降機(jī)構(gòu)54b也具有與第I升降機(jī)構(gòu)54a同樣的結(jié)構(gòu)。具體而言，如圖5所示，第2升降機(jī)構(gòu)54b在支柱構(gòu)件53b內(nèi)包括第I帶輪541b、第2帶輪542b以及帶543b。第2帶輪542b連接有圖4所示的第2驅(qū)動(dòng)源55b，帶543b連接有第2連接部56b。第2升降機(jī)構(gòu)54b如上所述構(gòu)成，將在第2驅(qū)動(dòng)源55b作用下的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為直線運(yùn)動(dòng)，從而使第2輸送臂52在鉛垂方向上移動(dòng)。
[0052]另外，第I驅(qū)動(dòng)源55a、第2驅(qū)動(dòng)源55b例如為馬達(dá)。另外，第I升降機(jī)構(gòu)54a和第2升降機(jī)構(gòu)54b也可以使用例如滾珠絲杠而構(gòu)成。
[0053]另外，第2輸送裝置50包括一對(duì)導(dǎo)軌57a、57b以及連結(jié)構(gòu)件58a。
[0054]—對(duì)導(dǎo)軌57a、57b為在鉛垂方向上延伸的軌道構(gòu)件。一導(dǎo)軌57a設(shè)于一支柱構(gòu)件53a，另一導(dǎo)軌57b設(shè)于另一支柱構(gòu)件53b。
[0055]第I輸送臂51借助連結(jié)構(gòu)件58a連結(jié)于該一對(duì)導(dǎo)軌57a、57b。另外，第2輸送臂52借助與連結(jié)構(gòu)件58a同樣的連結(jié)構(gòu)件也連結(jié)于一對(duì)導(dǎo)軌57a、57b。由此，第I輸送臂51和第2輸送臂52 —邊被一對(duì)導(dǎo)軌57a、57b引導(dǎo)，一邊分別在第I升降機(jī)構(gòu)54a、第2升降機(jī)構(gòu)54b的作用下升降。
[0056]像這樣，本實(shí)施方式的第2輸送裝置50包括至少覆蓋處理單元41?48的高度范圍的一對(duì)支柱構(gòu)件53a、53b，在一支柱構(gòu)件53a設(shè)有使第I輸送臂51升降的第I升降機(jī)構(gòu)54a，在另一支柱構(gòu)件53b設(shè)有使第2輸送臂52升降的第2升降機(jī)構(gòu)54b。利用該結(jié)構(gòu)，能夠使第I輸送臂51的升降范圍和第2輸送臂52的升降范圍互相重疊。
[0057]另外，在此，第I輸送臂51和第2輸送臂52這兩者能夠進(jìn)行晶圓W相對(duì)于所有的處理單元41?48的送入送出，但也可以是，例如第I輸送臂51能夠進(jìn)行晶圓W相對(duì)于處理單元41?43、45?47的送入送出，第2輸送臂52能夠進(jìn)行晶圓W相對(duì)于處理單元42?44、46?48的送入送出。
[0058]另外，在本實(shí)施方式的第2輸送裝置50中，第I輸送臂51和第2輸送臂52共用一對(duì)支柱構(gòu)件53a、53b。因此，能夠抑制第2輸送裝置50的成本，并且能夠抑制基板處理裝置I的占有面積的增大。
[0059]在此，參照?qǐng)D6說明以往的基板輸送裝置的結(jié)構(gòu)。圖6是表示以往的基板輸送裝置結(jié)構(gòu)的示意主視圖。
[0060]如圖6所不，以往的基板輸送裝置50’包括:一個(gè)輸送臂51’、一對(duì)支柱構(gòu)件53’、53’、以及一個(gè)輸送機(jī)構(gòu)54’。并且，在以往的基板處理裝置中，該基板輸送裝置50’層疊為上下兩層。
[0061]像這樣，在以往的基板處理裝置中，由于兩個(gè)輸送臂51’的升降范圍分割為輸送區(qū)域的上層側(cè)和下層側(cè)，因此，例如在上層側(cè)的輸送臂51’發(fā)生故障的情況下，配置于上層側(cè)的處理單元有可能全部無法使用，而使生產(chǎn)率降低。
[0062]與此相對(duì)，在本實(shí)施方式的基板處理裝置I中，兩個(gè)輸送臂51、52的升降范圍互相重疊，能夠使另一輸送臂51、52移動(dòng)到一輸送臂51、52的作業(yè)范圍內(nèi)，因此，即使在一輸送臂51、52發(fā)生故障的情況下，也能夠抑制生產(chǎn)率的降低。
