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芯片多面包封保護(hù)結(jié)構(gòu)及其制作方法與流程

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技術(shù)特征:

1.一種芯片多面包封保護(hù)結(jié)構(gòu),其特征在于:包括一芯片,所述芯片包含第一表面、與其相對(duì)的第二表面,以及側(cè)面;所述第一表面包含焊墊以及與其電連接的凸點(diǎn),所述芯片的第一表面及側(cè)面上包封有可光刻聚合物材料,所述第一表面上的可光刻聚合物材料暴露出所述凸點(diǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片多面包封保護(hù)結(jié)構(gòu),其特征在于:所述芯片的第二表面設(shè)置有保護(hù)層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片多面包封保護(hù)結(jié)構(gòu),其特征在于:所述凸點(diǎn)表面低于所述可光刻聚合物材料表面。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片多面包封保護(hù)結(jié)構(gòu),其特征在于:所述可光刻聚合物材料為可光刻膠或干膜,第一表面上可光刻聚合物材料的厚度大于10微米。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片多面包封保護(hù)結(jié)構(gòu),其特征在于:所述芯片側(cè)面上可光刻聚合物材料的厚度大于1μm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片多面包封保護(hù)結(jié)構(gòu),其特征在于:所述保護(hù)層的材料為樹(shù)脂類的膠或干膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的芯片多面包封保護(hù)結(jié)構(gòu),其特征在于:所述保護(hù)層的厚度為5μm至40μm。

8.一種芯片多面包封保護(hù)結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于:包括如下步驟:

步驟一:提供一具有若干芯片單元的晶圓,各芯片單元之間具有切割道,該晶圓具有第一表面和與其相對(duì)的第二表面,每個(gè)芯片單元的第一表面包含有焊墊,在每個(gè)芯片單元的第一表面上形成與其上焊墊電連接的凸點(diǎn);

步驟二:在各芯片單元之間的切割道處開(kāi)設(shè)自第一表面向第二表面延伸的溝槽;

步驟三:在晶圓的第一表面上覆蓋一層可光刻聚合物材料,完成溝槽填充和晶圓第一表面的保護(hù);

步驟四:對(duì)可光刻聚合物材料進(jìn)行曝光、顯影制程暴露出每個(gè)芯片單元上的凸點(diǎn),然后對(duì)晶圓第二表面進(jìn)行減薄,減薄至露出溝槽內(nèi)填充的可光刻聚合物材料;

步驟五:在晶圓第二表面上鋪設(shè)保護(hù)層;

步驟六:沿切割道對(duì)晶圓進(jìn)行切割,將溝槽及其內(nèi)填充的可光刻聚合物材料分割開(kāi),形成單顆芯片。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的芯片多面包封保護(hù)結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于:所述溝槽寬度小于90μm,大于50μm。

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