本技術(shù)涉及晶圓傳輸，具體涉及一種可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、目前主流的半導(dǎo)體清洗設(shè)備主要分為兩類：?jiǎn)纹O(shè)備、槽式設(shè)備。隨著國內(nèi)12寸晶圓產(chǎn)能的持續(xù)增長(zhǎng)，晶圓廠對(duì)12寸晶圓清洗設(shè)備的需求也越來越大。現(xiàn)有的晶圓翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)未能區(qū)分清洗前的晶圓和清洗后的晶圓，在晶圓翻轉(zhuǎn)過程中清洗前的晶圓遺留在夾齒上的污染物對(duì)清洗后的晶圓會(huì)產(chǎn)生影響，不能保證晶圓的清洗效果。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于，提供一種可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)，解決以上技術(shù)問題；

2、本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題可以采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：

3、一種可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)，包括，

4、固定框架；

5、夾持裝置，設(shè)于所述固定框架上，包括，

6、左側(cè)夾齒固定板和右側(cè)夾齒固定板，可沿一旋轉(zhuǎn)軸的軸線方向相互靠近或遠(yuǎn)離運(yùn)動(dòng)地設(shè)于所述固定框架的架體間，所述左側(cè)夾齒固定板和所述右側(cè)夾齒固定板相對(duì)的一側(cè)上均設(shè)有第一晶圓夾齒和第二晶圓夾齒；

7、左側(cè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，設(shè)于所述固定框架的左側(cè)，連接所述左側(cè)夾齒固定板驅(qū)動(dòng)所述左側(cè)夾齒固定板移動(dòng)；

8、右側(cè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，設(shè)于所述固定框架的右側(cè)，連接所述右側(cè)夾齒固定板驅(qū)動(dòng)所述右側(cè)夾齒固定板移動(dòng)；

9、翻轉(zhuǎn)裝置，設(shè)于所述固定框架上，包括，

10、左側(cè)翻轉(zhuǎn)板和右側(cè)翻轉(zhuǎn)板，可沿所述旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)于所述固定框架的架體間，所述左側(cè)翻轉(zhuǎn)板和所述右側(cè)翻轉(zhuǎn)板通過連桿連接，所述左側(cè)夾齒固定板連接所述左側(cè)翻轉(zhuǎn)板，所述右側(cè)夾齒固定板連接所述右側(cè)翻轉(zhuǎn)板；

11、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，設(shè)于所述固定框架的右側(cè)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的輸出端伸入所述固定框架的架體內(nèi)連接所述右側(cè)翻轉(zhuǎn)板驅(qū)動(dòng)所述右側(cè)翻轉(zhuǎn)板轉(zhuǎn)動(dòng)。

12、優(yōu)選的，所述固定框架包括，

13、左側(cè)固定底板；

14、左側(cè)支撐板，設(shè)于所述左側(cè)固定底板上；

15、左側(cè)板，設(shè)于所述左側(cè)固定底板上連接所述左側(cè)支撐板的右側(cè)，所述左側(cè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接在所述左側(cè)板的左側(cè)，所述左側(cè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出端穿過所述左側(cè)板連接所述左側(cè)夾齒固定板；

16、右側(cè)固定底板，和所述左側(cè)固定底板相對(duì)應(yīng)設(shè)置；

17、右側(cè)支撐板，設(shè)于所述右側(cè)固定底板上；

18、右側(cè)板，設(shè)于所述右側(cè)固定底板上連接所述右側(cè)支撐板的左側(cè)，所述右側(cè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接在所述右側(cè)板的右側(cè)，所述右側(cè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出端穿過所述右側(cè)板連接所述右側(cè)夾齒固定板；

19、橫梁，連接所述左側(cè)板的上端和所述右側(cè)板的上端；

20、固定板，設(shè)于所述右側(cè)固定底板上連接所述右側(cè)支撐板的右側(cè)；

21、減速機(jī)固定板，設(shè)于所述固定板的右側(cè)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)于所述減速機(jī)固定板上。

22、優(yōu)選的，所述左側(cè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括，

23、左側(cè)伸縮桿，所述左側(cè)伸縮桿的第一端連接所述左側(cè)夾齒固定板的左側(cè)，所述左側(cè)伸縮桿的第二端連接所述固定框架的右側(cè)面；

24、左側(cè)直線軸承，套設(shè)于所述左側(cè)伸縮桿的外側(cè)，并設(shè)于所述左側(cè)翻轉(zhuǎn)板的左側(cè)直線軸承安裝孔內(nèi)；

25、左側(cè)氣缸，設(shè)于所述固定框架的左側(cè)面，所述左側(cè)氣缸上設(shè)有左側(cè)磁性傳感器，感應(yīng)所述左側(cè)氣缸到位到左側(cè)的夾緊位置和松開位置；

