技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種監(jiān)控不同層金屬層間隔離性能的測(cè)試結(jié)構(gòu)及測(cè)試方法。本發(fā)明的監(jiān)控不同層金屬層間隔離性能的測(cè)試結(jié)構(gòu)包括：第一測(cè)試端、與第一測(cè)試端連接的第一測(cè)試金屬線、與第一測(cè)試金屬線的至少一部分并行連接的冗余金屬線、第二測(cè)試端、以及與第二測(cè)試端連接的第二測(cè)試金屬線；其中，第二測(cè)試金屬線包括與冗余金屬線垂直布置的多條并行金屬線；其中，第一測(cè)試金屬線和冗余金屬線處于第一金屬布線層，第二測(cè)試金屬線處于第二金屬布線層，而且第一金屬布線層和第二金屬布線層是相鄰金屬布線層。

技術(shù)研發(fā)人員：馬杰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海華力微電子有限公司
文檔號(hào)碼：201610984922
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.09
技術(shù)公布日：2017.01.11