/秒進(jìn)行流動(dòng)。
[0033]激光氣體導(dǎo)入機(jī)構(gòu)140具有與激光氣體導(dǎo)入口 115連接的激光氣體導(dǎo)入路徑141、與激光氣體導(dǎo)入口 135連接的激光氣體導(dǎo)入路徑142、以及激光氣體導(dǎo)入裝置143。激光氣體導(dǎo)入裝置143具有計(jì)時(shí)器144、控制部145、激光氣體氣瓶146、以及開閉閥147、148。在激光氣體導(dǎo)入路徑141中設(shè)置有開閉閥147 (第一開閉閥)，并且激光氣體導(dǎo)入路徑141與激光氣體氣瓶146連接。在激光氣體導(dǎo)入路徑142中設(shè)置有開閉閥148 (第二開閉閥)，并且激光氣體導(dǎo)入路徑142與激光氣體氣瓶146連接?？刂撇?45與計(jì)時(shí)器144、開閉閥147、148、電源118、以及排氣栗137連接，分別對(duì)這些構(gòu)件進(jìn)行控制。
[0034]如以上那樣，本實(shí)施方式的氣體激光振蕩裝置除了具有向激光振蕩部110導(dǎo)入激光氣體的激光氣體導(dǎo)入口 115之外，還具有向激光氣體循環(huán)路徑131導(dǎo)入激光氣體的激光氣體導(dǎo)入口 135。由此，在長期停止的氣體激光振蕩裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)再次開始時(shí)，向激光振蕩部110導(dǎo)入的激光氣體的量與通常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)相同，且能夠使激光振蕩部110的內(nèi)部的激光氣體的流量比通常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)多。由此，本實(shí)施方式的氣體激光振蕩裝置100在運(yùn)轉(zhuǎn)再次開始時(shí)，也能夠迅速地輸出穩(wěn)定的激光束。
[0035]接著，對(duì)本實(shí)施方式的氣體激光振蕩方法進(jìn)行說明。
[0036]在通常運(yùn)轉(zhuǎn)中的氣體激光振蕩裝置100中，激光振蕩部110、激光氣體循環(huán)機(jī)構(gòu)130、以及激光氣體導(dǎo)入機(jī)構(gòu)140分別如以下那樣進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
[0037]在激光振蕩部110中，通過電源118向第一電極116和第二電極117施加高電壓，從而激勵(lì)放電部112的激光氣體并發(fā)生激光振蕩。在放電部112中振蕩的激光在全反射鏡119與部分反射鏡120之間發(fā)生諧振，當(dāng)超過規(guī)定的能量時(shí)，從部分反射鏡120向激光振蕩部110的外部作為激光121而輸出。
[0038]在激光氣體導(dǎo)入機(jī)構(gòu)140中，開閉閥147打開，開閉閥148關(guān)閉。由此，僅從激光氣體導(dǎo)入口 115向激光振蕩部110供給新的激光氣體。
[0039]在激光氣體循環(huán)機(jī)構(gòu)130中，激光氣體取出口 136打開，從激光氣體循環(huán)路徑131向外部取出與從激光氣體導(dǎo)入口 115導(dǎo)入的激光氣體同量的劣化了的激光氣體。由此，能夠?qū)⒓す庹袷幉?10的內(nèi)部的壓力保持為固定，并且能夠?qū)⒘踊说募す鈿怏w替換為新的激光氣體。另外，通過使熱交換器132、133和鼓風(fēng)機(jī)134運(yùn)轉(zhuǎn)，從而向激光振蕩部110以固定速度供給冷卻后的激光氣體。
[0040]如上所述，在通常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，通過對(duì)激光氣體進(jìn)行冷卻及替換，從而能夠在激光振蕩部110中進(jìn)行穩(wěn)定的激光振蕩，能夠從氣體激光振蕩裝置100穩(wěn)定地輸出激光121。
[0041]接著，使用圖2，對(duì)長期停止后再次運(yùn)轉(zhuǎn)氣體激光振蕩裝置100的氣體激光振蕩方法進(jìn)行說明。
[0042]當(dāng)氣體激光振蕩裝置100長期停止時(shí)，在激光振蕩部110的內(nèi)部蓄積有包含水分子在內(nèi)的雜質(zhì)，使放電變得不穩(wěn)定。因此，在氣體激光振蕩裝置100的運(yùn)轉(zhuǎn)再次開始時(shí)，需要使激光振蕩部110的內(nèi)部的激光氣體的流量比通常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)多，直至除去雜質(zhì)為止。在本實(shí)施方式中，運(yùn)轉(zhuǎn)再次開始時(shí)的激光振蕩部110的內(nèi)部的激光氣體的流量為通常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的5倍以上，并且將該激光氣體流量維持5分鐘。
[0043]首先，如圖2的步驟S1所示，開閉閥147打開，激光氣體從激光氣體導(dǎo)入口 115向激光振蕩部110導(dǎo)入。此時(shí)，激光氣體循環(huán)機(jī)構(gòu)130與通常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)同樣，也是熱交換器132、133和鼓風(fēng)機(jī)134、排氣栗137開始運(yùn)轉(zhuǎn)，且激光氣體取出口 136打開。
