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晶圓級半導(dǎo)體封裝件及其制造方法與流程

文檔序號:12274918閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體封裝件,包括:

半導(dǎo)體芯片,具有主動面;

導(dǎo)通元件,位于該半導(dǎo)體芯片周圍,且該導(dǎo)通元件具有第一表面及相對于該第一表面的第二表面;

封裝體,包覆部分的該半導(dǎo)體芯片及部分的該導(dǎo)通元件,該封裝體具有第三表面及相對該第三表面的第四表面,其中該導(dǎo)通元件突出于該第四表面;以及

上重布層,形成于該第一表面及該第三表面,且電性連接該導(dǎo)通元件與該半導(dǎo)體芯片。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體封裝件,其中該第一表面及該第三表面形成一共平面。

3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體封裝件,其中更包括一裝置電性連接該上重布層。

4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體封裝件,其中該導(dǎo)通元件的直徑介于10微米至50微米。

5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體封裝件,其中該導(dǎo)通元件包含選自鋁、銅、鈦及其組合之材料。

6.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體封裝件,其中更包括介電層位于該第四表面上,且包圍該突出部。

7.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體封裝件,更包括下重布層,形成于該介電層上,且電性連接該導(dǎo)通元件與該半導(dǎo)體芯片。

8.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體封裝件,其中該導(dǎo)通元件包含基板材料。

9.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體封裝件,其中該基板材料包括金屬、聚合物、金屬合金、玻璃或硅。

10.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體封裝件,其中該導(dǎo)通元件包括內(nèi)導(dǎo)電機制及外介電層,該外介電層環(huán)繞該內(nèi)導(dǎo)電機制,并位于該中介層元件的該基板材料與該內(nèi)導(dǎo)電機制之間,使該內(nèi)導(dǎo)電機制不與該封裝體直接接觸。

11.一種半導(dǎo)體封裝件的形成方法,包括:

提供半導(dǎo)體芯片,該半導(dǎo)體芯片具有主動面及相對于該主動面的背面;

形成導(dǎo)通元件鄰近于該半導(dǎo)體芯片;

以封裝體包覆部分的該半導(dǎo)體芯片及部分的該導(dǎo)通元件,其中該導(dǎo)通元件突出于該封裝體;以及

形成重布層于該封裝體上以電性連接該半導(dǎo)體芯片及該導(dǎo)通元件。

12.如權(quán)利要求11所述的形成方法,更包括:

形成介電層于該封裝體上,該介電層包圍該突出部。

13.如權(quán)利要求12所述的形成方法,其中該重布層形成于該介電層上且電性連接該半導(dǎo)體芯片與該導(dǎo)通元件。

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