欧美在线观看视频网站,亚洲熟妇色自偷自拍另类,啪啪伊人网,中文字幕第13亚洲另类,中文成人久久久久影院免费观看 ,精品人妻人人做人人爽,亚洲a视频

一種可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:40551001發(fā)布日期:2025-01-03 11:10閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu),其特征在于,包括,

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu),其特征在于,所述固定框架(1)包括,

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu),其特征在于,所述左側(cè)驅(qū)動機(jī)構(gòu)(205)包括,

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu),其特征在于,所述右側(cè)驅(qū)動機(jī)構(gòu)(206)包括,

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一晶圓夾齒(203)縱向排列在所述左側(cè)夾齒固定板(201)和右側(cè)夾齒固定板(202)的后側(cè),所述第二晶圓夾齒(204)縱向排列在所述左側(cè)夾齒固定板(201)和右側(cè)夾齒固定板(202)的前側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一晶圓夾齒(203)和所述第二晶圓夾齒(204)均為樹脂材料,所述第一晶圓夾齒(203)和所述第二晶圓夾齒(204)的開口呈“v”字形設(shè)置,所述第一晶圓夾齒(203)和所述第二晶圓夾齒(204)在高度方向存在設(shè)定的高度差。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu),其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(304)包括,

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu),其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(304)還包括,

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu),其特征在于,還包括,

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu),其特征在于,還包括,


技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及晶圓傳輸技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種可以實(shí)現(xiàn)晶圓夾持及翻轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)。包括,固定框架;夾持裝置,設(shè)于固定框架上,包括,左側(cè)夾齒固定板和右側(cè)夾齒固定板,可沿一旋轉(zhuǎn)軸的軸線方向相互靠近或遠(yuǎn)離運(yùn)動地設(shè)于固定框架的架體間,左側(cè)夾齒固定板和右側(cè)夾齒固定板相對的一側(cè)上均設(shè)有臟晶圓夾齒和干凈晶圓夾齒;翻轉(zhuǎn)裝置,設(shè)于固定框架上;旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),設(shè)于固定框架的右側(cè),旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的輸出端伸入固定框架的架體內(nèi)連接右側(cè)翻轉(zhuǎn)板,用于驅(qū)動右側(cè)翻轉(zhuǎn)板轉(zhuǎn)動。本技術(shù)實(shí)現(xiàn)了清洗前的臟晶圓和清洗后的干凈晶圓的分開夾持和翻轉(zhuǎn),避免清洗前的臟晶圓遺留在夾齒上的污染物對清洗后的干凈晶圓產(chǎn)生影響。

技術(shù)研發(fā)人員:施欽天,屠國強(qiáng),徐銘,劉志鵬
受保護(hù)的技術(shù)使用者:至微半導(dǎo)體(上海)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:20240415
技術(shù)公布日:2025/1/2
當(dāng)前第2頁1 2 
網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點(diǎn)贊!
1
夏河县| 九寨沟县| 绥阳县| 张掖市| 滦平县| 哈尔滨市| 措美县| 阳新县| 苍山县| 珠海市| 九江县| 疏勒县| 巍山| 丰城市| 韶关市| 夏津县| 绥江县| 富蕴县| 格尔木市| 长丰县| 辽源市| 桃源县| 金乡县| 襄城县| 新竹市| 徐水县| 荥阳市| 滕州市| 砚山县| 专栏| 固原市| 湟源县| 榆中县| 上思县| 留坝县| 邵武市| 肥乡县| 康保县| 冀州市| 微山县| 山阴县|