也進行溶劑接受層的熱分解，因此工序（二）中不一定要求達到將溶劑接受 層的全部的量進行熱分解。
[0107] <工序似〉
[0108] 工序（c)，是將通過上述的工序炬）而得到了的形成了導電性糊的娃基板或者通 過上述的工序（C)而被熱處理了的娃基板賦予燒成處理來將導電性糊進行燒成的工序。
[0109] 工序（二）的燒成溫度W及燒成溫度，可W考慮例如導電性糊中的導電性微粒的 種類、溶劑的種類等適當確定W得到目標燒成物。例如，在使用了銀糊的情況的燒成溫度為 約800°C、在使用了銅糊的情況下的燒成溫度為約200~300°C是合適的。
[0110] 在本發(fā)明中，可W在上述的工序炬）結(jié)束后開始該工序（C)(第一制造方法）。
[0111] 另外，在本發(fā)明中，可W在上述的工序（二）結(jié)束后進行該工序（C)(第二制造方 法）。在此，工序（C)在作為對于形成了導電性圖案的娃基板的熱處理的方面與工序（二） 相同，通常是進行加熱直到比工序（二）更高溫度下的工序。因為該樣，在一連串的加熱操 作中連續(xù)進行工序（二）和工序（C)時，有時難W明確地區(qū)別工序（二）的結(jié)束時間點和 工序（C)的開始時間點，但是即使是該樣的情況，本發(fā)明也成立，可得到規(guī)定的效果。另外， 在實施作為工序（C)的主要目的的燒成時的加熱操作的前段部分中實現(xiàn)與工序（二）同樣 的熱處理條件的情況下，有時難W明確地區(qū)別工序（二）和工序（C)，但是即使是該樣的情 況，本發(fā)明也成立，可得到規(guī)定的效果。
[0112] 在本發(fā)明中，通過該工序（C)的實施，進行在娃基板被涂布了的導電性糊的燒成、 溶劑接受層的熱分解和去除，可得到娃基板與來自導電性糊的燒成物的導電性圖案被強固 接合了的、根據(jù)本發(fā)明的太陽能電池。
[0113] 根據(jù)如W上的本發(fā)明，因為涂布后的導電性糊的流掛得到抑制，因此可得到具有 與W往相比良好的縱橫比的導電性圖案。目P，如在例如示意性地表示本發(fā)明的概要的圖 4 (a)中的那樣，在本發(fā)明中，通過規(guī)定的溶劑接受層2存在于娃基板1，抑制被涂布了的導 電性糊3在涂布后流掛，因此可穩(wěn)定且容易地形成縱橫比（即、[基板和導電體的接觸長度 狂)]與[導電體的高度（Y)]的[數(shù)值比率（(Y)/狂)）])良好的導電性圖案。
[0114] 因此，根據(jù)本發(fā)明，由于可減低太陽能電池板上的電極及布線等的總面積，因此可 審IJ造與W往相比受光面的面積比率高的太陽能電池特性優(yōu)異的太陽能電池。
[0115] 另一方面，在規(guī)定的溶劑接受層2不存在于娃基板1的W往方法中，由于被涂布 了的導電性糊3涂布后的流掛大，因此不能形成如本發(fā)明那樣的縱橫比良好的導電性圖案 (圖4化)）。
[0116] 在W具有背面電極的太陽能電池為目的時，可W根據(jù)需要通過在上述的娃基板的 背面涂布用于背面電極形成的導電性糊、將其燒成來制造。用于背面電極形成的導電性糊 的涂布，可W在任意的階段進行，但是優(yōu)選在工序（C)之前進行。因為；在該工序（C)中可 W同時進行在娃基板的表面被涂布了的導電性糊的燒成、和在娃基板的背面被涂布了的導 電性糊的燒成。另外，背面電極形成用的導電性糊的涂布和燒成，也可W工序（A)之前或工 序似之后進行。
[0117] 實施例
[0118]W下，通過實施例更詳細地說明本發(fā)明，但是本發(fā)明的內(nèi)容不僅限于實施例中公 開的范圍內(nèi)。
[0119] <溶劑接受層形成用的樹脂材料等〉
[0120] 在實施例及比較例中，溶劑接受層等的形成使用下述的樹脂材料。
[0121] 樹胎材料
[012引 ?丙締酸系樹脂材料（"ES-960MC"、高松油脂公司制）
[0123] ?中空粒子（"SX868炬）"、JSR公司制）
