本發(fā)明涉及一種線路板，特別是一種具有防潮蓋的散熱增益型線路板及其制備方法，其中該防潮蓋覆蓋金屬塊與周?chē)芰祥g的界面。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體裝置容易受到效能退化以及短的使用壽命的影響，且在高溫操作溫度下，甚至?xí)霈F(xiàn)立即性的故障。因此，當(dāng)組裝一半導(dǎo)體芯片于封裝體中時(shí)，為了其操作可靠度，通常需要一散熱增益的線路板，以提供有效的散熱途徑，使得芯片產(chǎn)生的熱能可傳導(dǎo)至周遭環(huán)境中。

良好且有效的散熱增益型線路板通常包括一金屬部以及一樹(shù)脂部，該金屬部提供散熱的通道，而該樹(shù)脂部則使得線路可沉積于其上以提供電性信號(hào)路由。然而，由于該兩種材料接觸的區(qū)域既小且脆弱，其熱膨脹系數(shù)(Coefficient of thermal expansion，CTE)亦大幅度的不匹配，在熱循環(huán)下，金屬/樹(shù)脂的界面容易產(chǎn)生裂紋或有脫層的現(xiàn)象，由于大量濕氣可能會(huì)滲過(guò)裂損的界面而損害組裝的芯片，故使得此類型的線路板在實(shí)際使用上相當(dāng)不可靠。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的主要目的在于提供一種具有至少一防潮蓋的線路板，該防潮蓋覆蓋熱膨脹系數(shù)不匹配的兩種材料間的界面，以避免由于熱膨脹系數(shù)不匹配而導(dǎo)致界面的裂損處滲入濕氣，從而改善該半導(dǎo)體組體的可靠度。

本發(fā)明的另一目的在于提供一種在樹(shù)脂芯層中嵌入一金屬塊的線路板，使得該樹(shù)脂芯層可提供沉積導(dǎo)線的平臺(tái)，且該金屬塊可做為最佳的導(dǎo)熱件，從而改善半導(dǎo)體組體的散熱性能，以及確保其操作的可靠度。

根據(jù)上述以及其他目的，本發(fā)明所提供的線路板具有一金屬塊、一樹(shù)脂芯層、至少一防潮蓋、以及多個(gè)導(dǎo)線。該金屬塊提供一半導(dǎo)體芯片主要的熱傳導(dǎo)途徑，使得該芯片所產(chǎn)生的熱能可被傳導(dǎo)出去。提供該金屬塊、該防潮蓋、以及所述導(dǎo)線機(jī)械性支撐的該樹(shù)脂芯層，是覆蓋且圍繞該金屬塊的側(cè)壁，并作為所述導(dǎo)線以及該金屬塊之間的間隔件。自該金屬塊側(cè)向延伸至該樹(shù)脂芯層的防潮蓋，是密封金屬以及塑料間的界面，并作為濕氣屏障以避免濕氣經(jīng)由界面上的裂損而滲入。在該樹(shù)脂芯層上側(cè)向延伸的所述導(dǎo)線，是提供連接芯片的電性接點(diǎn)，以及提供線路板的信號(hào)傳遞及電性路由。

在另一方式中，本發(fā)明提供了一種散熱增益型線路板的制備方法，其步驟包括：提供一金屬塊，該金屬塊在彼此相反的一第一方向以及一第二方向上分別具有平坦的一第一側(cè)以及一第二側(cè)；提供一堆疊結(jié)構(gòu)，該堆疊結(jié)構(gòu)包括一第一金屬層、一第二金屬層、一貼合膜、以及一第一開(kāi)口，其中，該貼合膜設(shè)置于該第一金屬層以及該第二金屬層之間，該第一開(kāi)口延伸穿過(guò)該第一金屬層、該貼合膜、以及該第二金屬層，該第一金屬層以及該第二金屬層分別于該第一方向以及該第二方向上各自具有平坦的一外表面；將該金屬塊嵌入至該堆疊結(jié)構(gòu)的該第一開(kāi)口中，并于該堆疊結(jié)構(gòu)以及該金屬塊之間保留一縫隙，接著固化該貼合膜以形成一樹(shù)脂芯層，該樹(shù)脂芯層包括連接至該第一金屬層的一第一側(cè)、以及連接至該第二金屬層并與該第一側(cè)相反的一第二側(cè)，其中，該堆疊結(jié)構(gòu)借助自該貼合膜擠出而進(jìn)入該堆疊結(jié)構(gòu)以及該金屬塊間的該縫隙的一黏著劑，而貼附至該金屬塊的側(cè)壁上；移除被擠出的該黏著劑的一多余部分，使得該黏著劑的兩相反的顯露表面于該第一方向以及該第二方向上，實(shí)質(zhì)上與該金屬塊的該第一側(cè)以及該第二側(cè)、以及該第一金屬層及該第二金屬層的所述外表面共平面；形成多個(gè)導(dǎo)線，所述導(dǎo)線在該樹(shù)脂芯層的該第二側(cè)上側(cè)向延伸；以及形成一第一防潮蓋，該第一防潮蓋自該金屬塊的該第一側(cè)側(cè)向延伸至該樹(shù)脂芯層上的該第一金屬層，以自該第一方向完全覆蓋顯露的該黏著劑。

在又一方式中，一散熱增益型線路板的制備方法，其步驟包括：貼附一金屬塊于一載膜上，其中，該金屬塊在彼此相反的一第一方向以及一第二方向上分別具有平坦的一第一側(cè)以及一第二側(cè)；形成一埋封塑料以覆蓋該金屬塊以及該載膜；移除一部分的該埋封塑料以形成一樹(shù)脂芯層，該樹(shù)脂芯層在該第一方向上具有一第一側(cè)，以及在該第二方向上具有實(shí)質(zhì)上與該金屬塊的該第二側(cè)共平面的一第二側(cè)，并移除該載膜；形成多個(gè)導(dǎo)線，所述導(dǎo)線在該樹(shù)脂芯層的該第二側(cè)上側(cè)向延伸；以及形成一第一防潮蓋，該第一防潮蓋于該第一方向完全覆蓋該金屬塊與該樹(shù)脂芯層之間的界面。

除非特別描述、或步驟之間使用「接著」的用語(yǔ)、或必須依序發(fā)生的步驟，上述步驟的順序并無(wú)限制于以上所列，且可根據(jù)所需設(shè)計(jì)而變化或重新安排。

根據(jù)本發(fā)明的散熱增益型線路板具有多項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)。舉例而言，沉積該防潮蓋以密封金屬以及塑料間的界面，可建立一防潮屏障，使得該防潮蓋可避免濕氣經(jīng)由界面上的裂損處，由外界環(huán)境滲入該半導(dǎo)體組體的內(nèi)部，從而可改善該組體的可靠度。將該金屬塊接合至該樹(shù)脂芯層上可提供沉積電性路由的平臺(tái)，且可提供半導(dǎo)體裝置貼附的熱傳導(dǎo)平面，從而可確保該組體的散熱效果以及其操作可靠度。

本發(fā)明的上述及其他特征與優(yōu)點(diǎn)可借助下述優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)敘述更加清楚明了。

附圖說(shuō)明

參考附圖，本發(fā)明可借助下述優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)敘述更加清楚明了，其中：

圖1是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式中，一金屬塊的剖面圖；

圖2是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式中，一堆疊結(jié)構(gòu)在一載膜上的剖面圖；

圖3是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式中，將圖1中的金屬塊貼附至圖2中的載膜的剖面圖；

圖4及5分別是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式中，將圖3中的堆疊結(jié)構(gòu)經(jīng)層壓工藝后的剖面圖及上視立體圖；

圖6及7分別是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式中，將圖4及5所示結(jié)構(gòu)中多余的黏著劑移除的剖面圖及上視立體圖；

圖8是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式中，將圖6所示結(jié)構(gòu)中該載膜移除的剖面圖；

圖9、10、及11分別是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式中，提供防潮蓋以及導(dǎo)線于圖8所示的結(jié)構(gòu)中，以完成一線路板制備的剖面圖、底視立體圖、以及上視立體圖；

