接觸的部 位形成上述的溶劑接受層2。
[0080] 在本發(fā)明中，例如如圖1(a)和圖1(b)中所示，可W在娃基板1的單方的表面作為 連續(xù)層來形成溶劑接受層2、在該溶劑接受層2之上涂布導(dǎo)電性糊3而形成導(dǎo)電性圖案。
[0081] 需要說明的是，就溶劑接受層2而言，沒有必要在涂布導(dǎo)電性糊的全部區(qū)域沒有 遺漏地形成。例如，如圖1(a)所示，即使為涂布導(dǎo)電性糊3'的區(qū)域，也可W在娃基板1存 在不形成溶劑接受層2的部分。該樣，作為不與溶劑接受層2接觸地涂布導(dǎo)電性糊3'的部 分，典型地可W列舉作為太陽(yáng)能電池單元的集電極（所謂的匯流排電極（八乂八一電極）） 而利用的導(dǎo)電性部分。
[0082] 并且，在本發(fā)明中，例如如圖2和圖3中所示，可W在娃基板1的單方的表面斷續(xù) 地設(shè)置溶劑接受層2。在該圖2和圖3中，溶劑接受層2可W從被涂布了的導(dǎo)電性糊3吸 收溶劑、同時(shí)該溶劑接受層2的存在作為抑制導(dǎo)電性糊在橫向進(jìn)行擴(kuò)展的阻擋層而發(fā)揮功 能。根據(jù)該樣的具體例，可W更容易地形成更高精細(xì)的導(dǎo)電性圖案。
[0083] 需要說明的是，溶劑接受層在同一娃基板中形成多個(gè)的情況下，該些多個(gè)溶劑接 受層的厚度沒有必要相同，可W不同。另外，在溶劑接受層連續(xù)的情況下，該連續(xù)的溶劑接 受層的厚度可W局部不同。
[0084] 作為本發(fā)明的優(yōu)選的其他具體例，可W列舉在娃基板上W點(diǎn)狀配置了多個(gè)溶劑接 受層的例子、W篩網(wǎng)狀配置了溶劑接受層的例子等。
[0085] 就本發(fā)明中的溶劑接受層的厚度而言，例如如圖1 (a)和圖1化）中所示，在溶劑接 受層2介于娃基板1和導(dǎo)電性糊3之間的情況下，優(yōu)選為0. 01~5. 0ym，尤其優(yōu)選0. 1~ 2. 0ym，更優(yōu)選為0. 1~1. 0ym。在溶劑接受層的厚度不到0. 01ym的情況下，有時(shí)不能充 分抑制流掛，另一方面，在超過5. 0ym的情況下，從電極的斷線等的觀點(diǎn)來看不優(yōu)選。在本 發(fā)明中，例如可W對(duì)被涂布的導(dǎo)電性糊中的溶劑量、涂布后的導(dǎo)電性糊的流掛的程度、與導(dǎo) 電性糊的接觸面積等進(jìn)行考慮來在上述范圍內(nèi)適宜確定最佳厚度。
[0086] 為了使期望的厚度的溶劑接受層穩(wěn)定地形成于娃基板，著眼于"形成溶劑接受層 前的娃基板的重量"、"形成了溶劑接受層后的娃基板的重量"、"在娃基板形成了的溶劑接 受層的面積"、"在溶劑接受層的形成中使用的涂布液的量"的關(guān)系，W形成期望的厚度的溶 劑接受層地控制形成的溶劑接受層的每單位面積的溶劑接受層形成材料的涂布量，由此可 W容易地進(jìn)行。形成的溶劑接受層的每單位面積的溶劑接受層形成材料的涂布量?jī)?yōu)選為 0. 5 ~10yg/mm2,特別優(yōu)選為 0. 8 ~2. 1yg/mm2。
[0087] <工序炬)〉
[008引工序炬）是與上述的溶劑接受層相接地涂布含有導(dǎo)電性金屬粒子和溶劑的導(dǎo)電 性糊而在上述的娃基板形成導(dǎo)電性圖案的工序。
[0089] 在該工序炬）中，通過該樣W與上述的溶劑接受層相接地涂布導(dǎo)電性糊，該導(dǎo)電 性糊中的溶劑的至少一部分被溶劑接受層吸收。
[0090] 就導(dǎo)電性糊中的溶劑而言，由于與溶劑接受層接觸后通常立即被溶劑接受層吸 收，因此涂布了的導(dǎo)電性糊從與溶劑接受層的接觸部位附近其粘度上升，同時(shí)涂布了的導(dǎo) 電性糊的體積減少。
[0091] 與此相對(duì)，根據(jù)W往技術(shù)，在娃基板不形成溶劑接受層的情況下，不發(fā)生基于該溶 劑接受層的導(dǎo)電性糊的粘度上升和體積減少。該樣的情況下，產(chǎn)生娃基板上的導(dǎo)電性糊面 積的擴(kuò)大及娃基板上的導(dǎo)電性糊膜厚的降低乃至不均勻化（導(dǎo)電性糊的流掛），不能得到 細(xì)的并且高精細(xì)、良好的縱橫比的導(dǎo)電性圖案。
[0092] 在工序炬）中進(jìn)行的導(dǎo)電性糊的涂布，優(yōu)選絲網(wǎng)印刷法。作為導(dǎo)電性糊，優(yōu)選可適 用于那樣的絲網(wǎng)印刷用的含有導(dǎo)電性金屬粒子及溶劑的導(dǎo)電性糊。
