本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別涉及一種校正裝置以及晶圓傳送裝置。

背景技術(shù)：

光刻工藝是半導(dǎo)體制造過程中經(jīng)常采用到的一種常見工藝，隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體器件的特征尺寸也不斷的縮小，對光刻的要求(如關(guān)鍵尺寸均勻性、套刻精度等)也逐漸提高，在半導(dǎo)體的光刻制程等工藝中，對晶圓位置的中心度有極高的要求，中心度的誤差會影響制程的均一性，甚至造成制程缺陷。

以光刻工藝中涂膠為例，晶圓傳送位置的中心度將直接影響到所涂覆光阻膜厚的均一性，以及光阻洗邊(Edge Bead Remove，EBR)的精度。然而，在現(xiàn)有的晶圓傳送裝置中，所述晶圓是放置在較小直徑的真空吸盤上，周圍是懸空的，其位置的中心度并沒有直接的參照物。目前，對晶圓傳送位置中心度的調(diào)整通常是使用目測的方式初步粗調(diào)機(jī)械手臂，然后再通過在晶圓上噴涂化學(xué)品試驗(yàn)，來反復(fù)調(diào)整和驗(yàn)證機(jī)械手臂的位置，這種調(diào)整機(jī)械手臂的方法的質(zhì)量和效率完全取決于經(jīng)驗(yàn)，而且還需要噴涂化學(xué)品，增加了額外的成本。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種校正裝置及晶圓傳送裝置，為調(diào)整機(jī)械手臂提供直觀的位置參照，提高工作效率和質(zhì)量，保證晶圓傳送位置中心度的準(zhǔn)確性，并節(jié)約化學(xué)品成本。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供的校正裝置，用于校正一晶圓傳送裝置的機(jī)械手臂，所述晶圓傳送裝置用于傳送一晶圓，所述晶圓傳送裝置中具有一轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸支撐一用于吸附所述晶圓的真空吸盤，所述校正裝置包括：

一用于發(fā)出一激光的激光頭，所述激光頭位于所述轉(zhuǎn)軸的中心軸上；

一校正晶圓；

一用于檢測所述激光的光度計(jì)，所述光度計(jì)的接收面的中心點(diǎn)與所述校正晶圓的圓心相重合。

進(jìn)一步的，所述校正裝置還包括一顯示端，所述顯示端與所述光度計(jì)相連接，所述顯示端顯示所述接收面上的光強(qiáng)分布。

可選的，在所述校正裝置中，所述激光頭內(nèi)置于所述轉(zhuǎn)軸中，所述激光頭向上發(fā)出所述激光。

可選的，在所述校正裝置中，所述激光頭設(shè)置于所述轉(zhuǎn)軸的正上方，且所述激光頭的位置位于所述機(jī)械手臂的下方，所述激光頭向上發(fā)出所述激光。

進(jìn)一步的，在所述校正裝置中，所述光度計(jì)的接收面朝下。

可選的，在所述校正裝置中，所述激光頭設(shè)置于所述轉(zhuǎn)軸的正上方，且所述激光頭的位置位于所述機(jī)械手臂的上方，所述激光頭向下發(fā)出所述激光。

進(jìn)一步的，在所述校正裝置中，所述光度計(jì)的接收面朝上。

可選的，在所述校正裝置中，所述激光頭包括一LED激光器。

可選的，在所述校正裝置中，所述校正晶圓為標(biāo)準(zhǔn)尺寸的晶圓。

可選的，在所述校正裝置中，所述校正晶圓為玻璃晶圓。

可選的，在所述校正裝置中，所述光度計(jì)的接收面的形狀為圓形或者矩形。

進(jìn)一步的，在所述校正裝置中，所述接收面以中心點(diǎn)等分為至少三個(gè)區(qū)，每個(gè)所述區(qū)分別檢測所述激光。

可選的，在所述校正裝置中，所述校正裝置還包括一用于固定所述激光頭的夾具。

可選的，在所述校正裝置中，所述夾具為圓柱形套筒結(jié)構(gòu)，所述夾具嵌套在所述轉(zhuǎn)軸外。

可選的，在所述校正裝置中，所述轉(zhuǎn)軸的側(cè)壁具有一突起，所述夾具的側(cè)壁具有一凹槽，所述突起設(shè)置在所述凹槽內(nèi)。

根據(jù)本實(shí)用新型的另一方面，本實(shí)用新型還提供一種包括上述校正裝置的晶圓傳送裝置。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果：