圖12是根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式中，將一芯片電性連接至圖9所示的線路板上的一半導(dǎo)體組體的剖面圖；

圖13是根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式中，一堆疊結(jié)構(gòu)于一載膜上的剖面圖；

圖14是根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式中，將圖1所示的金屬塊貼附于圖13所示的載膜上的剖面圖；

圖15是根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式中，將圖14所示的堆疊結(jié)構(gòu)經(jīng)層壓工藝后的剖面圖；

圖16是根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式中，將圖15所示結(jié)構(gòu)中多余的黏著劑以及載膜移除的剖面圖；

圖17是根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式中，提供防潮蓋以及導(dǎo)線至圖16所示的結(jié)構(gòu)，以完成一線路板制備的剖面圖；

圖18是根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方式中，一金屬板在一載膜上的剖面圖；

圖19是根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方式中，將圖1所示的金屬塊貼附至圖18所示的載膜上的剖面圖；

圖20是根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方式中，提供埋封塑料至圖19所示的結(jié)構(gòu)中的剖面圖；

圖21是根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方式中，將圖20所示結(jié)構(gòu)中，該埋封塑料的上部分移除的剖面圖；

圖22是根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方式中，將圖21所示結(jié)構(gòu)的載膜移除的剖面圖；

圖23是根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方式中，提供防潮蓋以及導(dǎo)線至圖22所示的結(jié)構(gòu)中，以完成線路板制備的剖面圖；

圖24是根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施方式中，一堆疊結(jié)構(gòu)在一載膜上的剖面圖；

圖25是根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施方式中，將圖1所示的金屬塊以及金屬凸柱貼附的圖24所示的載膜上的剖面圖；

圖26是根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施方式中，將圖25所示的堆疊結(jié)構(gòu)經(jīng)層壓工藝后的剖面圖；

圖27是根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施方式中，將圖26所示結(jié)構(gòu)中多余的黏著劑以及載膜移除的剖面圖；

圖28、29、及30分別是根據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施方式中，提供防潮蓋以及導(dǎo)線至圖27所示的結(jié)構(gòu)上，以完成一線路板制備的剖面圖、底視立體圖、以及上視立體圖；

圖31是根據(jù)本發(fā)明的第五實(shí)施方式中，圖1所示的金屬塊以及金屬凸柱在一載膜上的剖面圖；

圖32是根據(jù)本發(fā)明的第五實(shí)施方式中，提供一埋封塑料在圖31所示的結(jié)構(gòu)上的剖面圖；

圖33是根據(jù)本發(fā)明的第五實(shí)施方式中，將圖32所示結(jié)構(gòu)的該埋封塑料的上部分以及該載膜移除的剖面圖；以及

圖34是根據(jù)本發(fā)明的第五實(shí)施方式中，提供防潮蓋以及導(dǎo)線在圖33所示的結(jié)構(gòu)上，以完成一線路板制備的剖面圖。

【符號(hào)說(shuō)明】

金屬塊10 第一側(cè)101、201、801

第二側(cè)102、202、802 堆疊結(jié)構(gòu)20

開(kāi)口203 第一金屬層212、222

貼合膜214、224 第二金屬層217、227

黏著劑215、225 縫隙207

第一防潮蓋42 載膜31

導(dǎo)線46 第二防潮蓋45

第一厚度T1 底部披覆層41

第三厚度T3 第二厚度T2

樹(shù)脂芯層21、22、24 第四厚度T4

半導(dǎo)體組體110 頂部披覆層44

蓋體71 半導(dǎo)體裝置51

散熱增益型線路板100、200、300、400、500

第一介電層223 第一層壓板221

第二介電層228 第二層壓板226

開(kāi)孔249 金屬板242

第一開(kāi)口204 埋封塑料244

金屬凸柱80 第二開(kāi)口205

打線61

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。

在下文中，將提供實(shí)施例以詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)以及功效將借助本發(fā)明所揭露的內(nèi)容而更為顯著。在此說(shuō)明所附的圖式是簡(jiǎn)化過(guò)且作為例示用。圖式中所示的元件數(shù)量、形狀及尺寸可依據(jù)實(shí)際情況而進(jìn)行修改，且元件的配置可能更為復(fù)雜。本發(fā)明中也可進(jìn)行其他方面的實(shí)踐或應(yīng)用，且不偏離本發(fā)明所定義的精神及范疇的條件下，可進(jìn)行各種變化以及調(diào)整。

[實(shí)施例1]

圖1-11是根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式中，一種散熱增益型線路板的制備方法示意圖，該散熱增益型線路板包括一金屬塊、一樹(shù)脂芯層、多個(gè)防潮蓋、以及多個(gè)導(dǎo)線。

圖1是一金屬塊10的剖面圖，該金屬塊10具有相反的平坦的第一側(cè)101以及第二側(cè)102。該金屬塊10可由銅、鋁、鎳、或其他金屬材料所構(gòu)成。在本實(shí)施方式中，該金屬塊10為一厚度為0.4mm的銅塊。

圖2是一堆疊結(jié)構(gòu)20在一載膜31上的剖面圖，且該堆疊結(jié)構(gòu)20具有一開(kāi)口203。該堆疊結(jié)構(gòu)20包括一第一金屬層212、一貼合膜214、以及一第二金屬層217。該開(kāi)口203借助沖壓貫穿該第一金屬層212、該貼合膜214、以及該第二金屬層217而形成，且其大小幾乎相同于或略大于該金屬塊10。此外，該開(kāi)口203可借助雷射切割或雷射切割與濕式蝕刻的組合而形成。該載膜31通常為一膠帶，且該第一金屬層212借助該載膜31的黏著性質(zhì)而貼附至該載膜31上。在此堆疊結(jié)構(gòu)20中，該貼合膜214設(shè)置于該第一金屬層212以及該第二金屬層217之間。該第一金屬層212以及該第二金屬層217通常由銅所構(gòu)成，且各自具有兩個(gè)分別面朝向上方向以及向下方向的平坦表面。該貼合膜214可由多種有機(jī)或無(wú)機(jī)的電絕緣材料所形成的各種介電膜或預(yù)浸料(prepregs)所構(gòu)成。舉例而言，該貼合膜214最初可為含浸一加強(qiáng)材的樹(shù)脂形態(tài)的熱固化環(huán)氧樹(shù)脂預(yù)浸料，且部分被固化至中間態(tài)。該環(huán)氧樹(shù)脂可為FR-4，但其他例如多官能以及雙馬來(lái)酰亞胺三嗪(bismaleimide triazine，BT)亦適用于此。在特定的應(yīng)用中，亦適用氰酸酯(cyanate esters)、聚酰亞胺(polyimide)、以及聚四氟乙烯(PTFE)。該加強(qiáng)材可為E-玻璃，但其他如S-玻璃、D-玻璃、石英、芳倫(kevlar aramid)、以及紙皆可適用。該加強(qiáng)材亦可為紡織布、不織布、或不規(guī)則超細(xì)纖維。可加入如二氧化硅(粉狀熔融石英)的填充劑至該預(yù)浸料中以改善其導(dǎo)熱度、耐熱度、以及熱膨脹匹配。商用的預(yù)浸料亦適用于此，例如由W.L.Gore&Associates of Eau Claire，Wisconsin生產(chǎn)的SPEEDBOARD prepreg。在此實(shí)施例中，該貼合膜214是B階未固化環(huán)氧樹(shù)脂的預(yù)浸材非固化片，而該第一金屬層212以及該第二金屬層217分別為厚度0.2mm以及0.025mm的銅層。

圖3是貼附該金屬塊10在該載膜31上的結(jié)構(gòu)剖面圖。該金屬塊10與該堆疊結(jié)構(gòu)20的開(kāi)口203對(duì)齊，且該第一側(cè)101面朝該載膜31，并嵌入該開(kāi)口203但不與該堆疊結(jié)構(gòu)20接觸。因此，該金屬塊10與該堆疊結(jié)構(gòu)20間的開(kāi)口203中具有一縫隙207，該縫隙207側(cè)向圍繞該金屬塊10，且被該堆疊結(jié)構(gòu)20側(cè)向圍繞。在此圖示中，該金屬塊10借助載膜31的黏著性質(zhì)而貼附至該載膜31上。此外，該金屬塊10可借助額外的黏著劑而貼附至該載膜31上。

