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一種薄膜晶體管及其制備方法與流程

文檔序號:12474163閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種薄膜晶體管,其特征在于,包括:基板、底柵極、底柵極絕緣層、溝道、刻蝕阻擋層、源極、漏極、頂柵極絕緣層和頂柵極,其中,所述底柵極位于所述基板上,所述底柵極絕緣層位于所述底柵極上,所述溝道位于所述底柵極絕緣層上,所述刻蝕阻擋層位于所述溝道上,所述源極和漏極分別位于所述溝道的兩側,所述頂柵極絕緣層位于所述源極和漏極上,所述頂柵極位于所述頂柵極絕緣層上,且所述源極和漏極與所述頂柵極或底柵極之一有重疊部分。

2.根據(jù)權利要求1所述的方法,其特征在于,所述源極和漏極與所述頂柵極和底柵極有重疊部分包括:

所述頂柵極與所述源極或漏極有重疊部分,所述底柵極與所述源極和漏極均有重疊部分。

3.根據(jù)權利要求1所述的方法,其特征在于,所述源極和漏極與所述頂柵極和底柵極有重疊部分包括:

所述頂柵極與所述源極和漏極均有重疊部分,所述底柵極與所述源極或漏極有重疊部分。

4.根據(jù)權利要求1所述的方法,其特征在于,所述源極和漏極與所述頂柵極和底柵極有重疊部分包括:

所述頂柵極與所述源極有重疊部分且與所述漏極沒有重疊部分,所述底柵極與所述源極沒有重疊部分且與所述漏極有重疊部分。

5.根據(jù)權利要求1所述的方法,其特征在于,所述源極和漏極與所述頂柵極和底柵極有重疊部分包括:

所述頂柵極與所述漏極有重疊部分且與所述源極沒有重疊部分,所述底柵極與所述漏極沒有重疊部分且與所述源極有重疊部分。

6.一種薄膜晶體管的制備方法,其特征在于,該方法包括:

在基板上沉積第一金屬膜,并對所述第一金屬膜進行圖形化處理,形成底柵極;

在所述底柵極上依次沉積底柵極絕緣膜和溝道膜,并分別對所述底柵極絕緣膜和溝道膜進行圖形化處理,形成底柵極絕緣層和溝道;

在所述溝道上沉積刻蝕阻擋層,所述刻蝕阻擋層用于保護所述溝道;

在所述溝道上沉積第二金屬膜,并對所述第二金屬膜進行圖形化處理,在所述溝道的兩端上分別形成源極和漏極;

在所述源極和漏極上沉積頂柵極絕緣層;

在所述頂柵極絕緣層上沉積第三金屬膜,并對所述第三金屬膜進行圖形化處理,形成頂柵極,使得所述源極和漏極與所述頂柵極或底柵極之一有重疊部分。

7.根據(jù)權利要求6所述的方法,其特征在于,所述對所述第三金屬膜進行圖形化處理,形成頂柵極,使得所述源極和漏極與所述頂柵極或底柵極之一有重疊部分,包括:

對所述第三金屬膜進行圖像化處理,形成頂柵極,使得所述頂柵極與所述源極或漏極有重疊部分,則對所述第一金屬膜進行圖形化處理,形成底柵極包括:

對所述第一金屬膜進行圖形化處理,形成底柵極,使得所述底柵極與所述源極和漏極均有重疊部分。

8.根據(jù)權利要求6所述的方法,其特征在于,所述對所述第三金屬膜進行圖形化處理,形成頂柵極,使得所述源極和漏極與所述頂柵極或底柵極之一有重疊部分,包括:

對所述第三金屬膜進行圖像化處理,形成頂柵極,使得所述頂柵極與所述源極和漏極均有重疊部分,則對所述第一金屬膜進行圖形化處理,形成底柵極包括:

對所述第一金屬膜進行圖形化處理,形成底柵極,使得所述底柵極與所述源極或漏極有重疊部分。

9.根據(jù)權利要求6所述的方法,其特征在于,所述對所述第三金屬膜進行圖形化處理,形成頂柵極,使得所述源極和漏極與所述頂柵極或底柵極之一有重疊部分,包括:

對所述第三金屬膜進行圖像化處理,形成頂柵極,使得所述頂柵極與所述源極有重疊部分且與所述漏極沒有重疊部分,則對所述第一金屬膜進行圖形化處理,形成底柵極包括:

對所述第一金屬膜進行圖形化處理,形成底柵極,使得所述底柵極與所述源極沒有重疊部分且與所述漏極有重疊部分。

10.根據(jù)權利要求6所述的方法,其特征在于,所述對所述第三金屬膜進行圖形化處理,形成頂柵極,使得所述源極和漏極與所述頂柵極或底柵極之一有重疊部分,包括:

對所述第三金屬膜進行圖形化處理,形成頂柵極,使得所述頂柵極與所述漏極有重疊部分且與所述源極沒有重疊部分,則對所述第一金屬膜進行圖形化處理,形成底柵極包括:

對所述第一金屬膜進行圖形化處理,形成底柵極,使得所述底柵極與所述漏極沒有重疊部分且與所述源極有重疊部分。

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