技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種垂直結(jié)構(gòu)紫光LED芯片的制備方法以帶有低溫u?GaN修復(fù)層及基底的襯底作為生長基礎(chǔ),然后,在平整的u?GaN表面依次生長其他各層外延,制備得到紫光LED外延片;最后將紫光LED外延片制成垂直結(jié)構(gòu)LED,主要包括以下環(huán)節(jié):在LED外延片表面沉積形成反射鏡,并制出金屬電極圖形,利用高溫金屬鍵合工藝將金屬電極圖形表面鍵合在金屬基板上,并利用激光剝離技術(shù)剝離襯底;在u?GaN表面制出另一極金屬電極圖形。本發(fā)明制備的垂直結(jié)構(gòu)LED單顆芯片功率較大,減少了串并聯(lián)LED數(shù)量,可以實現(xiàn)以單芯片滿足用戶需求,同時簡化驅(qū)動電路設(shè)計,大大提高LED產(chǎn)品的可靠性和使用壽命。
技術(shù)研發(fā)人員:田偉;劉波波;田進;趙俊;李誼
受保護的技術(shù)使用者:中聯(lián)西北工程設(shè)計研究院有限公司
文檔號碼:201610796255
技術(shù)研發(fā)日:2016.08.31
技術(shù)公布日:2017.01.11