圖4及圖5是分別為一黏著劑215自該貼合膜214擠出并填充該縫隙207的剖視圖以及上視立體圖。借助熱及壓力，該貼合膜214被擠壓，且該貼合膜214中部分的黏著劑流入該縫隙207中。該貼合膜214借助施加一向下的壓力至該第二金屬層217以及/或施加一向上的壓力至該載膜31而被擠壓，從而將該第一金屬層212以及該第二金屬層217朝彼此移動(dòng)，并同時(shí)施加壓力至該貼合膜214上以及施加熱至該貼合膜214上。在熱及壓力下，該貼合膜214可任意成形。因此，夾設(shè)于該第一金屬層212以及該第二金屬層217之間的該貼合膜214被壓縮，被迫改變其原來(lái)的形狀，并流入該縫隙207中。該第一金屬層212以及該第二金屬層217持續(xù)地朝彼此移動(dòng)，且該貼合膜214維持于該第一金屬層212與該第二金屬層217之間，并填充其間變小的空間。同時(shí)，自該貼合膜214被擠出的該黏著劑215填充該縫隙207。在此圖示中，自該貼合膜214擠出的該黏著劑215亦上升至稍微高過(guò)該開(kāi)口203，且溢流至該金屬塊10以及該第二金屬層217的上表面。若該貼合膜214的厚度稍微大于所需的厚度，便可能發(fā)生此現(xiàn)象，因此，自該貼合膜214被擠出的黏著劑215形成一薄的涂層于該金屬塊10以及該第二金屬層217的上表面。當(dāng)該第二金屬層217與該金屬塊10的上表面共平面時(shí)，上述的動(dòng)作將會(huì)停止，但會(huì)持續(xù)對(duì)該貼合膜214以及被擠出的該黏著劑215加熱，從而將B階的熔融未固化環(huán)氧樹(shù)脂轉(zhuǎn)變成C階的固化或硬化的環(huán)氧樹(shù)脂。

此時(shí)，該堆疊結(jié)構(gòu)20借助自該貼合膜214被擠出的該黏著劑215而與該金屬塊10的側(cè)壁貼合。經(jīng)固化的該貼合膜214提供該第一金屬層212以及該第二金屬層217之間穩(wěn)固的機(jī)械性連結(jié)。藉此，該金屬塊10與該樹(shù)脂芯層21借助夾設(shè)于其間的黏著劑215而結(jié)合。該樹(shù)脂芯層21具有連接至該第一金屬層212的一第一側(cè)201、以及連接至該第二金屬層217的相反的第二側(cè)202。

圖6及圖7是分別為將溢流至該金屬塊10以及該第二金屬層217上的多余黏著劑移除的剖面圖以及上視立體圖。該多余的黏著劑可借助拋光/研磨的方法移除。在拋光/研磨之后，該金屬塊10、該第二金屬層217、以及自該貼合膜214被擠出的該黏著劑215實(shí)質(zhì)上在一平滑的經(jīng)拋光/研磨的上表面上共平面。

圖8是將該載膜31移除后的結(jié)構(gòu)剖面圖。該載膜31自該金屬塊10、該第一金屬層212、以及被擠出的該黏著劑215分離，以顯露該金屬塊10以及該第一金屬層212。據(jù)此，該黏著劑215具有相反的兩個(gè)顯露表面，且實(shí)質(zhì)上分別在該向下方向以及該向上方向與該金屬塊10的該第一側(cè)101及第二側(cè)102、以及該第一金屬層212以及該第二金屬層217的平坦外表面共平面。

圖9、圖10、及圖11是分別為形成該第一防潮蓋42、該第二防潮蓋45、以及導(dǎo)線46的剖面圖、底視立體圖、以及上視立體圖。該結(jié)構(gòu)的底表面可經(jīng)金屬化以形成一底部披覆層41(通常為銅層)，其可借助如電鍍、無(wú)電電鍍、蒸鍍、濺鍍、或其組合的多種方法以形成單層或多層結(jié)構(gòu)。舉例而言，該結(jié)構(gòu)可先浸漬于一活化劑溶液中，使得該結(jié)構(gòu)的底表面對(duì)于無(wú)電電鍍銅具有催化特性，接著無(wú)電電鍍一薄銅膜以作為第二銅膜電鍍于其上的晶種層，該第二銅膜隨后于該晶種層上被電鍍至一所需厚度?；蛘?，于該晶種層上電鍍銅層之前，該晶種層可借助濺鍍?nèi)玮?銅的薄膜于該結(jié)構(gòu)的底表面。據(jù)此，由該第一金屬層212以及該底部披覆層41所構(gòu)成的該第一防潮蓋42包括一選定部分，該選定部分自該金屬塊10的該第一側(cè)101延伸至該樹(shù)脂芯層21上的該第一金屬層212。在此圖示中，該第一防潮蓋42一未經(jīng)圖案化的金屬層，且于接觸被擠出的該黏著劑215之處具有一第一厚度T1(約0.5至50微米)，在接觸該樹(shù)脂芯層21之處具有一第二厚度T2，其還包括該第一金屬層212的厚度故大于該第一厚度T1，以及具有一面朝該向下方向的一平坦表面。為了便于圖示，該金屬塊10、該第一金屬層212、以及該底部披覆層41繪示成單一層。由于銅為同質(zhì)披覆，所述金屬層間的界線(如虛線所示)可能不易或無(wú)法被察覺(jué)。然而，該底部披覆層41與被擠出的該黏著劑215間的界線則清楚可見(jiàn)。

另外，該結(jié)構(gòu)的上表面可借助相同的活化劑溶液、無(wú)電電鍍銅晶種層、以及電鍍銅層而被金屬化，藉以形成一頂部披覆層44，當(dāng)達(dá)到所需厚度時(shí)，則執(zhí)行一圖案化程序以形成該第二防潮蓋45以及導(dǎo)線46。由該頂部披覆層44以及該第二金屬層217所構(gòu)成的該第二防潮蓋45包括自該金屬塊10的該第二側(cè)102延伸至該樹(shù)脂芯層21上的該第二金屬層217，并于接觸被擠出的該黏著劑215處具有一第三厚度T3(約0.5至50微米)，在接觸該樹(shù)脂芯層21之處具有一第四厚度T4，其還包括該第二金屬層217的厚度故大于該第三厚度T3，以及具有面朝向上方向的一平坦表面。由該頂部披覆層44以及該第二金屬層217所構(gòu)成的所述導(dǎo)線46接觸該樹(shù)脂芯層21的該第二側(cè)202，且在該樹(shù)脂芯層21的該第二側(cè)202上側(cè)向延伸，并具有該第二金屬層217以及該頂部披覆層44的合并厚度。金屬圖案化的技術(shù)手段包括濕式蝕刻、電化學(xué)蝕刻、雷射輔助蝕刻、以及其組合，與其上的蝕刻光罩(圖未示)合并使用，以定義出該第二防潮蓋45以及該導(dǎo)線46。

據(jù)此，如圖9、圖10、以及圖11所示，所完成的散熱增益型線路板100包括一金屬塊10、一樹(shù)脂芯層21、被擠出的一黏著劑215、第一防潮蓋42、第二防潮蓋45、以及導(dǎo)線46。該樹(shù)脂芯層21覆蓋且圍繞該金屬塊10的側(cè)壁，并借助該金屬塊10與該樹(shù)脂芯層21之間被擠出的該黏著劑215而與該金屬塊10的側(cè)壁機(jī)械性地連接。該第一防潮蓋42以及該第二防潮蓋45完全覆蓋介于該金屬塊10與該樹(shù)脂芯層21之間的黏著劑215、以及該金屬塊10與該黏著劑215間的界面，并分別在該樹(shù)脂芯層21上下相反兩側(cè)上側(cè)向延伸。該導(dǎo)線46與該第二防潮蓋46間隔開(kāi)來(lái)，并可于結(jié)構(gòu)上方提供連接芯片以及外部連接的電性接點(diǎn)。

