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用于半導體測試的自動測試設備的多波導結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:11587642閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本文涉及用于半導體測試的自動測試設備的多波導結(jié)構(gòu)。本公開的實施例使用可定制波導,其可以在包含一個單個法蘭以為波導提供物理連接的結(jié)構(gòu)中彼此相鄰地放置。以這種方式,許多波導可以位于小區(qū)域內(nèi)以容納緊密封裝的貼片天線陣列,使得波導可以被非常接近插口來放置。因此,本公開的實施例通過提供容納許多波導的單個結(jié)構(gòu)來允許更多的波導被封裝到小區(qū)域中,并且僅共享可以被適當?shù)卮_定尺寸的單個法蘭連接元件。

技術(shù)研發(fā)人員:唐·李;林偉良;羅杰·麥克阿蓮那;宮尾光介
受保護的技術(shù)使用者:愛德萬測試公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.02.03
技術(shù)公布日:2017.08.11
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