技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供在對(duì)基板上的有機(jī)材料膜進(jìn)行干燥處理時(shí)盡量地降低混入到處理容器內(nèi)的水分的影響的干燥裝置和干燥處理方法。干燥裝置（100）包括能夠抽成真空的處理容器（1）和用于在處理容器（1）內(nèi)支承基板（S）的作為基板支承部的基板支承部（3），在干燥處理期間，在處理容器（1）內(nèi)的壓力為大氣壓～500Pa的范圍內(nèi)，將基板（S）保持在第1高度位置，在處理容器（1）內(nèi)的壓力為3Pa以下時(shí)，使基板（S）下降到比第1高度位置低的第2高度位置。通過在將基板（S）保持在第1高度位置的狀態(tài)下進(jìn)行減壓排氣，能夠使處理容器（1）內(nèi)的水分自底壁（11）的排氣口（11a）快速地排出。

技術(shù)研發(fā)人員：島村明典;林輝幸
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.26
技術(shù)公布日：2017.07.21