[0093] 作為導(dǎo)電性金屬粒子，在本發(fā)明中也可W使用在W往的該種的導(dǎo)電性糊中采用的 粒子。作為優(yōu)選的導(dǎo)電性金屬粒子，例如可W列舉包含銅、侶、鑲、鐵、銀、金、鋼、鉆、鋒等的 粒子。其中，特別優(yōu)選銅、侶、鑲、銀。上述的導(dǎo)電性金屬粒子可W并用二種W上。導(dǎo)電性金 屬粒子可W使用球狀、薄片狀等的任意形狀。
[0094] 就導(dǎo)電性金屬粒子的粒徑而言，可W例如考慮絲網(wǎng)印刷性等來適當(dāng)確定。優(yōu)選的 粒徑是W平均粒徑計(jì)為0. 05~20ym，特別優(yōu)選0. 1~5. 0ym。
[0095] 就導(dǎo)電性糊中導(dǎo)電性金屬粒子的存在量而言，可W例如考慮絲網(wǎng)印刷性等來適當(dāng) 確定。導(dǎo)電性金屬粒子的存在量，相對(duì)于導(dǎo)電性糊100重量％，優(yōu)選為60~95重量％，特 別優(yōu)選為70~90重量％。
[0096] 導(dǎo)電性糊的溶劑在本發(fā)明中也可W使用在W往的該種的導(dǎo)電性糊中采用的溶劑。 作為優(yōu)選的溶劑，例如可W列舉從了基卡必醇醋酸醋炬CA)、己基溶纖劑醋酸醋巧CA)、了 基卡必醇炬C)、松油醇中選擇的有機(jī)溶劑等。其中，特別優(yōu)選了基卡必醇醋酸醋炬CA)、己 基溶纖劑醋酸醋巧CA)、了基卡必醇炬C)。上述的溶劑可W并用兩二種W上。
[0097] 就導(dǎo)電性糊中的溶劑的存在量而言，可W例如考慮絲網(wǎng)印刷性等來適當(dāng)確定。溶 劑的存在量，相對(duì)于導(dǎo)電性金屬粒子100重量份，優(yōu)選為0. 5~30重量份，特別優(yōu)選10~ 20重量份。
[009引本發(fā)明的制造方法中使用的導(dǎo)電性糊，在上述的導(dǎo)電性金屬粒子和溶劑之外，根 據(jù)需要可化含有其他的成分。作為該樣的成分，例如可W列舉玻璃料（方號(hào)乂7yッh)、 粘結(jié)劑成分、金屬化合物、其他的成分（例如穩(wěn)定劑、增塑劑、消泡劑、分散劑、粘度調(diào)整劑 等）。
[0099] 本發(fā)明中的導(dǎo)電性糊的涂布寬度，優(yōu)選為50ymW下，特別優(yōu)選為45ymW下，更 優(yōu)選為40ymW下。因?yàn)樵趯?dǎo)電性糊的涂布寬度超過50ym的情況下，糊的涂布量變多，得 到充分的效果變的困難。
[0100] 就導(dǎo)電性糊的涂布厚度而言，例如可W考慮被涂布的導(dǎo)電性糊中的溶劑量、涂布 后的導(dǎo)電性糊的流掛程度等來適當(dāng)確定最佳厚度。
[0101] 在此，導(dǎo)電性糊的涂布寬度是涂布了導(dǎo)電性糊后、在約150°c下靜置了約1分鐘后 評(píng)價(jià)了的寬度。
[0102] 需要說明的是，導(dǎo)電性糊的涂布部在同一娃基板中存在多個(gè)的情況下，該些導(dǎo)電 性糊的涂布部的厚度沒有必要相同，可W不同。另外，在導(dǎo)電性糊的涂布部連續(xù)的情況下， 該連續(xù)的導(dǎo)電性糊的涂布部的厚度可W局部地不同。
[0103] < 工序（二）〉
[0104] 工序（二）是對(duì)形成了通過上述的工序炬）而得到了的導(dǎo)電性圖案的娃基板進(jìn)行 熱處理的工序。
[01化]該熱處理優(yōu)選在溶劑接受層進(jìn)行熱分解的條件下進(jìn)行。作為該熱處理，可W列舉 優(yōu)選在200°CW上、600°cW下，特別優(yōu)選250°cW上、500°cW下的溫度下，優(yōu)選保持5~60 秒、特別優(yōu)選10~30秒的熱處理。予W說明的是，就具體的熱處理溫度和熱處理時(shí)間而言， 例如可W考慮與形成溶劑接受層的材料的種類、溶劑接受層的厚度、導(dǎo)電性糊的構(gòu)成材料、 導(dǎo)電性糊的涂布量、溶劑量等的組合等而在上述范圍內(nèi)適當(dāng)確定。
[0106] 在該工序（二）的熱處理中，優(yōu)選將娃基板上存在的溶劑接受層的多的部分（例 如娃基板上的溶劑接受層的總量的優(yōu)選70重量％ ^上，特別是90重量％ ^上，特別優(yōu)選溶 劑接受層的基本上全部的量）進(jìn)行熱分解。但是，在本發(fā)明中，由于在工序（二）W后進(jìn)行 的工序（C)中