本實(shí)用新型通過提供一校正裝置，可以用于校正晶圓傳送裝置的機(jī)械手臂； 具體的，所述校正裝置包括一用于發(fā)出一激光的激光頭，所述激光頭位于所述轉(zhuǎn)軸的中心軸上；一校正晶圓；一用于檢測所述激光的光度計(jì)，所述光度計(jì)的接收面的中心點(diǎn)與所述校正晶圓的圓心相重合。當(dāng)進(jìn)行所述機(jī)械手臂校正時(shí)，將所述校正晶圓和光度計(jì)置于所述機(jī)械手臂上，所述機(jī)械手臂將其傳送至所述轉(zhuǎn)軸的上方時(shí)，所述激光頭發(fā)出的激光就將落在所述光度計(jì)的接收面上，為所述機(jī)械手臂的調(diào)整提供一參照物，能夠直觀、準(zhǔn)確的調(diào)整所述機(jī)械手臂，從而使所述晶圓傳送位置的中心度更加準(zhǔn)確，提高工作效率；并且不需要通過在所述晶圓上噴涂化學(xué)品來反復(fù)調(diào)整所述機(jī)械手臂，節(jié)約成本。

進(jìn)一步的，所述校正裝置還包括一顯示端，所述顯示端與所述光度計(jì)相連接，所述顯示端顯示所述接收面上的光強(qiáng)分布，于是，通過所述顯示端的顯示，可更加直觀的判斷所述機(jī)械手臂傳輸位置的偏心距離和方向。更進(jìn)一步的，將所述光度計(jì)的接收面以中心點(diǎn)等分為至少三個(gè)區(qū)，相應(yīng)的所述顯示端顯示所述接收面上每個(gè)所述區(qū)檢測的所述激光的光強(qiáng)值，從而更加一目了然的判斷所述機(jī)械手臂傳輸位置的偏離情況。

而且，當(dāng)所述激光頭內(nèi)置于所述轉(zhuǎn)軸中時(shí)，節(jié)約整個(gè)裝置空間，當(dāng)需要進(jìn)行機(jī)械手臂校正時(shí)，不需要再重新安裝激光頭，縮短校正時(shí)間；而當(dāng)所述激光頭外置于所述轉(zhuǎn)軸的正上方時(shí)，裝置簡易，易于安裝拆卸，可以使光度計(jì)的接收面靈活變化，并且，有利于激光頭的使用壽命。

另外，所述校正晶圓為標(biāo)準(zhǔn)尺寸的晶圓，因此通過所述校正裝置能夠達(dá)到精準(zhǔn)度高的校正。進(jìn)一步的，所述校正晶圓的材質(zhì)為玻璃，一方面有利于透光，使得所述光度計(jì)的設(shè)計(jì)更加靈活，可以根據(jù)實(shí)際需要，將所述光度計(jì)設(shè)置于所述校正晶圓的上表面或者下表面；另一方面，玻璃材質(zhì)的校正晶圓相對于半導(dǎo)體制造中的晶圓價(jià)格實(shí)惠，節(jié)約成本。

最后，為了在校正過程中，所述激光頭發(fā)出的激光位置是固定的，所述校正裝置還包括一用于固定所述激光頭的夾具；而且，所述夾具為圓柱形套筒結(jié)構(gòu)，可以嚴(yán)密的嵌套在所述轉(zhuǎn)軸外，使所述激光頭固定于所述轉(zhuǎn)軸上方；進(jìn)一步的，所述轉(zhuǎn)軸的側(cè)壁具有一突起，所述夾具的側(cè)壁具有一凹槽，所述突起設(shè)置在所述凹槽內(nèi)，是所述激光頭更加穩(wěn)固的固定在所述轉(zhuǎn)軸上方。

