行為第一個工藝步驟(Stepl)，第一個工藝步驟中的值為對應的工藝參數(shù)的值，第三行為工藝參數(shù)對應工藝參數(shù)的軟容差(SoftTolerance_l)，第四行為工藝參數(shù)對應的硬容差(HardTolerance」)，也可以設置其他形式顯示所述一個或多個工藝參數(shù)及其對應的一個或多個軟容差及一個或多個硬容差，本發(fā)明實施例對此不加以限制。
[0184]步驟507，在所述第二顯示界面接收到第二操作指令時，針對所述工藝配方執(zhí)行第二操作指令對應的操作。
[0185]在本發(fā)明實施例的一種優(yōu)選示例中，所述第二操作指令可以包括以下的一種或多種:
[0186]第二創(chuàng)建指令、第二刪除指令、第二修改指令、第二切換指令；
[0187]所述第二創(chuàng)建指令對應的操作可以包括在所述工藝配方中創(chuàng)建工藝步驟；
[0188]具體地,可以在RecipeBody中添加工藝步驟,將所述工藝步驟中的一個或多個工藝參數(shù)及其對應的一個或多個軟容差及一個或多個硬容差添加到預置的工藝配方表格中；在預置的第一顯示界面中按照所述工藝配方表格顯示所述一個或多個工藝參數(shù)及其對應的一個或多個軟容差及一個或多個硬容差。
[0189]所述第二刪除指令對應的操作可以包括刪除所述工藝配方中的工藝步驟；
[0190]具體地，可以將所述工藝步驟從RecipeBody中刪除，將所述工藝步驟中的一個或多個工藝參數(shù)及其對應的一個或多個軟容差及一個或多個硬容差從工藝配方表格RecipeTable中刪除,則在第一顯示界面(SetPoint類型的DataGridView)中刪除工藝步驟中的一個或多個工藝參數(shù)及其對應的一個或多個軟容差及一個或多個硬容差。
[0191]本發(fā)明一次性刪除工藝配方中的一個或多個工藝參數(shù)及其對應的一個或多個軟容差及一個或多個硬容差，可以避免了依次執(zhí)行刪除一個或多個工藝參數(shù)、刪除一個或多個軟容差和刪除一個或多個硬容差的步驟，減少了系統(tǒng)資源的占用，方便用戶操作。
[0192]所述第二修改指令對應的操作可以包括修改所述一個或多個工藝參數(shù)，和/或，所述一個或多個軟容差，和/或，所述一個或多個硬容差；
[0193]需要說明的是，本發(fā)明實施例可以對工藝參數(shù)、軟容差和硬容差中的任意一個或兩個或三個進行修改。
[0194]所述第二切換指令對應的操作可以包括將所述第二顯示界面切換為預置的第一顯示界面。
[0195]第一顯示界面可以為SetPoint類型的DataGridView,當接收到第二切換指令時，則可以按照第一顯示界面的規(guī)則進行工藝配方的工藝步驟和容差的加載。
[0196]當然，上述操作指令只是作為示例，在實施本發(fā)明實施例時，可以根據(jù)實際情況設置其他操作指令，例如保存工藝配方的第二保存指令、導出工藝配方的第二導出指令等等，本發(fā)明實施例對此不加以限制。另外，除了上述操作指令外，本領域技術人員還可以根據(jù)實際需要采用其它操作指令，本發(fā)明實施例對此也不加以限制。
[0197]本發(fā)明在顯示第二顯示界面時，可以對軟容差和硬容差進行修改、切換等操作，使得功能多樣化，方便用戶操作。在接收到第二切換指令時，不顯示軟容差和硬容差，減少顯示的數(shù)據(jù)，減少了系統(tǒng)資源占用，減少了無需經(jīng)常監(jiān)控的軟容差和硬容差，更加有利于對工藝步驟進行監(jiān)控。
[0198]需要說明的是，對于方法實施例，為了簡單描述，故將其都表述為一系列的動作組合，但是本領域技術人員應該知悉，本申請并不受所描述的動作順序的限制，因為依據(jù)本發(fā)明，某些步驟可以采用其他順序或者同時進行。其次，本領域技術人員也應該知悉，說明書中所描述的實施例均屬于優(yōu)選實施例，所涉及的動作和模塊并不一定是本申請所必須的。
[0199]參照圖7，示出了本發(fā)明的一種半導體工藝配方的加載系統(tǒng)實施例的結構框圖，所述系統(tǒng)可以包括以下模塊:
[0200]工藝配方獲取模塊701，用于在接收到工藝配方的加載請求時，依據(jù)所述加載請求獲取所述工藝配方；其中，所述工藝配方包括工藝步驟，所述工藝步驟包括一個或多個工藝參數(shù)，以及，分別與所述一個或多個工藝參數(shù)對應的一個或多個容差；
[0201]工藝配方封裝模塊702，用于將所述工藝配方封裝到預置的包裹類中；
[0202]工藝配方加載模塊703，用于分別從所述包裹類中加載所述工藝配方的工藝步驟和容差。
[0203]在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施例中，所述工藝配方還可以包括類信息、標識信息和版本信息；
[0204]所述工藝配方獲取模塊701可以包括如下子模塊:
[0205]生成子模塊，用于采用所述工藝配方的類信息、標識信息和版本信息按照預設的生成規(guī)則生成工藝配方標識；
[0206]判斷子模塊，用于判斷所述工藝配方標識是否存在；若是，則調用工藝配方標識獲取子模塊；
[0207]獲取子模塊，用于獲取所述工藝配方標識對應的工藝配方。
[0208]在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施例中，所述容差可以包括軟容差和硬容差；
[0209]所述軟容差可以包括第一合法波動范圍；
[0210]所述硬容差可以包括第二合法波動范圍；
[0211]所述第一合法波動范圍可以小于所述第二合法波動范圍。