[0063]接下來，參照?qǐng)D7說明控制裝置4的結(jié)構(gòu)。圖7是表示控制裝置4的結(jié)構(gòu)的框圖。另外，在圖7中，只表示為了說明控制裝置4的特征所必需的構(gòu)成要素，省略關(guān)于通常的構(gòu)成要素的記載。
[0064]如圖7所示，控制裝置4包括控制部16以及存儲(chǔ)部17。控制部16包括輸送控制部16a以及異常應(yīng)對(duì)處理部16b。另外，存儲(chǔ)部17用于存儲(chǔ)作業(yè)數(shù)據(jù)17a。
[0065]另外，控制部16為例如CPU (Central Processing Unit:中央處理器)，通過讀取并執(zhí)行被存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部17的未圖示的程序，從而作為輸送控制部16a以及異常應(yīng)對(duì)處理部16b而發(fā)揮功能。另外，也可以是，控制部16不使用程序而僅由硬件構(gòu)成。
[0066]另外，基板處理裝置I包括異常檢測(cè)部80。在本實(shí)施方式中，異常檢測(cè)部80用于檢測(cè)第I輸送臂51和第2輸送臂52的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的異常。具體而言，異常檢測(cè)部80用于檢測(cè)第I輸送臂51和第2輸送臂52的臂的伸縮動(dòng)作、在鉛垂方向上的移動(dòng)動(dòng)作、以及以鉛垂軸線為中心的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作的異常。另外，異常檢測(cè)部80在檢測(cè)出異常的情況下，還進(jìn)行將該情況輸出到控制部16的異常應(yīng)對(duì)處理部16的處理。
[0067]另外，在此，表示了異常檢測(cè)部80設(shè)于控制裝置4的外部的情況的例子，但是也可以在控制部16進(jìn)行與異常檢測(cè)部80同樣的處理。具體而言，也可以是，控制部16構(gòu)成為，基于對(duì)第2輸送裝置50輸出的動(dòng)作指令與自第2輸送裝置50輸入的動(dòng)作結(jié)果的信息之間的差別，判斷第2輸送裝置50是否按照指令進(jìn)行了動(dòng)作，在第2輸送裝置50未按照指令進(jìn)行動(dòng)作的情況下檢測(cè)出異常。
[0068]輸送控制部16a基于存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部17的作業(yè)數(shù)據(jù)17a而控制第2輸送裝置50的動(dòng)作。
[0069]控制部16a按照配置于同一高度的處理單元41?48對(duì)第I輸送臂51和第2輸送臂52分配處理單元41?48。例如，在本實(shí)施方式中，在多個(gè)處理單元41?48中，上側(cè)四個(gè)處理單元41、42、45、46被分配到第I輸送臂51，剩余的處理單元43、44、47、48被分配到第2輸送臂52。另外，第I輸送臂51能夠使用兩個(gè)臂部51a、51b將晶圓W —張一張地送入處理單兀41、42、45、46或一張一張地從處理單兀41、42、45、46送出。同樣，第2輸送臂52能夠使用兩個(gè)臂部52a、52b將晶圓W—張一張地送入處理單元43、44、47、48或一張一張地從處理單元43、44、47、48送出。
[0070]并且，輸送控制部16a使第I輸送臂51進(jìn)行晶圓W相對(duì)于處理單元41、42、45、46的送入送出，輸送控制部16a使第2輸送臂52進(jìn)行晶圓W相對(duì)于處理單元43、44、47、48的送入送出。
[0071]在自異常檢測(cè)部80接收到發(fā)生了規(guī)定的異常的情況的通知時(shí)，異常應(yīng)對(duì)處理部16b執(zhí)行異常應(yīng)對(duì)處理。在此，參照?qǐng)D8和圖9說明異常應(yīng)對(duì)處理的內(nèi)容。
[0072]圖8和圖9是表不異常應(yīng)對(duì)處理的動(dòng)作例的圖。另外，在圖8和圖9中表不在第I輸送臂51發(fā)生了異常的情況下的異常應(yīng)對(duì)處理的動(dòng)作例。
