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一種高靈敏度的微型集成紫外線檢測傳感器的制作方法

文檔序號:11662741閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種高靈敏度的微型集成紫外線檢測傳感器,其特征在于,連接有電信號的線路板上設(shè)有芯片組,所述芯片組包括若干個紫外線檢測芯片,所述紫外線檢測芯片之間通過導(dǎo)電線進(jìn)行串并聯(lián)連接,所述芯片組通過芯片組連線與所述線路板連接,所述芯片組周圍設(shè)有封裝層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高靈敏度的微型集成紫外線檢測傳感器,其特征在于,所述紫外線檢測芯片為氮化鎵紫外線檢測芯片。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高靈敏度的微型集成紫外線檢測傳感器,其特征在于,所述紫外線檢測芯片上設(shè)有電極,所述電極之間通過導(dǎo)電線連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的高靈敏度的微型集成紫外線檢測傳感器,其特征在于,所述電極呈圓形。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高靈敏度的微型集成紫外線檢測傳感器,其特征在于,在所述芯片組中,所述紫外線檢測芯片排列形成單排或單列或陣列形式。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高靈敏度的微型集成紫外線檢測傳感器,其特征在于,所述芯片組連線為金絲線、合金絲線、合銀絲線、硅鋁絲線中的任意一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高靈敏度的微型集成紫外線檢測傳感器,其特征在于,所述封裝層由透明的導(dǎo)紫外線材質(zhì)制成。

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