26、左側(cè)氣缸連接板，連接所述左側(cè)氣缸的活塞桿；

27、左側(cè)頂絲，所述左側(cè)頂絲的第一端連接所述左側(cè)氣缸連接板；

28、左側(cè)中心軸，所述左側(cè)中心軸的第一端連接所述左側(cè)頂絲的第二端；

29、左側(cè)滾子軸承，設(shè)于所述左側(cè)中心軸的第二端；

30、左側(cè)鎖緊螺母，所述左側(cè)滾子軸承通過所述左側(cè)鎖緊螺母鎖緊設(shè)于所述左側(cè)夾齒固定板的滾子軸承安裝孔內(nèi)；

31、左側(cè)壓蓋，設(shè)于所述左側(cè)夾齒固定板上，位于所述左側(cè)滾子軸承的左側(cè)；

32、左側(cè)定位伸縮桿，所述左側(cè)定位伸縮桿的第一端連接所述左側(cè)氣缸連接板；

33、左側(cè)定位直線軸承，套設(shè)于所述左側(cè)定位伸縮桿的第二端，所述左側(cè)定位直線軸承設(shè)于所述左側(cè)翻轉(zhuǎn)板上。

34、優(yōu)選的，所述右側(cè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括，

35、右側(cè)伸縮桿，所述右側(cè)伸縮桿的第一端連接所述右側(cè)夾齒固定板的右側(cè)，所述右側(cè)伸縮桿的第二端連接所述固定框架的右側(cè)內(nèi)側(cè)面；

36、右側(cè)直線軸承，套設(shè)于所述右側(cè)伸縮桿的外側(cè)，并設(shè)于所述右側(cè)翻轉(zhuǎn)板的右側(cè)直線軸承安裝孔內(nèi)；

37、右側(cè)氣缸，設(shè)于所述固定框架的右側(cè)面，所述右側(cè)氣缸上設(shè)有右側(cè)磁性傳感器，感應(yīng)所述右側(cè)氣缸到位到右側(cè)的夾緊位置和松開位置；

38、右側(cè)氣缸連接板，連接所述右側(cè)氣缸的活塞桿；

39、右側(cè)頂絲，所述右側(cè)頂絲的第一端連接所述右側(cè)氣缸連接板；

40、右側(cè)中心軸，所述右側(cè)中心軸的第一端連接所述右側(cè)頂絲的第二端；

41、右側(cè)滾子軸承，設(shè)于所述右側(cè)中心軸的第二端；

42、右側(cè)鎖緊螺母，所述右側(cè)滾子軸承通過所述右側(cè)鎖緊螺母鎖緊設(shè)于所述右側(cè)夾齒固定板的滾子軸承安裝孔內(nèi)；

43、右側(cè)壓蓋，設(shè)于所述右側(cè)夾齒固定板上，位于所述右側(cè)滾子軸承的右側(cè)；

44、右側(cè)定位伸縮桿，所述右側(cè)定位伸縮桿的第一端連接所述右側(cè)氣缸連接板；

45、右側(cè)定位直線軸承，套設(shè)于所述右側(cè)定位伸縮桿的第二端，所述右側(cè)定位直線軸承設(shè)于所述右側(cè)翻轉(zhuǎn)板上。

46、優(yōu)選的，所述第一晶圓夾齒縱向排列在所述左側(cè)夾齒固定板和右側(cè)夾齒固定板的后側(cè)，所述第二晶圓夾齒縱向排列在所述左側(cè)夾齒固定板和右側(cè)夾齒固定板的前側(cè)。

47、優(yōu)選的，所述第一晶圓夾齒和所述第二晶圓夾齒均為樹脂材料，所述第一晶圓夾齒和所述第二晶圓夾齒的開口呈“v”字形設(shè)置，所述第一晶圓夾齒和所述第二晶圓夾齒在高度方向存在設(shè)定的高度差。