附圖說明

圖1和圖2本實(shí)用新型實(shí)施例1中所述校正裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3本實(shí)用新型實(shí)施例2中所述校正裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4本實(shí)用新型實(shí)施例3中所述校正裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合示意圖對本實(shí)用新型校正裝置及晶圓傳送裝置進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型，而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本實(shí)用新型的限制。

在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實(shí)用新型。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。

本實(shí)用新型的核心思想在于，本實(shí)用新型提供的校正裝置，用于校正一晶圓傳送裝置的機(jī)械手臂，所述晶圓傳送裝置用于傳送一晶圓，所述晶圓傳送裝置中具有一轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸支撐一用于吸附所述晶圓的真空吸盤，所述校正裝置包括：一用于發(fā)出一激光的激光頭，所述激光頭位于所述轉(zhuǎn)軸的中心軸上；一校正晶圓；一用于檢測所述激光的光度計(jì)，所述光度計(jì)的接收面的中心點(diǎn)與所述校正晶圓的圓心相重合。

本實(shí)用新型通過提供一校正裝置，可以用于校正晶圓傳送裝置的機(jī)械手臂；具體的，所述校正裝置包括一用于發(fā)出一激光的激光頭，所述激光頭位于所述轉(zhuǎn)軸的中心軸上；一校正晶圓；一用于檢測所述激光的光度計(jì)，所述光度計(jì)的接收面的中心點(diǎn)與所述校正晶圓的圓心相重合。當(dāng)進(jìn)行所述機(jī)械手臂校正時(shí)，將所述校正晶圓和光度計(jì)置于所述機(jī)械手臂上，所述機(jī)械手臂將其傳送至所述轉(zhuǎn)軸的上方時(shí)，所述激光頭發(fā)出的激光就將落在所述光度計(jì)的接收面上，為所述機(jī)械手臂的調(diào)整提供一參照物，能夠直觀、準(zhǔn)確的調(diào)整所述機(jī)械手臂，從而使所述晶圓傳送位置的中心度更加準(zhǔn)確，提高工作效率；并且不需要通過在所 述晶圓上噴涂化學(xué)品來反復(fù)調(diào)整所述機(jī)械手臂，節(jié)約成本。

以下列舉所述校正裝置及晶圓傳送裝置的實(shí)施例，以清楚說明本實(shí)用新型的內(nèi)容，應(yīng)當(dāng)明確的是，本實(shí)用新型的內(nèi)容并不限制于以下實(shí)施例，其他通過本領(lǐng)域普通技術(shù)人員的常規(guī)技術(shù)手段的改進(jìn)亦在本實(shí)用新型的思想范圍之內(nèi)。

實(shí)施例1：

請參閱圖1，為本實(shí)施例中提供的一種校正裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，所述校正裝置用于校正一晶圓傳送裝置的機(jī)械手臂，所述晶圓傳送裝置用于傳送一晶圓，所述晶圓傳送裝置中具有一轉(zhuǎn)軸10，所述轉(zhuǎn)軸10支撐一用于吸附所述晶圓的真空吸盤，所述校正裝置包括：一用于發(fā)出一激光的激光頭11，所述激光頭11位于所述轉(zhuǎn)軸10的正上方(即所述激光頭11位于所述轉(zhuǎn)軸10的中心軸上)，且所述激光頭11的位置位于所述機(jī)械手臂(圖中示意圖省略)的下方(所述機(jī)械手臂用于傳送所述晶圓及后續(xù)的所述校正晶圓)，所述激光頭11包含一用于發(fā)出激光的激光器110，所述激光器110向上發(fā)出所述激光(如圖中黑色箭頭所示)，較佳的，所述激光器110為一LED激光器110，因?yàn)長ED激光器尺寸小、響應(yīng)速度快、發(fā)出的激光相干性好。較佳的，為了在校正過程中，所述激光頭11發(fā)出的激光位置是固定的，所述校正裝置還包括一用于固定所述激光頭11的夾具12，本實(shí)施例中，所述夾具12為與所述轉(zhuǎn)軸10形狀類似的結(jié)構(gòu)，如圓柱形套筒結(jié)構(gòu)，可以嚴(yán)密的嵌套在所述轉(zhuǎn)軸10外，使所述激光頭10固定在所述轉(zhuǎn)軸10上方。進(jìn)一步的，在有些轉(zhuǎn)軸10的側(cè)壁上會具有一突起，則相應(yīng)的所述夾具12的側(cè)壁就設(shè)置一凹槽，使所述突起設(shè)置在所述凹槽內(nèi)，更進(jìn)一步的固定所述激光頭11；

