技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種TSV缺陷檢測裝置及其檢測方法，本發(fā)明裝置包括：三維空間移動定位平臺、半導(dǎo)體激光激勵單元、熱圖像采集單元、信號重構(gòu)與處理單元和控制單元，采用共軛激光束對TSV樣片進(jìn)行熱激勵，并測量TSV樣片表面溫度分布及其隨時間演變狀況，得到序列熱圖像，然后利用時間插值及圖像超分辨率重構(gòu)技術(shù)得到具有更高時間和空間解析度的溫度/熱信號，通過更豐富的高頻信號特征進(jìn)行TSV失效預(yù)測和缺陷診斷。

技術(shù)研發(fā)人員：陸向?qū)?何貞志;邵明輝;樊夢瑩
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇師范大學(xué)
文檔號碼：201610338088
技術(shù)研發(fā)日：2016.05.20
技術(shù)公布日：2016.11.23