1.一種基于黑硅的隧穿接觸太陽能電池在線式制備設(shè)備，其特征是，包括依次經(jīng)輸送料道連通的進(jìn)樣室（1）、黑硅制備腔室（2）、介質(zhì)膜制備腔室（4）、摻雜膜制備腔室（6）、透明電極制備腔室（8）以及出樣室（9），所述進(jìn)樣室（1）、黑硅制備腔室（2）、介質(zhì)膜制備腔室（4）、摻雜膜制備腔室（6）、透明電極制備腔室（8）以及出樣室（9）上分別設(shè)置有用于對其進(jìn)行抽真空的真空泵組，所述進(jìn)樣室（1）、黑硅制備腔室（2）、介質(zhì)膜制備腔室（4）、摻雜膜制備腔室（6）、透明電極制備腔室（8）以及出樣室（9）上內(nèi)分別設(shè)置有滾輪組，鏤空載板（12）可在各室之間的滾輪組上往復(fù)移動；各輸送料道上分別設(shè)置有真空閥；
所述的介質(zhì)膜制備腔室（4）和摻雜膜制備腔室（6）結(jié)構(gòu)相同，分別包括第一殼體，第一殼體內(nèi)的滾輪組為第一滾輪組，所述第一滾輪組的上下分別設(shè)置有陽極（41），所述陽極（41）上開設(shè)有小孔；樓板載板移動至第一殼體內(nèi)時(shí)做陰極，鏤空載板（12）上下兩端分別距離陽極（41）的間距為3-5cm；
所述透明電極制備腔室（8）包括第二殼體，第二殼體內(nèi)的滾輪組為第二滾輪組，第二滾輪組的上下分別設(shè)設(shè)置有ITO靶材（81）做陽極，所述ITO靶材（81）上開設(shè)有小孔；樓板載板移動至第二殼體內(nèi)時(shí)做陰極，所述鏤空載板（12）的上下分別距離ITO靶材（81）的間距10-15cm。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于黑硅的隧穿接觸太陽能電池在線式制備設(shè)備，其特征是，所述的黑硅制備腔室（2）和介質(zhì)膜制備腔室（4）之間的輸送料道上設(shè)置有第一過度腔室（3），所述第一過度腔室（3）的進(jìn)出輸送料道上分別設(shè)置有真空閥；
所述的介質(zhì)膜制備腔室（4）和摻雜膜制備腔室（6）之間的輸送料道上設(shè)置有第二過度腔室（5），所述第二過度腔室（5）的進(jìn)出輸送料道上分別設(shè)置有真空閥；
所述摻雜膜制備腔室（6）和透明電極制備腔室（8）之間的輸送料道上設(shè)置有第三過度腔室（7），所述第三過度腔室（7）的進(jìn)出輸送料道上分別設(shè)置有真空閥；
各過度腔室內(nèi)分別設(shè)置有可往復(fù)運(yùn)動的輸送載板，過度腔室上分別設(shè)置有真空泵組。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于黑硅的隧穿接觸太陽能電池在線式制備設(shè)備，其特征是，所述真空泵組包括真空泵以及蝶閥，所述蝶閥控制制程壓強(qiáng)。