技術(shù)總結(jié)
本實用新型提供一種用于晶圓的打點裝置，打點裝置包括X軸移動控制機構(gòu)、Y軸移動控制機構(gòu)和工作臺，工作臺用于承載晶圓，X軸移動控制機構(gòu)控制工作臺沿X軸移動，Y軸移動控制機構(gòu)控制工作臺沿Y軸移動，打點裝置還包括支撐架和至少一個點墨機構(gòu)，支撐架位于工作臺的上方，支撐架上設(shè)置有多個工位，點墨機構(gòu)包括固定組件和點墨組件，點墨組件對晶圓進(jìn)行標(biāo)記，固定組件包括安裝件、第一連接件、第二連接件、第三連接件、第一螺釘、第二螺釘和第三螺釘。可多工位同時對晶圓進(jìn)行標(biāo)記打點，生產(chǎn)效率高，結(jié)構(gòu)簡單。并且點墨組件的位置可調(diào)節(jié)，從而使打點裝置適用于不同規(guī)格的晶圓，結(jié)構(gòu)簡單，生產(chǎn)效率高，降低生產(chǎn)成本。

技術(shù)研發(fā)人員：吳俊;袁志偉
受保護的技術(shù)使用者：珠海市中芯集成電路有限公司
文檔號碼：201621441242
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.26
技術(shù)公布日：2017.07.21