48、優(yōu)選的，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括，

49、減速機(jī)，設(shè)于所述減速機(jī)固定板上；

50、伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)的輸出軸連接所述減速機(jī)；

51、傳動(dòng)旋轉(zhuǎn)塊，連接所述減速機(jī)的輸出軸；

52、脹緊套環(huán)，設(shè)于所述傳動(dòng)旋轉(zhuǎn)塊的內(nèi)孔；

53、脹緊套，楔入所述脹緊套環(huán)內(nèi)，通過所述脹緊套環(huán)漲緊所述脹緊套和所述傳動(dòng)旋轉(zhuǎn)塊；

54、傳動(dòng)連接板，所述傳動(dòng)連接板的第一端連接所述傳動(dòng)旋轉(zhuǎn)塊；

55、從動(dòng)旋轉(zhuǎn)塊，連接所述傳動(dòng)連接板的第二端；

56、第一滾子軸承支撐塊，設(shè)于所述固定框架的右側(cè)面上；

57、第一滾子軸承，設(shè)于所述第一滾子軸承支撐塊的軸承孔內(nèi)；

58、右側(cè)旋轉(zhuǎn)軸，所述右側(cè)旋轉(zhuǎn)軸的第一端穿過所述第一滾子軸承的內(nèi)孔設(shè)于所述第一滾子軸承支撐塊內(nèi)連接所述從動(dòng)旋轉(zhuǎn)塊，所述右側(cè)旋轉(zhuǎn)軸的第二端連接所述右側(cè)翻轉(zhuǎn)板；

59、第一鎖緊螺母，設(shè)于所述第一滾子軸承支撐塊上限位所述第一滾子軸承。

60、優(yōu)選的，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還包括，

61、第二滾子軸承支撐塊，設(shè)于所述固定框架的左側(cè)面上；

62、第二滾子軸承，設(shè)于所述第二滾子軸承支撐塊的軸承孔內(nèi)；

63、左側(cè)旋轉(zhuǎn)軸，所述左側(cè)旋轉(zhuǎn)軸的第一端穿過所述第二滾子軸承的內(nèi)孔設(shè)于所述第二滾子軸承支撐塊內(nèi)，所述左側(cè)旋轉(zhuǎn)軸的第二端連接所述左側(cè)翻轉(zhuǎn)板；

64、第二鎖緊螺母，設(shè)于所述第二滾子軸承支撐塊上限位所述第二滾子軸承。

65、優(yōu)選的，還包括，

66、光電傳感器，設(shè)于所述固定框架上感應(yīng)所述翻轉(zhuǎn)裝置的轉(zhuǎn)動(dòng)位置，所述光電傳感器包括清洗前的晶圓接收位置傳感器、清洗前的晶圓傳輸位置傳感器、清洗后的晶圓接收位置傳感器、清洗后的晶圓傳輸位置傳感器、第一極限位置傳感器、第二極限位置傳感器和原點(diǎn)位置傳感器；

67、第一傳感器感應(yīng)片和第二傳感器感應(yīng)片，設(shè)于所述左側(cè)旋轉(zhuǎn)軸上，所述光電傳感器基于所述第一傳感器感應(yīng)片和所述第二傳感器感應(yīng)片的位置確定所述翻轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)角度。

68、優(yōu)選的，還包括，

69、上側(cè)傳感器，通過上側(cè)傳感器支架設(shè)于所述固定框架的上側(cè)；

70、側(cè)邊傳感器，通過側(cè)邊傳感器支架設(shè)于所述固定框架的前側(cè)；

71、第一反光板，設(shè)于所述右側(cè)翻轉(zhuǎn)板的后下側(cè)；

72、第二反光板，設(shè)于所述右側(cè)翻轉(zhuǎn)板的前上側(cè)，所述第一反光板和所述第二反光板關(guān)于所述旋轉(zhuǎn)軸對(duì)稱設(shè)置；

73、第三反光板，設(shè)于所述右側(cè)翻轉(zhuǎn)板的后上側(cè)；

74、第四反光板，設(shè)于所述右側(cè)翻轉(zhuǎn)板的前下側(cè)，所述第三反光板和所述第四反光板關(guān)于所述旋轉(zhuǎn)軸對(duì)稱設(shè)置；

75、基于所述翻轉(zhuǎn)裝置旋轉(zhuǎn)一定角度后，所述側(cè)邊傳感器的發(fā)射端射出的光入射至所述第一反光板和所述第二反光板上，所述第一反光板和所述第二反光板將光反射回所述側(cè)邊傳感器的接收端；所述上側(cè)傳感器的發(fā)射端射出的光入射至所述第三反光板和所述第四反光板上，所述第三反光板和所述第四反光板將光反射回所述上側(cè)傳感器的接收端。

76、本實(shí)用新型的有益效果：由于采用以上技術(shù)方案，本實(shí)用新型通過在夾持和翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上設(shè)置兩對(duì)夾齒分開夾取臟晶圓和干凈晶圓，實(shí)現(xiàn)清洗前的臟晶圓和清洗后的干凈晶圓的分開夾持和翻轉(zhuǎn)，可以避免清洗前的臟晶圓遺留在夾齒上的污染物對(duì)清洗后的干凈晶圓產(chǎn)生影響，確保機(jī)臺(tái)對(duì)晶圓的清洗效果。