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相變存儲器單元、芯片及電子系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:12317412閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本公開的實施例涉及一種相變存儲器單元、芯片及電子系統(tǒng)。相變存儲器單元(1’)包括:襯底(2),容納包括第一導(dǎo)電電極(4)的用于選擇存儲器單元(1’)的晶體管(15);在選擇晶體管(15)上的第一電絕緣層(10);穿過電絕緣層(10)的第一導(dǎo)電通孔(11a),被電耦合至第一導(dǎo)電電極(4);加熱器元件(34’),包括與第一導(dǎo)電通孔(11a)電接觸的第一部分和與第一部分電連續(xù)且正交于第一部分延伸的第二部分;第一保護元件(32’),在加熱器元件(34’)的第一和第二部分上延伸;第二保護元件(40’),與加熱器元件(34’)的第一部分并與第一保護元件(32’)直接橫向接觸地延伸;以及相變區(qū)域(50),在加熱器元件(34’)之上與加熱器元件(34’)電且熱接觸地延伸。

技術(shù)研發(fā)人員:P·祖里亞尼;G·孔法洛涅里;A·吉拉爾迪尼;C·L·佩瑞里尼
受保護的技術(shù)使用者:意法半導(dǎo)體股份有限公司
文檔號碼:201621479730
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.30
技術(shù)公布日:2017.10.27

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