圖12是將一半導(dǎo)體裝置51電性連接至圖9所示的該散熱增益型線路板100的一半導(dǎo)體組體110的剖面圖。繪示為芯片的該半導(dǎo)體裝置51被裝設(shè)至該第二防潮蓋45上，且借助打線61電性連接至該散熱增益型線路板100的所述導(dǎo)線46上。此外，一蓋體71被安裝至該散熱增益型線路板100上，并由上方將該半導(dǎo)體裝置51密封于內(nèi)。據(jù)此，即使因該金屬塊10與該黏著劑215間熱膨脹不匹配導(dǎo)致了裂痕，該線路板100的該第一防潮蓋42可防止外部環(huán)境的濕氣經(jīng)由該裂痕而滲入該半導(dǎo)體組體110的內(nèi)部。此外，由該半導(dǎo)體裝置51所產(chǎn)生的熱，可傳導(dǎo)至該金屬塊10，并進(jìn)一步散布至具有大于該金屬塊10的散熱面積的該第一防潮蓋42。

[實(shí)施例2]

圖13至圖17是根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式中，另一種散熱增益型線路板的制備方法示意圖，其中該散熱增益型線路板借助另一種堆疊結(jié)構(gòu)以形成一樹(shù)脂芯層。

為了簡(jiǎn)要說(shuō)明的目的，上述實(shí)施例1中任何可作相同應(yīng)用的敘述皆并于此，且無(wú)須再重復(fù)相同敘述。

圖13是一堆疊結(jié)構(gòu)20在一載膜31上的結(jié)構(gòu)剖面圖。該堆疊結(jié)構(gòu)20包括一第一層壓板221、一貼合膜224、以及一第二層壓板226。該堆疊結(jié)構(gòu)20具有一延伸穿過(guò)該第一層壓板221、該貼合膜224、以及該第二層壓板226的一開(kāi)口203。在此圖示中，該第一層壓板221包括一第一金屬層222，其設(shè)置于一第一介電層223上，而該第二層壓板226包括一第二金屬層227，其設(shè)置于一第二介電層228上。該第一介電層223以及該第二介電層228通常由環(huán)氧樹(shù)脂、玻璃環(huán)氧樹(shù)脂、聚酰亞胺、或其類似物所構(gòu)成，并具有50微米的厚度。該第一金屬層222及該第二金屬層227通常由銅所構(gòu)成，并具有35微米的厚度。在該堆疊結(jié)構(gòu)20中，該貼合膜224被設(shè)置于該第一層壓板221與該第二層壓板226之間。且該第一層壓板221的該第一金屬層222及該第二層壓板226的該第二金屬層227分別面朝向下方向以及向上方向。借助該載膜31的黏著性質(zhì)，該堆疊結(jié)構(gòu)20借助與該載膜31接觸的該第一層壓板221的該第一金屬層222而貼附于該載膜31上。

圖14是將圖1所示的金屬塊10貼附于該載膜31上的結(jié)構(gòu)剖面圖。該金屬塊10被嵌入至該堆疊結(jié)構(gòu)20的該開(kāi)口203中，并以該第一側(cè)101面朝該載膜31，且在不接觸該堆疊結(jié)構(gòu)20的情況下貼附于該載膜31上。因此，該金屬塊10及該堆疊結(jié)構(gòu)20間的開(kāi)口203中具有一縫隙207。

圖15是自該貼合膜224擠出的一黏著劑225填充于該縫隙207中的結(jié)構(gòu)剖面圖。借助施加熱及壓力以擠壓該貼合膜224，并使該貼合膜224中部分的該黏著劑流入該縫隙207中。在被擠出的黏著劑225填充該縫隙207之后，則固化該貼合膜224以及被擠出的該黏著劑225。因此，該金屬塊10借助該縫隙207中被擠出的黏著劑225而與一樹(shù)脂芯層22連接。在此實(shí)施例中，該樹(shù)脂芯層22包括該第一介電層223、固化的該貼合層224、以及該第二介電層228，且具有連接于該第一金屬層222的一第一側(cè)201，以及連接于該第二金屬層227的相反的一第二側(cè)202。經(jīng)固化的該貼合膜224與該第一層壓板221的該第一介電層223、以及該第二層壓板226的該第二介電層228一體化，且提供該第一層壓板221及該第二層壓板226間穩(wěn)固的機(jī)械性連結(jié)。在該縫隙207中被擠出的黏著劑225提供該金屬塊10及該樹(shù)脂芯層22間穩(wěn)固的機(jī)械性連結(jié)。在此圖示中，自該貼合膜224被擠出的該黏著劑225稍微高于該開(kāi)口203，且溢流至該金屬塊10及該第二金屬層227的上表面。

圖16是移除多余的黏著劑以及該載膜31的結(jié)構(gòu)剖面圖。在該金屬塊10及該第二金屬層227上，該多余的黏著劑借助拋光/研磨的方法移除，并形成經(jīng)拋光/研磨的一平坦上表面。該載膜31自該金屬塊10、該第一金屬層222、及被擠出的該黏著劑225分離，以顯露該金屬塊10及該第一金屬層222。據(jù)此，該黏著劑225具有兩個(gè)相反的顯露表面，其實(shí)質(zhì)上分別在向下方向及向上方向與該金屬塊10的該第一及第二側(cè)101、102、及該第一及第二金屬層222、227的外表面共平面。

圖17是形成第一防潮蓋42、第二防潮蓋45、以及導(dǎo)線46的結(jié)構(gòu)剖面圖。該第一防潮蓋42借助沉積一底部披覆層41而形成，其由該第一金屬層222的底部與其連結(jié)。據(jù)此，該第一防潮蓋42包括該第一金屬層222及該底部披覆層41，且接觸并自底部覆蓋該金屬層10、該樹(shù)脂芯層22、及被擠出的該黏著劑225。此外，借助金屬化該結(jié)構(gòu)的上表面以形成一頂部披覆層44，接著，借助金屬圖案化的程序以形成該第二防潮蓋45及所述導(dǎo)線46。該第二防潮蓋12接觸且由上方覆蓋該金屬塊10、該樹(shù)脂芯層22、及被擠出的該黏著劑225。所述導(dǎo)線46接觸該樹(shù)脂芯層22的該第二側(cè)202，并在該樹(shù)脂芯層22的該第二側(cè)202上側(cè)向延伸。

因此，如圖17所示，所完成的散熱增益型線路板200包括一金屬塊10、一樹(shù)脂芯層22、被擠出的一黏著劑225、第一及第二防潮蓋42、45、以及導(dǎo)線46。該樹(shù)脂芯層22借助被擠出的該黏著劑225，機(jī)械性地與該金屬塊10連接。該第一及第二防潮蓋42、45分別由上方及下方完全覆蓋該黏著劑225及該金屬塊10與該黏著劑225間的界面，并在該樹(shù)脂芯層22上側(cè)向延伸。該導(dǎo)線46與該第二防潮蓋45間隔開(kāi)，并在結(jié)構(gòu)上方提供連接芯片及外部連接的電性接點(diǎn)。

[實(shí)施例3]

圖18至圖23是根據(jù)本發(fā)明的又一實(shí)施方式中，又一種散熱增益型線路板的制備方法示意圖，其中該散熱增益型線路板具有側(cè)向覆蓋一金屬塊的一埋封塑料。

為了簡(jiǎn)要說(shuō)明的目的，上述實(shí)施例中任何可作相同應(yīng)用的敘述皆并于此，且無(wú)須再重復(fù)相同敘述。

圖18是一金屬板242在一載膜31上的結(jié)構(gòu)剖面圖。該金屬板242包括一開(kāi)孔249，且借助該載膜31的黏著性質(zhì)而貼附至該載膜31上。該金屬板242可由銅、鋁、鎳、或其他金屬材料所構(gòu)成。在本實(shí)施例中，該金屬板242可為厚度為0.2毫米的銅板。該開(kāi)孔249可借助沖孔、沖壓、蝕刻、或機(jī)械性處理而形成，且其尺寸大致相同于或略大于隨后設(shè)置的一金屬塊10。

