技術(shù)總結(jié)
一種可屏蔽翻轉(zhuǎn)運(yùn)輸裝置，包括上游傳輸裝置和下游傳輸裝置，其特征在于：包括用于將上游傳輸裝置上的硅片翻轉(zhuǎn)180°放至下游傳輸裝置上的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)固設(shè)于屏蔽機(jī)構(gòu)，所述屏蔽機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)移動(dòng)便于上游傳輸裝置上的硅片傳送至下有傳輸裝置；所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)臂、吸盤，所述吸盤固設(shè)于轉(zhuǎn)臂，所述轉(zhuǎn)臂與驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)臂翻轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接；所述屏蔽機(jī)構(gòu)包括支撐腳、以及用于驅(qū)動(dòng)翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)沿支撐腳上下滑動(dòng)的上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型可以滿足對(duì)硅片的翻轉(zhuǎn)需求，同時(shí)在特殊需要時(shí)也能夠不對(duì)硅片進(jìn)行翻轉(zhuǎn)且不妨礙硅片的傳輸，提高硅片流轉(zhuǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：濮一鵬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無(wú)錫先導(dǎo)智能裝備股份有限公司
文檔號(hào)碼：201720139984
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.16
技術(shù)公布日：2017.09.19