1.一種MOCVD系統(tǒng)用的加熱盤，包括有加熱盤本體，其特征在于：還包括有易熔導(dǎo)電材料和電極；所述加熱盤本體由上蓋和底座組成，所述底座上形成有環(huán)形溝道，所述易熔導(dǎo)電材料填充在環(huán)形溝道內(nèi)，所述上蓋蓋在底座上，其下表面與底座的上表面貼合處是完全密封的，以保證易熔導(dǎo)電材料完全在環(huán)形溝道內(nèi)流動(dòng)，而不會(huì)溢出，并且，所述上蓋與環(huán)形溝道之間預(yù)留有供易熔導(dǎo)電材料熱膨脹的空間；所述電極安裝在環(huán)形溝道的末端，其上部分嵌入底座與易熔導(dǎo)電材料充分接觸，其下部分形成有安裝螺紋，能夠安裝電源線。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MOCVD系統(tǒng)用的加熱盤，其特征在于：所述易熔導(dǎo)電材料的熔點(diǎn)介于40℃和500℃之間，其常溫下處于固體狀態(tài)，工藝正常運(yùn)行時(shí)處于液態(tài)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MOCVD系統(tǒng)用的加熱盤，其特征在于：所述加熱盤本體分有內(nèi)、中、外三個(gè)加熱區(qū)域，每個(gè)區(qū)域布置有一組電極。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的一種MOCVD系統(tǒng)用的加熱盤，其特征在于：所述加熱盤本體為絕緣導(dǎo)熱體。