技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種上鍍膜設(shè)備中的石墨框,所述石墨框包括:片槽和片間檔條;所述片槽設(shè)置于所述石墨框上,用于承載硅片;所述片間檔條設(shè)置于所述片槽四周,用于隔擋放置于所述片槽上的硅片;所述片間檔條的隔擋硅片側(cè)設(shè)置有倒角區(qū)。通過倒角區(qū)的設(shè)置,本實用新型提供的石墨框可以顯著降低硅片的碎片率和返工率,降低了生產(chǎn)成本,提高了生產(chǎn)效率。
技術(shù)研發(fā)人員:饒旭杰;孔海洋;王仕鵬;黃海燕;陸川
受保護的技術(shù)使用者:浙江正泰太陽能科技有限公司
文檔號碼:201620539008
技術(shù)研發(fā)日:2016.06.03
技術(shù)公布日:2016.12.14