技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及多晶硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)領(lǐng)域，具體是一種多晶硅片背面純化工藝。一種多晶硅片背面純化工藝，放置多晶硅片在加熱爐中，升溫到910攝氏度，持續(xù)通入氣化三溴化硼，停止通入三溴化硼，通入氮?dú)?分鐘后停止；保持溫度970攝氏度不變，通入氮?dú)夂鸵谎趸旌衔镞M(jìn)行推進(jìn)10分鐘后停止；通入氧氣進(jìn)行氧化。使用本發(fā)明的鈍化工藝可以有效提高多晶電池的開壓達(dá)10mV，多晶電池的轉(zhuǎn)換效率也有0.5%的提高。

技術(shù)研發(fā)人員：趙科巍;郭衛(wèi);王恩宇;申開愉;張之棟;張波
受保護(hù)的技術(shù)使用者：山西潞安太陽(yáng)能科技有限責(zé)任公司
文檔號(hào)碼：201610633838
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.05
技術(shù)公布日：2017.01.04