圖19是將圖1所示的該金屬塊10貼附于一載膜31上的結(jié)構(gòu)剖面圖。該金屬塊10部分被嵌入置該金屬板242的該開(kāi)孔249中，且以其第一側(cè)101接觸載膜31的方式貼附至該載膜31上。

圖20是提供一埋封塑料244的結(jié)構(gòu)剖面圖。該埋封塑料244可借助模封工藝(molding process)而形成，或可借助如層壓環(huán)氧樹(shù)脂或聚酰亞胺等其他方法而制備。該埋封塑料244自上方覆蓋該金屬塊10以及該金屬板242，且側(cè)向覆蓋并同形披覆于該金屬塊10的側(cè)壁，以及自該金屬塊10側(cè)向延伸至該結(jié)構(gòu)的外圍周緣。此外，該埋封塑料244延伸進(jìn)入該金屬塊10及該金屬板242間的縫隙，并與該載膜31接觸。

圖21是該金屬塊10的該第二側(cè)102自上方顯露的結(jié)構(gòu)剖面圖。該埋封塑料244的上部分可借助拋光而移除。在拋光后，該金屬塊10及該埋封塑料244實(shí)質(zhì)上在一平滑的經(jīng)拋光的上表面上與彼此共平面。據(jù)此，該金屬塊10與該樹(shù)脂芯層24結(jié)合，且該樹(shù)脂芯層24具有貼合至該金屬板242的一第一側(cè)201以及相反的一第二側(cè)202，該第二側(cè)202在向上方向上實(shí)質(zhì)上與該金屬塊10的該第二側(cè)102共平面。

圖22是移除該載膜31后的結(jié)構(gòu)剖面圖。該載膜31自該金屬塊10及該金屬板242分離，以顯露該金屬塊10的該第一側(cè)101以及該金屬板242。

圖23是形成第一防潮蓋42、第二防潮蓋45、以及導(dǎo)線46的結(jié)構(gòu)剖面圖。該第一及第二防潮蓋42、45、以及導(dǎo)線46可借助一濺射程序接著一電解電鍍程序以沉積至一所需厚度。當(dāng)達(dá)到其所需的厚度時(shí)，則執(zhí)行一金屬圖案化程序以形成該第二防潮蓋45以及該導(dǎo)線46。該第一防潮蓋42是一未經(jīng)圖案化的金屬層，其包括該金屬板242，并由下方完全覆蓋該金屬塊10與該埋封塑料244間的界面。在此圖示中，該第一防潮蓋42在鄰近于該金屬塊10與該埋封塑料244間的界面處具有一第一厚度T1(約為0.5至50微米)，以及包括該金屬板242厚度的一第二厚度T2，從而該第二厚度T2大于該第一厚度T1。該第二防潮蓋45與所述導(dǎo)線46間隔開(kāi)來(lái)，并由上方完全覆蓋該金屬塊10與該埋封塑料244間的界面，且具有0.5至50微米的厚度。所述導(dǎo)線46在該樹(shù)脂芯層24的該第二側(cè)202上側(cè)向延伸，且具有0.5至50微米的厚度。

據(jù)此，如圖23所示，所完成的散熱增益型線路板300包括一金屬塊10、一樹(shù)脂芯層24、第一及第二防潮蓋42、45、以及導(dǎo)線46。該樹(shù)脂芯層24覆蓋且圍繞該金屬塊10的側(cè)壁，且連結(jié)該金屬塊10。該第一防潮蓋42自該金屬塊10的該第一側(cè)101延伸至該線路板300的外圍邊緣，且具有不一致的厚度。另外，該結(jié)構(gòu)可以不形成該金屬板242，從而該第一防潮蓋42可具有一致的厚度。該第二防潮蓋45在該金屬塊10的該第二側(cè)102、以及該樹(shù)脂芯層24的該第二側(cè)202上側(cè)向延伸，且與該線路板300的外圍邊緣保持距離。所述導(dǎo)線46與該第二防潮蓋45間隔開(kāi)，并在結(jié)構(gòu)上方提供連接芯片及外部連接的電性接點(diǎn)。

[實(shí)施例4]

圖24至圖30是根據(jù)本發(fā)明再一實(shí)施方式中，另一種散熱增益型線路板的制備方法示意圖，該散熱增益型線路板具有作為垂直電性連接的金屬凸柱。

為了簡(jiǎn)要說(shuō)明的目的，上述實(shí)施例中任何可作相同應(yīng)用的敘述皆并于此，且無(wú)須再重復(fù)相同敘述。

圖24是一堆疊結(jié)構(gòu)20在一載膜31上的結(jié)構(gòu)剖面圖。在本實(shí)施例中，除了該堆疊結(jié)構(gòu)20具有延伸穿過(guò)該第一層壓板221、該貼合膜224、以及該第二層壓板226的第一及第二開(kāi)口204、205外，該堆疊結(jié)構(gòu)20類似于圖13所示的結(jié)構(gòu)，

圖25是將圖1所示的金屬塊10以及金屬凸柱80貼附至該載膜31上的結(jié)構(gòu)剖面圖。該金屬塊10被嵌入至該堆疊結(jié)構(gòu)20的該第一開(kāi)口204中，而該金屬凸柱80被嵌入至該堆疊結(jié)構(gòu)20的所述第二開(kāi)口205中。每一金屬凸柱80具有相反的平坦第一側(cè)801及第二側(cè)802，其實(shí)質(zhì)上分別與該金屬塊10的該第一側(cè)101及第二側(cè)102共平面。該金屬塊10以及該金屬凸柱80以面朝該載膜31的所述第一側(cè)101、801而貼附至該載膜31上。該金屬凸柱80可由任一種導(dǎo)電材料所構(gòu)成，在此實(shí)施例中，該金屬凸柱80厚度為0.4mm的銅柱。

圖26是一黏著劑225自該貼合膜224被擠出進(jìn)入該金屬塊10及該堆疊結(jié)構(gòu)20之間以及該金屬凸柱80及該堆疊結(jié)構(gòu)20之間的縫隙207的結(jié)構(gòu)剖面圖。借助施加熱及壓力以擠壓該貼合膜224，并使該貼合膜224中的部分黏著劑流入該縫隙207中。當(dāng)被擠出的黏著劑225填充所述縫隙207之后，接著固化該貼合膜224及被擠出的該黏著劑225。據(jù)此，該金屬塊10以及該金屬凸柱80借助縫隙207中被擠出的黏著劑225而接合至該樹(shù)脂芯層22。在此圖示中，該樹(shù)脂芯層22包括該第一介電層223、經(jīng)固化的該貼合膜224、以及該第二介電層228，并具有接合至該第一金屬層222上的一第一側(cè)201、以及接合至該第二金屬層227上相反的一第二側(cè)202。位在縫隙207中被擠出的該黏著劑225提供了該金屬塊10與該樹(shù)脂芯層22之間、以及該金屬凸柱80與該樹(shù)脂芯層22之間穩(wěn)固的機(jī)械性連接。自該貼合膜224被擠出的該黏著劑225亦稍微超過(guò)該第一及第二開(kāi)口204、205，并溢流至該金屬塊10、該第二金屬層227、及所述金屬凸柱80的上表面上。

圖27是移除多余的黏著劑以及該載膜31后的結(jié)構(gòu)剖面圖。在該金屬塊10、該第二金屬層227、以及所述金屬凸柱80上的多余的黏著劑借助拋光/研磨而移除，以形成一經(jīng)拋光/研磨的平滑上表面。該載膜31自該金屬塊10、該第一金屬層222、所述金屬凸柱80、以及被擠出的該黏著劑225分離。因此，該黏著劑225具有兩個(gè)相反的顯露表面，其分別在向下方向及向上方向?qū)嵸|(zhì)上與該金屬塊10的該第一側(cè)101及該第二側(cè)102、所述金屬凸柱80的該第一側(cè)801及該第二側(cè)802、以及該第一金屬層222及該第二金屬層227的外表面共平面。

