技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供基板交接位置的示教方法和基板處理系統(tǒng)。在輸送裝置的臂與處理裝置的銷之間交接基板之際效率良好地示教鉛垂方向上的交接位置。使輸送臂從基準位置向鉛垂方向上方移動預定距離(工序A2)。使輸送臂沿著水平方向移動(工序A3)。使輸送臂向鉛垂方向下方移動預定距離(工序A4)。對被輸送臂保持著的晶圓相對于該輸送臂的水平方向上的位置進行檢測(工序A7)。反復進行工序(A1～A7)這一系列工序，且每進行該一系列工序就使工序(A1)中的基準位置向鉛垂上方移動預定距離。將在工序(A7)中檢測出的水平方向上的位置偏離了預定位置的情況下的、輸送臂的鉛垂方向上的位置示教為晶圓的交接位置。

技術(shù)研發(fā)人員：阪上博充
受保護的技術(shù)使用者：東京毅力科創(chuàng)株式會社
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.25
技術(shù)公布日：2017.08.08