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具有SiO2鈍化層的硅上石墨烯電子器件的制造和處理的制作方法

文檔序號:40624420發(fā)布日期:2025-01-10 18:30閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種最小化或防止石墨烯分層和/或減少沉積在sio2/si襯底上的石墨烯層上的缺陷的方法,所述方法包括以下步驟:

2.一種制造石墨烯場效應晶體管(gfet)的方法,所述石墨烯場效應晶體管包括沉積在sio2/si襯底上的石墨烯層,并且其中所述gfet的特征在于具有至少一個漏極、源極和柵極電極,

3.根據權利要求1或2的方法,其中甲基苯選自二甲苯(鄰二甲苯、間二甲苯或對二甲苯)、甲苯、連三甲苯(1,2,3-三甲基苯)、均三甲苯(1,3,5-三甲基苯)、假枯烯(1,2,4-三甲基苯)、連四甲苯(1,2,3,4-四甲基苯)、異杜烯(1,2,3,5-四甲基苯)、杜烯(1,2,4,5-四甲基苯)或六甲基苯。

4.根據權利要求1或2的方法,其中甲基苯是二甲苯。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的方法,其中所述酮選自丙酮、乙酸乙酯、環(huán)己酮、甲基乙基或雙丙酮。

6.根據權利要求1至4中任一項所述的方法,其中所述酮是丙酮。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的方法,其中所述醇選自異丙醇(ipa)、正丙醇、正丁醇、異丁醇、叔丁醇或正戊醇。

8.根據權利要求1至6中任一項所述的方法,其中所述醇是異丙醇(ipa)。

9.根據權利要求2至8中任一項所述的方法,其中所述聚合物抗蝕劑是pmma。

10.根據權利要求1所述的方法制備的石墨烯層。

11.根據權利要求2至9中任一項所述的方法制備的石墨烯場效應晶體管(gfet)。

12.如權利要求11所述的石墨烯場效應晶體管,其中所述石墨烯沉積層的電阻在石墨烯的特征范圍內。

13.根據權利要求11或12的石墨烯場效應晶體管,其中所述石墨烯沉積層的電阻為約450歐姆/cm2。

14.一種電子器件,其包含如權利要求10中所限定的石墨烯層。

15.根據權利要求14所述的電子器件,其中所述器件選自基于石墨烯的電子電路、電子傳感器、模擬電路、半導體芯片和微流體遞送系統。

16.根據權利要求15所述的電子器件,其中所述基于石墨烯的電子電路包括石墨烯場效應晶體管(gfet)。

17.根據權利要求15所述的電子器件,其中所述電子傳感器是用于氣體或生物分子的傳感器。

18.根據權利要求15所述的電子設備,其中所述模擬電路是放大器、振蕩器或混合電路。

19.根據權利要求15所述的電子器件,其中,所述微流體遞送系統遞送氣體和/或生物分子。


技術總結
本發(fā)明涉及具有S?iO<subgt;2</subgt;鈍化層的硅上石墨烯電子器件的制造和處理。

技術研發(fā)人員:A·J·波科維奇,M·喬凱爾
受保護的技術使用者:阿徹材料有限公司
技術研發(fā)日:
技術公布日:2025/1/9
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