圖28、圖29、及圖30是分別為形成第一及第二防潮蓋42、45、以及導(dǎo)線46的結(jié)構(gòu)剖面圖、底視立體圖、及上視立體圖。該結(jié)構(gòu)的底表面經(jīng)金屬化以形成一底部披覆層41，接著借助金屬圖案化程序以形成多個(gè)彼此分開(kāi)的第一防潮蓋42。所述第一防潮蓋42的其中一者包括一選定部分，其自該金屬塊10的該第一側(cè)101側(cè)向延伸至該樹(shù)脂芯層22上的該第一金屬層222，且其它所述第一防潮蓋42包括一選定部分，其自該金屬凸柱80的該第一側(cè)801側(cè)向延伸至該樹(shù)脂芯層22上的該第一金屬層222。此外，該結(jié)構(gòu)的上表面被金屬化以形成一頂部披覆層44，接著借助一金屬圖案化程序以形成該第二防潮蓋45以及導(dǎo)線46。該第二防潮蓋45包括一選定部分，其自該金屬塊10的該第二側(cè)102側(cè)向延伸至該樹(shù)脂芯層22上的該第二金屬層227。該導(dǎo)線46接觸該樹(shù)脂芯層22至該第二側(cè)202，且在該樹(shù)脂芯層22的該第二側(cè)202上側(cè)向延伸，并具有一選定部分，其自所述金屬凸柱80的該第二側(cè)802側(cè)向延伸至該樹(shù)脂芯層22上的該第二金屬層227。

據(jù)此，如圖28、圖29、及圖30所示，所完成的散熱增益型線路板400包括一金屬塊10、金屬凸柱80、一樹(shù)脂芯層22、被擠出的一黏著劑225、第一防潮蓋42、第二防潮蓋45、以及導(dǎo)線46。該樹(shù)脂芯層22覆蓋且圍繞該金屬塊10及所述金屬凸柱80的側(cè)壁，并借助在該金屬塊10與該樹(shù)脂芯層22間以及所述金屬凸柱80與該樹(shù)脂芯層22間被擠出的該黏著劑225，機(jī)械性地連接至該金屬塊10及所述金屬凸柱80。該第一防潮蓋42自下方完全覆蓋該黏著劑225、該金屬塊10與該黏著劑225之間的界面、以及所述金屬凸柱80與該黏著劑225之間的界面，且還在該樹(shù)脂芯層22上側(cè)向延伸。該第二防潮蓋45自上方完全覆蓋該金屬塊10與該樹(shù)脂芯層22間的該黏著劑225、以及該金屬塊10與該黏著劑225間的界面，且還在該樹(shù)脂芯層22上側(cè)向延伸。所述導(dǎo)線46自上方在該樹(shù)脂芯層上22側(cè)向延伸，且還完全覆蓋該金屬凸柱80與該樹(shù)脂芯層22之間的該黏著劑225、以及所述金屬凸柱80與該黏著劑225之間的界面，并電性連接至所述金屬凸柱80。

[實(shí)施例5]

圖31至圖34是根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式中，一種散熱增益型線路板的制備方法示意圖，其中該散熱增益型線路板具有一埋封塑料，其側(cè)向覆蓋該金屬塊及所述金屬凸柱的側(cè)壁。

為了簡(jiǎn)要說(shuō)明的目的，上述實(shí)施例中任何可作相同應(yīng)用的敘述皆并于此，且無(wú)須再重復(fù)相同敘述。

圖31是圖1所示的該金屬塊10以及金屬凸柱80在一載膜31上的結(jié)構(gòu)剖面圖。該金屬塊10以及所述金屬凸柱80以接觸該載膜31的該第一側(cè)101、801貼附至該載膜31上。

圖32是提供一埋封塑料244在該結(jié)構(gòu)上的結(jié)構(gòu)剖面圖。該埋封塑料244自上方覆蓋該金屬塊10以及所述金屬凸柱80，并側(cè)向覆蓋、圍繞、且同形披覆于該金屬塊10以及所述金屬凸柱80的側(cè)壁上。

圖33是將載膜31以及該埋封塑料244的上部分移除后的結(jié)構(gòu)剖面圖。該埋封塑料244經(jīng)研磨，直到該埋封塑料244的上表面實(shí)質(zhì)上與該金屬塊10的該第二側(cè)102、及所述金屬凸柱80的該第二側(cè)802共平面為止。因此，該金屬塊10與所述金屬凸柱80與該樹(shù)脂芯層24接合，且該樹(shù)脂芯層24具有實(shí)質(zhì)上分別與該金屬塊10及所述金屬凸柱80的該第一側(cè)101、801及該第二側(cè)102、802共平面的相反第一側(cè)201及第二側(cè)202。

圖34是形成該第一及第二防潮蓋42、45、以及導(dǎo)線46的結(jié)構(gòu)剖面圖。該第一及第二防潮蓋42、45、以及導(dǎo)線46可借助一濺射程序接著一電解電鍍程序以沉積至一所需厚度。當(dāng)達(dá)到其所需的厚度時(shí)，則執(zhí)行一金屬圖案化程序以形成該第一防潮蓋42、該第二防潮蓋45、以及所述導(dǎo)線46。所述第一防潮蓋42中的其中一者由下方自該金屬塊10的該第一側(cè)101側(cè)向延伸至該樹(shù)脂芯層24的該第一側(cè)201，而其他第一防潮蓋42由下方自所述金屬凸柱80的該第一側(cè)801側(cè)向延伸至該樹(shù)脂芯層24的該第一側(cè)201。該第二防潮蓋45與所述導(dǎo)線46間隔該來(lái)，且由上方自該金屬塊10的該第二側(cè)102側(cè)向延伸至該樹(shù)脂芯層24的該第二側(cè)202。所述導(dǎo)線46由上方自所述金屬凸柱80的該第二側(cè)802側(cè)向延伸至該樹(shù)脂芯層24的該第二側(cè)202。

據(jù)此，如圖34所示，所完成的一散熱增益型線路板500包括一金屬塊10、金屬凸柱80、一樹(shù)脂芯層24、第一及第二防潮蓋42、45、以及導(dǎo)線46。該樹(shù)脂芯層24覆蓋且圍繞該金屬塊10及所述金屬凸柱80的側(cè)壁，且連接至該金屬塊10及所述金屬凸柱80。所述第一防潮蓋42自下方在該樹(shù)脂芯層24上側(cè)向延伸，且還完全覆蓋該金屬塊10與該埋封塑料244及所述金屬凸柱80與該埋封塑料244之間的界面。該第二防潮蓋45自上方在該樹(shù)脂芯層24上側(cè)向延伸，且自上方完全覆蓋該金屬塊10與該埋封塑料244之間的界面。所述導(dǎo)線46自上方在該樹(shù)脂芯層24上側(cè)向延伸，且完全覆蓋所述金屬凸柱80與該埋封塑料244之間的界面，并電性連接至所述金屬凸柱80。

如上述實(shí)施方式所記載，本發(fā)明建構(gòu)一種具有防潮蓋的獨(dú)特的散熱增益型線路板，其展現(xiàn)優(yōu)異的可靠度。優(yōu)選地，該散熱增益型線路板包括一金屬塊、一樹(shù)脂芯層、一第一防潮蓋、導(dǎo)線、以及選擇性地包括一第二防潮蓋，其中(i)該金屬塊在相反的第一及第二方向上分別具有平坦的第一及第二側(cè)；(ii)該樹(shù)脂芯層覆蓋且圍繞該金屬塊的側(cè)壁，且在該第一方向上具有一第一側(cè)，以及在該第二方向上具有相反的第二側(cè)；(iii)該第一及選擇性的該第二防潮蓋分別在該第一及該第二方向上自該金屬塊側(cè)向延伸至該樹(shù)脂芯層，并且完全覆蓋該金屬以及塑料之間的界面；以及(iv)所述導(dǎo)線在該樹(shù)脂芯層的該第二側(cè)上側(cè)向延伸。

