技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種基板處理設(shè)備。根據(jù)本發(fā)明的基板處理設(shè)備包括：沿著第一方向順序放置的處理模塊、緩沖模塊和轉(zhuǎn)位模塊。轉(zhuǎn)位模塊包括：裝載端口，基板收納容器放置在裝載端口上；和轉(zhuǎn)位機器人，該轉(zhuǎn)位機器人被構(gòu)造成在裝載端口和緩沖模塊之間傳送基板。緩沖模塊包括當(dāng)從頂側(cè)看時沿著垂直于第一方向的第二方向布置的第一緩沖單元和第二緩沖單元。處理模塊包括第一處理單元、第二處理單元、第一傳送室和第二傳送室，其中，第一傳送室設(shè)置有被構(gòu)造成在第一緩沖單元和第一處理單元之間傳送基板的第一傳送機器人，第二傳送室設(shè)置有被構(gòu)造成在第二緩沖單元和第二處理單元之間傳送基板的第二傳送機器人。第一傳送室和第二傳送室沿著第二方向布置。

技術(shù)研發(fā)人員：樸吉秀
受保護(hù)的技術(shù)使用者：細(xì)美事有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.31
技術(shù)公布日：2017.08.04