技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及一種基于黑硅的隧穿接觸太陽(yáng)能電池在線式制備設(shè)備，包括進(jìn)樣室、黑硅制備腔室、介質(zhì)膜制備腔室、摻雜膜制備腔室、透明電極制備腔室以及出樣室，各室外設(shè)置真空泵組，各室內(nèi)設(shè)置有滾輪組，鏤空載板可在各室之間的滾輪組上往復(fù)移動(dòng)；各輸送料道上分別設(shè)置有真空閥；介質(zhì)膜制備腔室和摻雜膜制備腔室結(jié)構(gòu)相同，分別包括第一殼體，第一滾輪組的上下分別設(shè)置有陽(yáng)極，樓板載板做陰極；透明電極制備腔室包括第二殼體，第二滾輪組的上下分別設(shè)設(shè)置有ITO靶材做陽(yáng)極，樓板載板做陰極?？梢砸淮涡詫⒐杵瑑擅嬷苽浣橘|(zhì)膜。同時(shí)，摻雜硅薄膜層也在一個(gè)腔體完成。

技術(shù)研發(fā)人員：丁建寧;王書(shū)博;袁寧一
受保護(hù)的技術(shù)使用者：常州大學(xué)
文檔號(hào)碼：201621461827
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.29
技術(shù)公布日：2017.07.28