[0212]在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施例中，所述包裹類可以包括遠程工藝配方信息類、遠程工藝配方過程信息類和工藝步驟信息類；
[0213]所述工藝配方封裝模塊702可以包括如下子模塊:
[0214]第一封裝子模塊，用于將所述工藝配方中所有信息封裝到所述遠程工藝配方信息類中；
[0215]第二封裝子模塊，用于將所述工藝配方中所有工藝步驟的信息封裝到所述遠程工藝配方過程信息類中；
[0216]第三封裝子模塊，用于將所述工藝步驟中的一個或多個工藝參數(shù)及其對應的一個或多個軟容差及一個或多個硬容差封裝到所述工藝步驟信息類中。
[0217]在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施例中，所述工藝配方加載模塊703可以包括如下子模塊:
[0218]第一添加子模塊，用于將所述包裹類中的一個或多個工藝參數(shù)添加到預置的工藝配方表格中；
[0219]第一寫入子模塊，用于將所述一個或多個工藝參數(shù)對應的一個或多個軟容差及一個或多個硬容差寫入內存中；
[0220]第一顯示子模塊，用于在預置的第一顯示界面中按照所述工藝配方表格顯示所述一個或多個工藝參數(shù)。
[0221]在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施例中，所述工藝配方加載模塊703可以包括如下子模塊:
[0222]第二添加子模塊，用于將所述包裹類中的一個或多個工藝參數(shù)及其對應的一個或多個軟容差及一個或多個硬容差的添加到預置的工藝配方表格中；
[0223]第二顯示子模塊，在預置的第二顯示界面中按照所述工藝配方表格顯示所述一個或多個工藝參數(shù)及其對應的一個或多個軟容差及一個或多個硬容差。
[0224]在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施例中，所述系統(tǒng)還可以包括如下模塊:
[0225]第一操作模塊，用于在所述第一顯示界面接收到第一操作指令時，針對所述工藝配方執(zhí)行所述第一操作指令對應的操作。
[0226]在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施例中，所述第一操作指令可以包括以下的一種或多種:
[0227]第一創(chuàng)建指令、第一刪除指令、第一修改指令、第一切換指令；其中，
[0228]所述第一創(chuàng)建指令對應的操作包括在所述工藝配方中創(chuàng)建工藝步驟；
[0229]所述第一刪除指令對應的操作包括刪除所述工藝配方中的工藝步驟，在內存中刪除所述工藝步驟中的一個或多個工藝參數(shù)對應的一個或多個軟容差及一個或多個硬容差;
[0230]所述第一修改指令對應的操作包括修改所述工藝步驟中一個或多個工藝參數(shù)；
[0231]所述第一切換指令對應的操作包括將所述第一顯示界面切換為預置的第二顯示界面。
[0232]在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施例中，所述系統(tǒng)還可以包括如下模塊:
[0233]第二操作模塊，用于在所述第二顯示界面接收到第二操作指令時，針對所述工藝配方執(zhí)行第二操作指令對應的操作。
[0234]在本發(fā)明的一種優(yōu)選實施例中，所述第二操作指令可以包括以下的一種或多種:
[0235]第二創(chuàng)建指令、第二刪除指令、第二修改指令、第二切換指令；
[0236]所述第二創(chuàng)建指令對應的操作包括在所述工藝配方中創(chuàng)建工藝步驟；
[0237]所述第二刪除指令對應的操作包括刪除所述工藝配方中的工藝步驟；
[0238]所述第二修改指令對應的操作包括修改所述一個或多個工藝參數(shù),和/或,所述一個或多個軟容差，和/或，所述一個或多個硬容差；
[0239]所述第二切換指令對應的操作包括將所述第二顯示界面切換為預置的第一顯示界面。
[0240]對于系統(tǒng)實施例而言，由于其與方法實施例基本相似，所以描述的比較簡單，相關之處參見方法實施例的部分說明即可。
[0241]本說明書中的各個實施例均采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似的部分互相參見即可。
[0242]盡管已描述了本發(fā)明實施例的優(yōu)選實施例，但本領域內的技術人員一旦得知了基本創(chuàng)造性概念，則可對這些實施例做出另外的變更和修改。所以，所附權利要求意欲解釋為包括優(yōu)選實施例以及落入本發(fā)明實施例范圍的所有變更和修改。
[0243]最后，還需要說明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關系術語僅僅用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區(qū)分開來，而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關系或者順序。而且，術語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者移動設備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、物品或者移動設備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語句“包括一個……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者移