一校正晶圓20，較佳的，為了提高校正的精準(zhǔn)度，所述校正晶圓20為標(biāo)準(zhǔn)尺寸的晶圓，如2inch、4inch以及12inch等等。而且，所述校正晶圓20的材質(zhì)為玻璃，一方面有利于透光，使得后續(xù)所述光度計(jì)的設(shè)計(jì)更加靈活，可以根據(jù)實(shí)際需要，將所述光度計(jì)設(shè)置于所述校正晶圓20的上表面或者下表面；另一方面，玻璃材質(zhì)的校正晶圓20相比于半導(dǎo)體制造中的晶圓價(jià)格實(shí)惠，節(jié)約成本；

一用于檢測所述激光的光度計(jì)21，所述光度計(jì)21的接收面210的中心點(diǎn)與 所述校正晶圓20的圓心相重合。因本實(shí)施例中，所述激光頭11位于所述轉(zhuǎn)軸10的正上方，且所述激光頭11的位置位于所述機(jī)械手臂(圖中省略)的下方，所述激光器110向上發(fā)出所述激光，因此，所述接收面210朝下，用于接收所述激光。優(yōu)選的，所述接收面210的形狀為圓形或者矩形，所述接收面210以中心點(diǎn)等分為至少三個(gè)區(qū)，便于直觀的觀察所述激光的光斑相對于接收面210的中心點(diǎn)的偏移情況，所述接收面210等分的區(qū)域越多，越有利于機(jī)械手臂的調(diào)整，本實(shí)施例以所述接收面210等分為4個(gè)區(qū)為例，為了便于校正，將所述光度計(jì)21與所述校正晶圓20集成在一起，所述光度計(jì)21可以集成于所述校正晶圓20的上表面(如圖1所示)，也可以集成在所述校正晶圓20的下表面，只要使所述接收面210朝下即可，這些都是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員容易理解的，在此不做詳細(xì)描述；

進(jìn)一步的，為了更加精確的清楚所述機(jī)械手臂偏移的距離和方向，本實(shí)施例中的所述校正裝置還包括一顯示端30，所述顯示端30與所述光度計(jì)21相連接，所述顯示端30顯示所述接收面210上的光強(qiáng)分布。較佳的，所述顯示端30根據(jù)所述接收面210的等分情況，顯示所述接收面210上每一個(gè)所述區(qū)檢測的所述激光的光強(qiáng)值，在本實(shí)施例中，即所述顯示端30為可以同時(shí)顯示所述4個(gè)區(qū)的光強(qiáng)值。至于，所述顯示端30的具體顯示形式和結(jié)構(gòu)在本申請中不做限定。

為了進(jìn)一步描述所述校正裝置及晶圓傳送裝置，現(xiàn)通過詳細(xì)描述校正機(jī)械手臂的過程，以更加清楚的描述本實(shí)用新型的內(nèi)容。

