技術(shù)總結(jié)
本實用新型涉及一種用于測試硅片臭氧氧化層親水性的組合裝置，所述的組合裝置包括：載片裝置，所述的載片裝置包括支撐硅片的支撐面及穩(wěn)固硅片的抵擋條，所述的支撐面的底邊與所述的抵擋條相平行，使硅片以30度的角度斜靠在所述的支撐面的頂邊與所述的抵擋條之間，取水裝置，所述的取水裝置為20μL的移液槍。采用了該實用新型中的組合裝置，利用去離子水滴落在硅片上的表現(xiàn)形式不一致來區(qū)分二氧化硅是否覆蓋良好，載片裝置使硅片以30度的角度傾斜，方便于測試人員測試，移液槍取出分量固定為20μL，取水過多則即使在覆蓋不良的狀態(tài)下，等離子水也能往下流動，取水過少則無法流到硅片底部，從而影響對結(jié)果的判斷。

技術(shù)研發(fā)人員：郭威;王斌;何悅;胡克喜;任勇;李志剛;王在發(fā)
受保護的技術(shù)使用者：尚德太陽能電力有限公司
文檔號碼：201621124806
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.14
技術(shù)公布日：2017.04.26