選擇性地，該散熱增益型線路板可還包括金屬凸柱，其中(i)每一所述金屬凸柱在該第一及該第二方向上分別具有平坦的該第一側(cè)以及該第二側(cè)；(ii)該樹(shù)脂芯層亦圍繞且覆蓋所述金屬凸柱的側(cè)壁；以及(iii)所述導(dǎo)線電性連接至該金屬凸柱。

該金屬塊可提供設(shè)置于其上的一半導(dǎo)體裝置的初步熱傳導(dǎo)，而所述選擇性的金屬凸柱可提供該線路板上相反兩側(cè)間的電性連接。據(jù)此，由該半導(dǎo)體裝置所產(chǎn)生的熱可借助該金屬塊而被傳導(dǎo)出去，而所述選擇性的金屬凸柱可作為垂直的信號(hào)傳導(dǎo)途徑，或者提供能量傳遞及返回的接地/電源面。

該樹(shù)脂芯層可借助層壓程序而與該金屬塊及所述選擇性的金屬凸柱接合。舉例而言，該金屬塊以及所述選擇性的金屬凸柱可分別被嵌入至一堆疊結(jié)構(gòu)的第一及第二開(kāi)口中，該堆疊結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于一第一金屬層與一第二金屬層之間的貼合膜，接著在一層壓程序中施加熱以及壓力以固化該貼合膜。借助該層壓程序，該貼合膜可提供該第一金屬層與該第二金屬層之間一穩(wěn)固的機(jī)械性連接，且一黏著劑自該貼合膜被擠出以覆蓋、圍繞、及同形披覆于該金屬塊以及所述選擇性的金屬凸柱的側(cè)壁上。因此，所形成的一樹(shù)脂芯層具有分別連接至該第一及該第二金屬層(通常為銅層)的相反的第一及第二側(cè)，且借助被擠出的該黏著劑而貼附至該金屬塊以及所述選擇性的金屬凸柱的側(cè)壁上，被擠出的該黏著劑介于該金屬塊與該樹(shù)脂芯層之間，以及介于所述選擇性的金屬凸柱與該樹(shù)脂芯層之間。優(yōu)選地，該黏著劑在該第一方向上具有實(shí)質(zhì)上與該金屬塊及所述選擇性的金屬凸柱的所述第一側(cè)、以及該樹(shù)脂芯層上的第一金屬層的外表面共平面的一第一表面，并在該第二方向上具有實(shí)質(zhì)上與該金屬塊及所述選擇性的金屬凸柱的所述第二側(cè)、以及該樹(shù)脂芯層上的第二金屬層的外表面共平面的一第二表面。

另一方面，本發(fā)明的該樹(shù)脂芯層可借助模封工藝，或者可借助如層壓環(huán)氧樹(shù)脂或聚酰亞胺的其他方式以形成一埋封塑料，該埋封塑料圍繞且同形披覆于該金屬塊及所述選擇性的金屬凸柱的側(cè)壁上，并且接觸該金屬塊及所述選擇性的金屬凸柱的側(cè)壁。此外，一金屬板可借助上述的模封工藝或樹(shù)脂層壓工藝而連接至該樹(shù)脂芯層的一側(cè)上。舉例而言，該金屬塊以及所述選擇性的金屬凸柱可部分被嵌入至該金屬板的開(kāi)孔，接著，形成一埋封塑料以覆蓋該金屬板以及該金屬塊及所述選擇性的金屬凸柱的側(cè)壁，并延伸進(jìn)入該金屬塊與該金屬板之間以及所述選擇性的金屬凸柱與該金屬板之間的縫隙。因此，該樹(shù)脂芯層可具有連接于該金屬板的一第一側(cè)，以及實(shí)質(zhì)上與該金屬塊以及所述選擇性的金屬凸柱的所述第二側(cè)共平面的第二側(cè)。優(yōu)選地，該金屬板于該第一方向上實(shí)質(zhì)上與該埋封塑料、該金屬塊、以及所述金屬凸柱共平面。

在上述的層壓或模封程序之前，可使用一載膜(通常為黏著膠帶)以提供暫時(shí)性的固定力。舉例而言，該載膜可暫時(shí)性地貼附于該金屬塊以及該選擇性的金屬凸柱的所述第一或第二側(cè)上，以及該堆疊結(jié)構(gòu)的該第一或第二金屬層的外表面上，以分別固定位于該堆疊結(jié)構(gòu)的該第一及第二開(kāi)口中的該金屬塊及所述選擇性的金屬凸柱，接著再進(jìn)行該堆疊結(jié)構(gòu)的層壓程序。而至于模封程序，該載膜可貼附至該金屬塊、該選擇性的金屬凸柱、以及該選擇性的金屬板上，并接著形成該埋封塑料以覆蓋該載膜、該選擇性的金屬板、以及該金屬塊及所述選擇性的金屬凸柱的側(cè)壁上。如上所述將該金屬塊以及所述選擇性的金屬凸柱接合于該樹(shù)脂芯層之后，則在沉積該防潮蓋/所述導(dǎo)線之前，將該載膜自其分離。

該第一及第二防潮蓋可為金屬層(通常為銅層)，且分別在第一及第二方向上完全覆蓋熱膨脹系數(shù)不匹配的兩材料間的界面。根據(jù)借助堆疊結(jié)構(gòu)的層壓程序而將該樹(shù)脂芯層與該金屬塊接合的方式中，該第一及該選擇性的第二防潮蓋可分別在該第一及第二方向上接觸且完全覆蓋介在該金屬塊與該樹(shù)脂芯層之間的黏著劑、以及在該第一及第二方向上完全覆蓋該金屬塊與該黏著劑間的界面，并還分別在該樹(shù)脂芯層的該第一及第二側(cè)上側(cè)向延伸。在此方式中，可借助無(wú)電電鍍接著借助電解電鍍方式，分別在該黏著劑的該第一及該第二表面、該金屬塊的該第一及該第二側(cè)、以及該第一及第二金屬層的該外表面上沉積一披覆層，藉此以形成該第一及該選擇性的第二防潮蓋。因此，該第一防潮蓋可包括一選定部分，該選定部分自該金屬塊的該第一側(cè)延伸至該樹(shù)脂芯層上的該第一金屬層，而該選擇性的第二防潮蓋可包括一選定部分，該選定部分自該金屬塊的該第二側(cè)延伸至該樹(shù)脂芯層上的該第二金屬層。更具體而言，該第一及選擇性的該第二防潮蓋分別包括該堆疊結(jié)構(gòu)的該第一及第二金屬層，且各自在接觸該黏著劑處有一第一厚度(相當(dāng)于該披覆層的厚度，約為0.5至50微米)、在接觸該樹(shù)脂芯層處有大于該第一厚度的一第二厚度(相當(dāng)于該披覆層以及該第一或第二金屬層相加的厚度)、以及面朝該第一或第二方向的一平坦表面。根據(jù)借助形成該埋封塑料以形成該樹(shù)脂芯層與該金屬塊接合的另一方式中，可借助薄膜濺鍍方法，隨后借助電解電鍍方法，以沉積披覆層于該金屬塊及埋封塑料的該第一及第二側(cè)上，藉此以形成該第一及該選擇性的第二防潮蓋。在此方式，該第一及該選擇性的第二防潮蓋可分別在該樹(shù)脂芯層的該第一及第二側(cè)上側(cè)向延伸，并分別在該第一及第二方向上完全覆蓋該金屬塊與該埋封塑料之間的界面，且各自具有0.5至50微米的厚度。如上文所述，該樹(shù)脂芯層的該第一側(cè)可與一金屬板連接，從而該第一防潮蓋可具有不一致的厚度。更具體而言，該第一防潮蓋可在鄰接于該金屬塊與該埋封塑料間的界面處具有一第一厚度(相當(dāng)于該披覆層厚度，約為0.5至50微米)、以及大于該第一厚度的一第二厚度(相當(dāng)于該披覆層以及該金屬板相加的厚度)。同理，對(duì)于具有金屬凸柱作為垂直電性連接的線路板而言，優(yōu)選應(yīng)形成額外的第一防潮蓋，所述額外的第一防潮蓋各自具有自該金屬凸柱的該第一側(cè)延伸至該堆疊結(jié)構(gòu)的該第一金屬層、或自該金屬凸柱的該第一側(cè)延伸至該埋封塑料的第一側(cè)的選定部位。因此，該線路板可包括彼此間隔開(kāi)的多個(gè)第一防潮蓋，以在該第一方向上完全覆蓋熱膨脹系數(shù)不匹配的界面。更具體而言，借助堆疊結(jié)構(gòu)的層壓工藝以形成樹(shù)脂芯層與金屬塊/金屬凸柱接合的方式中，所述額外的第一防潮蓋可在該第一方向上接觸并完全覆蓋所述金屬凸柱與該樹(shù)脂芯層之間的黏著劑、以及所述金屬凸柱與該黏著劑間的界面，并在該樹(shù)脂芯層的該第一側(cè)上側(cè)向延伸。至于借助形成該埋封塑料以形成樹(shù)脂芯層與金屬塊/金屬凸柱接合的另一方式中，所述額外的第一防潮蓋可在該樹(shù)脂芯層的該第一側(cè)上側(cè)向延伸，并在該第一方向完全覆蓋該金屬凸柱與該埋封塑料間的界面。其他有關(guān)于所述額外的第一防潮蓋的細(xì)節(jié)與前述的第一防潮蓋相同，且為了簡(jiǎn)潔的目的則不再重復(fù)說(shuō)明。