當(dāng)需要進(jìn)行機(jī)械手臂校正時(shí)，先將晶圓傳送裝置中的所述真空吸盤取下，接著，將所述激光頭11和所述夾具12按照上述連接關(guān)系安裝在所述轉(zhuǎn)軸10上，然后，將所述校正晶圓20及所述光度計(jì)21置于所述機(jī)械手臂上，所述機(jī)械手臂將其傳送至所述轉(zhuǎn)軸10的上方時(shí)，所述激光器110發(fā)出的激光就將落在所述光度計(jì)21的接收面210上，通過所述顯示端30顯示所述接收面210上4個(gè)區(qū)的光強(qiáng)值來判斷所述機(jī)械手臂的位置是否正確，從而判斷所述晶圓傳送裝置中所述晶圓傳送位置的中心度是否精確。具體的，如圖1所示，當(dāng)所述機(jī)械手臂的位置有偏差時(shí)，則所述接收面210的4個(gè)區(qū)域接收的激光的光強(qiáng)值就會不一致，如圖1的所述顯示端30顯示的0/10/10/80，于是，就可以很容易、很直觀的判斷該如何調(diào)整機(jī)械手臂，而不是通過目測憑經(jīng)驗(yàn)去“盲”調(diào)；通過相應(yīng)的 調(diào)整后，如圖2所示，當(dāng)所述顯示端30顯示的4個(gè)區(qū)域的光強(qiáng)值都一致或很接近時(shí)(如所述顯示端30顯示為25/25/25/25時(shí))，表示所述機(jī)械手臂的位置已處于最佳狀態(tài)，即通過所述校正裝置已完成所述機(jī)械手臂，從而使所述晶圓傳送裝置中所述晶圓傳送位置的中心度達(dá)到正確。

因此，本實(shí)施例通過上述校正裝置為所述機(jī)械手臂的調(diào)整提供一參照物，所述參照物例如但不限定于光強(qiáng)分布或光強(qiáng)值，還可以為其它可探測、可顯示的值或代碼等，能夠直觀、更準(zhǔn)確的調(diào)整所述機(jī)械手臂，從而使所述晶圓傳送位置的中心度更加準(zhǔn)確，提高工作效率；并且不需要通過在所述晶圓上噴涂化學(xué)品來反復(fù)調(diào)整所述機(jī)械手臂，節(jié)約成本。

實(shí)施例2：

請參閱圖3，其中，參考標(biāo)號表示與圖1、圖2相同的表述與第一實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)。所述第二實(shí)施例的校正裝置與所述第一實(shí)施例的校正裝置基本相同，其區(qū)別在于：所述激光頭11內(nèi)置于所述轉(zhuǎn)軸10中(顯然，所述轉(zhuǎn)軸10為空心的軸)，即所述激光頭11位于所述轉(zhuǎn)軸10的中心軸上，當(dāng)然，所述激光頭1內(nèi)置于所述轉(zhuǎn)軸10中時(shí)，同樣是需要有固定所述激光頭11的固定裝置(圖3中所述固定裝置示意圖省略)的，例如，類似基座一樣物體支撐固定所述激光頭。該實(shí)施例的設(shè)計(jì)節(jié)約整個(gè)裝置空間，當(dāng)需要進(jìn)行機(jī)械手臂校正時(shí)，不需要再重新安裝激光頭11，縮短校正時(shí)間，其它結(jié)構(gòu)及其校正方法與第一實(shí)施例的一樣，是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解的，在此不做贅述。

實(shí)施例3：

請參閱圖4，其中，參考標(biāo)號表示與圖1、圖2相同的表述與第一實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)。所述第三實(shí)施例的校正裝置與所述第一實(shí)施例的校正裝置基本相同，其區(qū)別在于：所述激光頭11位于所述轉(zhuǎn)軸10的正上方(即所述激光頭11位于所述轉(zhuǎn)軸10的中心軸上)，且所述激光頭10的位置位于所述機(jī)械手臂的上方，所述激光頭11中的激光器110發(fā)出向下的光(如圖中黑色箭頭方向所示)，顯然，為了使所述激光頭11能夠固定，會對其增設(shè)一固定裝置(圖中省略)，如所述固定裝置可以為一夾具、一吸盤或一掛鉤等等。該實(shí)施例的設(shè)計(jì)，裝置 簡易，所述激光頭易于安裝拆卸。因?yàn)樗黾す忸^11和激光器110的相關(guān)設(shè)計(jì)，相應(yīng)的所述接收面210就要朝上，其他裝置與第一實(shí)施例的裝置相同。而相應(yīng)的在所述機(jī)械手臂校正方法中，在校正之前，所述真空吸盤可以不用取下，其他校正過程可參考第一實(shí)施例的校正方法，是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員容易理解的，在此不做贅述。