[0124] ?有機微粒（"方シッ八-瓜PM-030EM'，、六^力公司）
[01巧]?丙締酸系樹脂材料（"AC100B3"、大成火藥公司制）
[0126] ?聚己締醇（"術(shù)八-瓜PVA225''、夕號k公司制）
[0127] 上述各樹脂材料的溶劑接受量，如表1中所示。
[012引【表1】
[0129]
【主權(quán)項】
1. 一種太陽能電池的制造方法，其特征在于，含有下述的工序（A)、（B)及（C)， 工序（A):在硅基板的至少單方的表面的一部分形成溶劑接受層的工序； 工序（B):以與上述的溶劑接受層相接地涂布含有導電性金屬粒子及溶劑的導電性糊 而在上述的硅基板形成導電性圖案的工序； 工序（C):接著，將形成了上述的導電性圖案的硅基板賦予燒成處理而將導電性糊進 行燒成的工序。
2. -種太陽能電池的制造方法，其特征在于，含有下述的工序（A)、（B)、（二）和（C)， 工序（A):在硅基板的至少單方的表面的一部分形成溶劑接受層的工序； 工序（B):以與上述的溶劑接受層相接地涂布含有導電性金屬粒子和溶劑的導電性糊 而在上述的硅基板形成導電性圖案的工序； 工序（二）：將形成了上述的導電性圖案的硅基板賦予熱處理而將上述的溶劑接受層 的至少一部分進行熱分解的工序； 工序（C):接著，將形成了上述的導電性圖案的硅基板賦予燒成處理而將導電性糊進 行燒成的工序。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的太陽能電池的制造方法，其中，上述的溶劑接受層由相對 于上述的導電性糊中含有的溶劑（在含有多種溶劑的情況下，比率最大的那種）的溶劑接 受量為50%以上的材料形成。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1~3的任一項所述的太陽能電池的制造方法，其中，上述的溶劑接受 層由在上述的工序（C)和/或工序（二）中可熱分解的材料形成。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1~4的任一項所述的太陽能電池的制造方法，其中，上述的溶劑接受 層由熱分解溫度為500°C以下的材料形成。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1~5的任一項所述的太陽能電池的制造方法，其中，上述的溶劑接 受層是由相對于上述的導電性糊中含有的溶劑（在含有多種溶劑的情況下，比率最大的那 種）的溶劑接受量為60%以上的有機微粒形成的溶劑接受層。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1~6的任一項所述的太陽能電池的制造方法，其中，通過絲網(wǎng)印刷法 進行上述的工序（B)中的導電性糊的涂布。
【專利摘要】課題為通過形成細的、為高精細的且良好縱橫比的導電性圖案而提供與以往相比受光面的面積比率高的太陽能電池特性優(yōu)異的太陽能電池。解決的手段為太陽能電池的制造方法，其特征在于含有下述的工序(A)、(B)、(C)或下述的工序(A)、(B)、(二)和(C)。工序(A)：在硅基板的至少單方的表面的一部分形成溶劑接受層的工序工序(B)：與上述的溶劑接受層相接地涂布含有導電性金屬粒子及溶劑的導電性糊而在上述的硅基板形成導電性圖案的工序工序(二)：對上述的形成了導電性圖案的硅基板賦予熱處理而將上述的溶劑接受層的至少一部分進行熱分解的工序工序(C)接著，對上述的形成了導電性圖案的硅基板賦予燒成處理而將導電性糊進行燒成的工序。
【IPC分類】H01L31-18
【公開號】CN104701414
【申請?zhí)枴緾N201410858394
【發(fā)明人】河中健吾, 櫛谷知春, 川延淳一, 增利堅治
【申請人】株式會社村上
【公開日】2015年6月10日
【申請日】2014年11月28日