[0073]如圖8所示，在利用異常檢測(cè)部80檢測(cè)到第I輸送臂51的異常的情況下，異常應(yīng)對(duì)處理部16b控制第2輸送裝置50，使第I輸送臂51移動(dòng)到退避空間SI。
[0074]在此，在檢測(cè)到第I輸送臂51的臂伸縮動(dòng)作的異?；驒z測(cè)到第I輸送臂51以鉛垂軸線為中心的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作的異常的情況下，進(jìn)行使第I輸送臂51移動(dòng)到退避空間SI的處理。其原因在于，在檢測(cè)到第I輸送臂51在鉛垂方向上的移動(dòng)動(dòng)作的異常的情況下、即在第I升降機(jī)構(gòu)54a或第I驅(qū)動(dòng)源55a發(fā)生故障的情況下，無法使第I輸送臂51移動(dòng)到退避空間SI。
[0075]接下來，在使第I輸送臂51移動(dòng)到退避空間SI之后，基于作業(yè)數(shù)據(jù)17a，異常應(yīng)對(duì)處理部16b控制第2輸送裝置50，使第2輸送臂52進(jìn)行應(yīng)該由第I輸送臂51進(jìn)行的作業(yè)。即，異常應(yīng)對(duì)處理部16b使第2輸送臂52進(jìn)行應(yīng)該由第I輸送臂51進(jìn)行的晶圓W相對(duì)于處理單元41、42、45、56的送入送出。
[0076]此時(shí)，第I輸送臂51處于退避到退避空間SI的狀態(tài)，因此第2輸送臂52能夠不被第I輸送臂51妨礙地進(jìn)行晶圓W相對(duì)于處理單元41、42、45、46的送入送出。
[0077]另外，在檢測(cè)到第I輸送臂51在鉛垂方向上的移動(dòng)動(dòng)作的異常的情況下，還可以使第2輸送臂52進(jìn)行晶圓W相對(duì)于位于比第I輸送臂51靠下方的位置的處理單元41?48 (例如在第I輸送臂51在處理單元41的正面停止了的情況下的處理單元42?44、46?48)的送入送出。
[0078]另外，本實(shí)施方式的基板處理裝置I能夠在第I輸送臂51分配數(shù)量與第2輸送臂52之間使處理單元41?48的分配數(shù)量不同。參照?qǐng)D10說明該點(diǎn)。圖10是表示對(duì)第I輸送臂51和第2輸送臂52分配處理單元41?48的例子的圖。
[0079]如圖10所示，控制部16的輸送控制部16a也能夠例如對(duì)第I輸送臂51分配處理單元41?43、45?47，對(duì)第2輸送臂52分配處理單元44、48。
[0080]在此，即使在以往的基板處理裝置中，也能夠以處理時(shí)間長(zhǎng)的晶圓和處理時(shí)間短的晶圓來使處理單元的分配數(shù)量不同。但是，在以往的基板處理裝置中，兩個(gè)輸送臂的升降范圍分為上層和下層，因此在以處理時(shí)間長(zhǎng)的晶圓與分配數(shù)量處理時(shí)間短的晶圓來使處理單元的分配數(shù)量不同的情況下，一輸送臂對(duì)處理時(shí)間長(zhǎng)的晶圓和處理時(shí)間短的晶圓這兩者進(jìn)行處理。結(jié)果，有可能輸送安排表變得復(fù)雜，或使處理時(shí)間短的晶圓的輸送因處理時(shí)間長(zhǎng)的晶圓的輸送而等待。
[0081]相對(duì)于此，在本實(shí)施方式的第2輸送裝置50中，第I輸送臂51的升降范圍和第2輸送臂52的升降范圍互相重疊。因此，即使以處理時(shí)間長(zhǎng)的晶圓W與處理時(shí)間短的晶圓W來使處理單元41?48的分配數(shù)量不同，也能夠使第I輸送臂51僅輸送處理時(shí)間長(zhǎng)的晶圓W，使第2輸送臂52僅輸送處理時(shí)間短的晶圓W。
[0082]因此，采用本實(shí)施方式的基板處理裝置1，使處理時(shí)間短的晶圓W的輸送因處理時(shí)間長(zhǎng)的晶圓W的輸送而等待、或者反過來使處理時(shí)間長(zhǎng)的晶圓W的輸送因處理時(shí)間短的晶圓W的輸送而等待的情況減少。因此，能夠提高在處理時(shí)間不同的兩個(gè)種類的晶圓W混合在一起的情況下的生產(chǎn)率。另外，能夠防止輸送安排表的復(fù)雜化。
[0083]另外，本實(shí)施方式的基板處理裝置I能夠?qū)μ幚韷K