技術(shù)特征：

1.一種銳角金屬圖形剝離方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、在銳角缺損的金屬圖形上涂覆聚酰亞胺層并烘干；

S2、在所述聚酰亞胺層上涂覆光刻膠，采用光刻顯影定義出聚酰亞胺層的打開(kāi)位置；

S3、根據(jù)所述打開(kāi)位置，采用刻蝕方式打開(kāi)聚酰亞胺層，定義出銳角位置，銳角位置的兩個(gè)自由端與銳角缺損的金屬圖形部分重疊；

S4、在所述銳角位置再次沉積金屬；

S5、去除光刻膠，得到具有完整銳角的金屬圖形。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銳角金屬圖形剝離方法，其特征在于，所述步驟S3中，銳角位置與銳角缺損的金屬圖形單邊重疊長(zhǎng)度不小于0.5μm。

3.根據(jù)權(quán)利要1或2所述的銳角金屬圖形剝離方法，其特征在于，所述步驟S4中再次沉積的金屬單邊長(zhǎng)度不超過(guò)10μm。

4.根據(jù)權(quán)利要3所述的銳角金屬圖形剝離方法，其特征在于，所述步驟S5之后還包括步驟S6：在所述具有完整銳角金屬圖形晶圓表面沉積SiO₂或SiN。