技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種波導(dǎo)基板的制造方法，其既確保非貫通孔的底面附近的金屬膜的膜厚，又防止被形成于基板表面的金屬膜的剝離。波導(dǎo)基板的制造方法在形成有非貫通孔的基板的一方的主表面以及非貫通孔的內(nèi)壁形成第1金屬膜，在基板的一方的主表面?zhèn)纫苑忾]非貫通孔的開口的方式形成抗蝕層，除去被形成于一方的主表面的第1金屬膜，除去抗蝕層，以在非貫通孔的內(nèi)壁形成有第1金屬膜的狀態(tài)在基板的一方的主表面形成第2金屬膜。

技術(shù)研發(fā)人員：韓旭
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社藤倉(cāng)
文檔號(hào)碼：201610429033
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.14
技術(shù)公布日：2017.02.15