技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種基于氧化鋅透明電極的異面型光導(dǎo)開關(guān)。其包括摻釩碳化硅襯底(1)、上歐姆接觸電極(2)、下歐姆接觸電極(3)、上薄膜電極(4)和下薄膜電極(5)，該上歐姆接觸電極(2)及下歐姆接觸電極(3)分別淀積在摻釩碳化硅襯底(1)的正面和背面，該上薄膜電極(4)淀積在摻釩碳化硅襯底(1)正面及上歐姆接觸電極(2)的表面，該下薄膜電極(5)淀積在摻釩碳化硅襯底(1)背面及下歐姆接觸電極(3)的表面；上薄膜電極和下薄膜電極均采用透明氧化鋅材料，使得光導(dǎo)開關(guān)可在電極面光照下導(dǎo)通，增加了器件的受光面積，提高了導(dǎo)電通道的光子濃度和激光能量利用率，可用于高速脈沖系統(tǒng)。

技術(shù)研發(fā)人員：郭輝;吳建魯;曹鵬輝;張玉明;張晨旭
受保護的技術(shù)使用者：西安電子科技大學(xué)
文檔號碼：201710153393
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.15
技術(shù)公布日：2017.06.30