(zhǔn)溫度的下降而逐漸下降。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的激光裝置，其特征在于，
上述基準(zhǔn)溫度是放置有上述激光諧振器的空間內(nèi)的露點(diǎn)或?qū)υ撀饵c(diǎn)加上了預(yù)定的余量后的值。