綜上，本實(shí)用新型通過提供一校正裝置，可以用于校正晶圓傳送裝置的機(jī)械手臂；具體的，所述校正裝置包括一用于發(fā)出一激光的激光頭，所述激光頭位于所述轉(zhuǎn)軸的中心軸上；一校正晶圓；一用于檢測所述激光的光度計(jì)，所述光度計(jì)的接收面的中心點(diǎn)與所述校正晶圓的圓心相重合。當(dāng)進(jìn)行所述機(jī)械手臂校正時(shí)，將所述校正晶圓和光度計(jì)置于所述機(jī)械手臂上，所述機(jī)械手臂將其傳送至所述轉(zhuǎn)軸的上方時(shí)，所述激光頭發(fā)出的激光就將落在所述光度計(jì)的接收面上，為所述機(jī)械手臂的調(diào)整提供一參照物，能夠直觀、準(zhǔn)確的調(diào)整所述機(jī)械手臂，從而使所述晶圓傳送位置的中心度更加準(zhǔn)確，提高工作效率；并且不需要通過在所述晶圓上噴涂化學(xué)品來反復(fù)調(diào)整所述機(jī)械手臂，節(jié)約成本。

進(jìn)一步的，所述校正裝置還包括一顯示端，所述顯示端與所述光度計(jì)相連接，所述顯示端顯示所述接收面上的光強(qiáng)分布，于是，通過所述顯示端的顯示，可更加直觀的判斷所述機(jī)械手臂傳輸位置的偏心距離和方向。更進(jìn)一步的，將所述光度計(jì)的接收面以中心點(diǎn)等分為至少三個(gè)區(qū)，相應(yīng)的所述顯示端顯示所述接收面上每個(gè)所述區(qū)檢測的所述激光的光強(qiáng)值，從而更加一目了然的判斷所述機(jī)械手臂傳輸位置的偏離情況。

而且，當(dāng)所述激光頭內(nèi)置于所述轉(zhuǎn)軸中時(shí)，節(jié)約整個(gè)裝置空間，當(dāng)需要進(jìn)行機(jī)械手臂校正時(shí)，不需要再重新安裝激光頭，縮短校正時(shí)間；而當(dāng)所述激光頭外置于所述轉(zhuǎn)軸的正上方時(shí)，裝置簡易，易于安裝拆卸，可以使光度計(jì)的接收面靈活變化，并且，有利于激光頭的使用壽命。

另外，所述校正晶圓為標(biāo)準(zhǔn)尺寸的晶圓，因此通過所述校正裝置能夠達(dá)到精準(zhǔn)度高的校正。進(jìn)一步的，所述校正晶圓的材質(zhì)為玻璃，一方面有利于透光，使得所述光度計(jì)的設(shè)計(jì)更加靈活，可以根據(jù)實(shí)際需要，將所述光度計(jì)設(shè)置于所述校正晶圓的上表面或者下表面；另一方面，玻璃材質(zhì)的校正晶圓相對于半導(dǎo) 體制造中的晶圓價(jià)格實(shí)惠，節(jié)約成本。

最后，為了在校正過程中，所述激光頭發(fā)出的激光位置是固定的，所述校正裝置還包括一用于固定所述激光頭的夾具；而且，所述夾具為圓柱形套筒結(jié)構(gòu)，可以嚴(yán)密的嵌套在所述轉(zhuǎn)軸外，使所述激光頭固定于所述轉(zhuǎn)軸上方；進(jìn)一步的，所述轉(zhuǎn)軸的側(cè)壁具有一突起，所述夾具的側(cè)壁具有一凹槽，所述突起設(shè)置在所述凹槽內(nèi)，是所述激光頭更加穩(wěn)固的固定在所述轉(zhuǎn)軸上方。

顯然，在上述實(shí)施例中僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，在上述校正裝置的基礎(chǔ)上，還能夠得出多種類似的校正裝置，以實(shí)現(xiàn)有參照物的調(diào)整機(jī)械手臂，從而使得所述晶圓傳送裝置中所述晶圓傳送位置的中心度更加準(zhǔn)確。因此，上述實(shí)施例并不用以限制本實(shí)用新型。本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。