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反應(yīng)腔體以及干法刻蝕機(jī)臺的制作方法

文檔序號:11836272閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種反應(yīng)腔體,包括:頂板、隔離板、多個頂起部件以及驅(qū)動裝置,所述頂板的一面上設(shè)置有多個孔洞,所述多個頂起部件分別設(shè)置于多個所述孔洞內(nèi),所述隔離板位于所述頂板的一面,驅(qū)動裝置連接所述頂起部件。當(dāng)所述驅(qū)動裝置控制所述頂起部件未頂起時,所述頂起部件完全位于所述孔洞內(nèi),所述隔離板可以固定于所述頂板上。在本發(fā)明的反應(yīng)腔體中,當(dāng)需要將所述隔離板從所述頂板上取下時,所述驅(qū)動裝置控制所述頂起部件頂起,所述頂起部件的一端從所述頂板的一面頂出所述孔洞,所述頂起部件頂起所述隔離板,從而將所述隔離板從所述頂板上頂起,從而可以方便地將所述隔離板取走,避免對所述隔離板造成損傷。

技術(shù)研發(fā)人員:程志浩
受保護(hù)的技術(shù)使用者:昆山國顯光電有限公司
文檔號碼:201610479534
技術(shù)研發(fā)日:2016.06.27
技術(shù)公布日:2016.11.23

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