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使用直接檢測(cè)傳感器的電子能量損失光譜儀的制作方法

文檔序號(hào):12679957閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種電子能量損失光譜儀,包括:一個(gè)直接檢測(cè)傳感器,設(shè)置用于直接曝光電子光譜并將所述電子光譜轉(zhuǎn)換為二維圖像;及一個(gè)傳感器處理器,其中所述傳感器處理器用于將二位圖像轉(zhuǎn)換為一維光譜,且其中所述一維光譜輸出至計(jì)算機(jī)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述電子能量損失光譜儀,進(jìn)一步包括:一個(gè)高速快門(mén);及一個(gè)攝像機(jī)控制器,其中所述高速快門(mén)的操作與所述直接檢測(cè)傳感器的讀出時(shí)間相結(jié)合。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述電子能量損失光譜儀,其中所述攝像機(jī)控制器設(shè)置用于通過(guò)在所述高速快門(mén)控制的對(duì)各圖像的曝光的條件下將所述電子光譜曝光于所述直接檢測(cè)傳感器中獲得多個(gè)圖像,其中所述多個(gè)圖像結(jié)合形成一個(gè)合成圖像。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述電子能量損失光譜儀,其中所述攝像機(jī)控制器設(shè)置用于獲得所述多個(gè)圖像,因此所述多個(gè)圖像包括通過(guò)將所述直接檢測(cè)傳感器曝光第一曝光時(shí)間而形成的至少一個(gè)圖像和通過(guò)將所述直接檢測(cè)傳感器曝光不同于所述第一曝光時(shí)間的第二曝光時(shí)間而形成的至少一個(gè)附加圖像。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述電子能量損失光譜儀,進(jìn)一步包括一個(gè)攝像機(jī)處理器,配置用于將所述多個(gè)圖像結(jié)合形成一維光譜。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述電子能量損失光譜儀,進(jìn)一步包括一個(gè)具有漂流管電壓的漂流管,其中所述攝像機(jī)控制器配置用于將所述漂流管電壓的控制與所述直接檢測(cè)傳感器的所述讀出時(shí)間相結(jié)合。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述電子能量損失光譜儀,其中所述攝像機(jī)控制器進(jìn)一步配置用于將所述高速快門(mén)的控制與所述漂流管電壓的控制相結(jié)合。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述電子能量損失光譜儀,其中所述攝像機(jī)控制器配置用于:獲得第一漂流管電壓下的多個(gè)圖像,包括通過(guò)將所述直接檢測(cè)傳感器曝光第一曝光時(shí)間而形成的至少一個(gè)第一圖像和通過(guò)將所述直接檢測(cè)傳感器曝光不同于所述第一曝光時(shí)間的第二曝光時(shí)間而形成的至少一個(gè)第二圖像;及獲得第二漂流管電壓下的多個(gè)圖像,包括通過(guò)將所述直接檢測(cè)傳感器曝光所述第一曝光時(shí)間而形成的至少一個(gè)第三圖像和通過(guò)將所述直接檢測(cè)傳感器曝光所述第二曝光時(shí)間而形成的至少一個(gè)第四個(gè)圖像。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述電子能量損失光譜儀,進(jìn)一步包括通過(guò)像素前置信號(hào)控制的掃描控制電子設(shè)備,其中所述攝像機(jī)控制器進(jìn)一步配置用于將所述像素前置信號(hào)的控制與所述直接檢測(cè)傳感器的所述讀出時(shí)間相結(jié)合。

10.一種制備電子能量損失光譜儀的方法,包括:將直接檢測(cè)傳感器曝光于電子光譜下;將所述電子光譜轉(zhuǎn)換為二維圖像;將所述二維圖像轉(zhuǎn)換為一維光譜;及將所述一維光譜傳送至主機(jī)。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述方法,進(jìn)一步包括:將所述直接檢測(cè)傳感器的讀出時(shí)間與所述高速快門(mén)的曝光控制相結(jié)合。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述方法,進(jìn)一步包括:通過(guò)將所述直接檢測(cè)傳感器曝光于電子光譜下獲得多個(gè)圖像,其中所述高速快門(mén)控制每次曝光;及將所述多個(gè)圖像結(jié)合形成一個(gè)合成圖像。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述方法,其中:獲得所述多個(gè)圖像,因此所述多個(gè)圖像包括通過(guò)將所述直接檢測(cè)傳感器曝光第一曝光時(shí)間而形成的至少一個(gè)圖像和通過(guò)將所述直接檢測(cè)傳感器曝光不同于所述第一曝光時(shí)間的第二曝光時(shí)間而形成的至少一個(gè)附加圖像。

14.根據(jù)權(quán)利要求11所述方法,進(jìn)一步包括:將所述漂流管電壓的控制與所述直接檢測(cè)傳感器的所述讀出時(shí)間相結(jié)合。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述方法,進(jìn)一步包括:將所述高速快門(mén)的控制與所述漂流管電壓的控制相結(jié)合。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述方法,進(jìn)一步包括:獲得第一漂流管電壓下的多個(gè)圖像,包括通過(guò)將所述直接檢測(cè)傳感器曝光第一曝光時(shí)間而形成的至少一個(gè)第一圖像和通過(guò)將所述直接檢測(cè)傳感器曝光不同于所述第一曝光時(shí)間的第二曝光時(shí)間而形成的至少一個(gè)第二圖像;及獲得第二漂流管電壓下的多個(gè)圖像,包括通過(guò)將所述直接檢測(cè)傳感器曝光所述第一曝光時(shí)間而形成的至少一個(gè)第三圖像和通過(guò)將所述直接檢測(cè)傳感器曝光所述第二曝光時(shí)間而形成的至少一個(gè)第四個(gè)圖像。

17.根據(jù)權(quán)利要求11所述方法,進(jìn)一步包括:將所述像素前置信號(hào)的控制與所述直接檢測(cè)傳感器的所述讀出時(shí)間相結(jié)合。

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