形成該第一及第二防潮蓋時(shí)所沉積的披覆層，可借助金屬圖案化的程序而形成所述導(dǎo)線。所述導(dǎo)線與該選擇性的第二防潮蓋間隔開(kāi)來(lái)，并可提供半導(dǎo)體裝置的電性連接。此外，在利用所述金屬凸柱作為垂直電性連接的該線路板中，所述導(dǎo)線具有自所述金屬凸柱的該第二側(cè)上側(cè)向延伸至該堆疊結(jié)構(gòu)的該第二金屬層上，或自所述金屬凸柱的該第二側(cè)上側(cè)向延伸至該埋封塑料第二側(cè)上的選定部分。因此，所述導(dǎo)線可電性連接至所述金屬凸柱，且在該第二方向上完全覆蓋金屬凸柱附近熱膨脹系數(shù)不匹配的界面。更具體而言，借助該堆疊結(jié)構(gòu)的層壓程序?qū)⒔饘賶K/金屬凸柱與樹(shù)脂芯層接合的方式中，所述導(dǎo)線在該第二方向上完全覆蓋所述金屬凸柱與該樹(shù)脂芯層間的黏著劑、以及所述金屬凸柱與該黏著劑之間的界面。在此方式中，所述導(dǎo)線在接觸該黏著劑之處具有一第一厚度(相當(dāng)于該披覆層的厚度，約為0.5至50微米)、以及在該樹(shù)脂芯層接觸之處具有大于該第一厚度的一第二厚度(相當(dāng)于該披覆層以及該第二金屬層相加的厚度)。至于借助形成該埋封塑料以形成樹(shù)脂芯層接合至金屬塊/金屬凸柱的另一方式中，所述導(dǎo)線在該第二方向完全覆蓋所述金屬凸柱與該埋封塑料間的界面。

本發(fā)明還提供了一種半導(dǎo)體組體，其中如芯片的半導(dǎo)體裝置安裝至前述線路板的該金屬塊的該第二側(cè)上，且例如借助打線以電性連接至該線路板的導(dǎo)線上。此外，可提供一蓋體以封裝其中的半導(dǎo)體裝置。據(jù)此，即使熱膨脹系數(shù)不匹配的兩種材料之間的界面產(chǎn)生裂痕，該線路板的該防潮蓋可防止來(lái)自外在環(huán)境的水氣通過(guò)該裂痕而進(jìn)入該半導(dǎo)體組體。此外，由該半導(dǎo)體裝置所產(chǎn)生的熱能可傳導(dǎo)至該金屬塊，并散逸至比該金屬塊具有更大散熱面積的該防潮蓋。

該組體可為一第一階(first-level)或第二階(second-level)的單一芯片或多芯片的裝置，舉例而言，該組體可為包括一單一芯片或多芯片的第一階封裝結(jié)構(gòu)?；蛘?，該組體可為包括單一封裝體或多封裝體的第二階模塊，且每一封裝體可包括單一芯片或多個(gè)芯片，該芯片可為經(jīng)封裝或未經(jīng)封裝的芯片。此外，該芯片可為裸晶、或晶圓級(jí)封裝芯片等。

“覆蓋”一詞意指在垂直及/或側(cè)面方向上不完全以及完全覆蓋。例如，當(dāng)該第一防潮蓋在面朝向下方向時(shí)，該半導(dǎo)體裝置由上方覆蓋該金屬塊，不論如黏著劑等的其他元件是否介于該半導(dǎo)體裝置與該金屬塊之間。

“設(shè)置于…上”及“貼附于…上”一詞包括與單一或多個(gè)元件間的接觸與非接觸。例如，該半導(dǎo)體裝置可被貼附于該第二防潮蓋上，不論該半導(dǎo)體裝置是否接觸該第二防潮蓋，或借助一黏著劑與該第二防潮蓋隔開(kāi)。

“電性連接”的詞意指直接或間接電性連接。例如，該半導(dǎo)體裝置借助打線而電性連接至該導(dǎo)線上，但并未接觸該導(dǎo)線。

“第一方向”及“第二方向”并非取決于線路板的定向，凡本領(lǐng)域的技術(shù)人員即可輕易了解其實(shí)際所指的方向。例如，該金屬塊的該第一側(cè)面朝該第一方向，以及該金屬塊的該第二側(cè)面朝該第二方向，不論此線路板是否倒置。因此，該第一及第二方向彼此相反且垂直于側(cè)面方向，且側(cè)向?qū)?zhǔn)的元件與垂直于第一與第二方向的側(cè)向平面相交。此外，當(dāng)該第一防潮蓋面朝向下方向時(shí)，該第一方向?yàn)橄蛳路较?，該第二方向?yàn)橄蛏戏较?，而?dāng)該第一防潮蓋面朝向上方向時(shí)，該第一方向?yàn)橄蛏戏较?，該第二方向?yàn)橄蛳路较颉?/p>

根據(jù)本發(fā)明的散熱增益型線路板具有多種優(yōu)點(diǎn)，該金屬塊提供了從芯片至位于該金屬塊底下的該第一防潮蓋的散熱途徑。該樹(shù)脂芯層提供了機(jī)械性的支撐，并作為所述導(dǎo)線與該金屬塊之間、及所述金屬凸柱與該金屬塊之間的間隔物。該第一防潮蓋密封金屬與其周?chē)乃芰祥g的界面，并杜絕了界面上的裂痕作為水氣導(dǎo)入的途徑。所述導(dǎo)線提供了該線路板水平的電性路由，而所述金屬凸柱可提供該線路板垂直的電性路由。借助此方法所制備的線路板為可靠的、成本低、且非常適合大量生產(chǎn)。

本發(fā)明的制作方法具有高度適用性，且以獨(dú)特、進(jìn)步的方式結(jié)合運(yùn)用各種成熟的電性及機(jī)械性連接技術(shù)。此外，本發(fā)明的制作方法不需昂貴工具即可實(shí)施。因此，相較于傳統(tǒng)技術(shù)，此制作方法可大幅提升產(chǎn)量、良率、效能與成本效益。

在此所述的實(shí)施例為例示之用，其中所述實(shí)施例可能會(huì)簡(jiǎn)化或省略本技術(shù)領(lǐng)域已熟知的元件或步驟，以免模糊本發(fā)明的特點(diǎn)。同樣地，為使附圖清晰，附圖亦可能省略重復(fù)或非必要的元件及元件符號(hào)。

以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包括在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。