[0044]接著，如圖2的步驟S2所示，控制部145控制激光振蕩部110的電源118而向第一電極116以及第二電極117之間施加高電壓。將表示電源118是否使放電部112中產(chǎn)生了放電的放電開始信號(hào)發(fā)送至控制部145。從激光氣體導(dǎo)入口 115向激光振蕩部110導(dǎo)入激光氣體并且通過激光氣體循環(huán)機(jī)構(gòu)130進(jìn)行激光氣體的循環(huán)，直至開始放電為止。
[0045]如圖2的步驟S3所示，當(dāng)放電部112中開始放電時(shí)，控制部145將開閉閥148打開，并從激光氣體導(dǎo)入口 135向激光氣體循環(huán)路徑131導(dǎo)入激光氣體。同時(shí)，提高排氣栗137的轉(zhuǎn)速，使來自激光氣體取出口 136的激光氣體的排出量增加。由此，將比通常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)更多的激光氣體供給至放電部112、激光氣體循環(huán)路徑131，從而使放電部112的激光氣體流量增加。具體而言，將從激光氣體導(dǎo)入口 115導(dǎo)入的激光氣體的量的四倍的激光氣體從激光氣體導(dǎo)入口 135導(dǎo)入。大致與此同時(shí)，使從激光氣體取出口 136排出的激光氣體的量成為五倍。由此，能夠?qū)⑼ǔ＿\(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的五倍的流量的激光氣體供給至放電部112、激光氣體循環(huán)路徑131。此時(shí)，放電部112等的激光氣體的壓力幾乎不上升。
[0046]如圖2的步驟S4所示，當(dāng)控制部145將開閉閥148打開時(shí)，對(duì)計(jì)時(shí)器144進(jìn)行重置。如圖2的步驟S5所示，計(jì)時(shí)器144從被重置的時(shí)刻起，重新開始計(jì)時(shí)，并且向控制部145發(fā)送計(jì)時(shí)時(shí)間。如圖2的步驟S6所示，若計(jì)時(shí)器144的計(jì)時(shí)時(shí)間小于5分鐘，則控制部145維持開閉閥148打開的狀態(tài)。
[0047]如圖2的步驟S7所示，當(dāng)計(jì)時(shí)器144的計(jì)時(shí)時(shí)間到5分鐘時(shí)，控制部145將開閉閥148關(guān)閉，氣體激光振蕩裝置100進(jìn)行通常運(yùn)轉(zhuǎn)。關(guān)于通常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的控制如上所述。
[0048]如以上那樣，在本實(shí)施方式的氣體激光振蕩方法中，在長期停止的氣體激光振蕩裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)再次開始時(shí)，向激光振蕩部110導(dǎo)入的激光氣體的量與通常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)相同，且使激光振蕩部110的內(nèi)部的激光氣體的流量提高至通常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的約五倍。由此，在本實(shí)施方式的氣體激光振蕩方法中，在運(yùn)轉(zhuǎn)再次開始時(shí)也能夠迅速地輸出穩(wěn)定的激光束。
[0049]接著，對(duì)本實(shí)施方式的氣體激光加工機(jī)進(jìn)行說明。
[0050]如圖3所示，本實(shí)施方式的氣體激光加工機(jī)300具有氣體激光振蕩裝置100、反射鏡301、加工炬(torch) 302、加工炬302內(nèi)的聚光透鏡303、工作臺(tái)304、X軸馬達(dá)305、以及Y軸馬達(dá)306。另外，氣體激光加工機(jī)300對(duì)搭載于工作臺(tái)304的加工工件307進(jìn)行焊接、切斷等加工。
[0051]對(duì)氣體激光加工機(jī)300所進(jìn)行的加工進(jìn)行說明。從氣體激光振蕩裝置100輸出的激光束被反射鏡301以朝向加工炬302內(nèi)的聚光透鏡303的方式反射。聚光透鏡303對(duì)入射的激光束進(jìn)行匯聚并將匯聚后的激光向加工工件307照射。另外，加工炬302以與加工工件307的加工形狀一致的方式在X軸馬達(dá)305以及Y軸馬達(dá)306的作用下移動(dòng)。需要說明的是，也可以使工作臺(tái)304以與加工工件307的加工形狀一致的方式移動(dòng)。
[0052](實(shí)施方式2)
[0053]接著，對(duì)實(shí)施方式2的氣體激光振蕩裝置進(jìn)行說明。
[0054]圖4是本實(shí)施方式的軸流型的氣體激光振蕩裝置400的結(jié)構(gòu)圖，圖5是本實(shí)施方式的軸流型的另一氣體激光振蕩裝置500的結(jié)構(gòu)圖。針對(duì)與實(shí)施方式1的氣體激光振蕩裝置100相同的結(jié)構(gòu)以相同的附圖標(biāo)記示出，并省略說明。
[0055]氣體激光振蕩裝置400與氣體激光振蕩裝置100在以下方面不同。
[0056]如圖4所示，氣體激光振蕩裝置400的激光振蕩部410與氣體激光振蕩裝置100的激光振蕩部110相比還具有放電管411 (第二放電管)、放電部412 (第二放電部)、激光氣體供給口 413 (第二激光氣體供給口)、激光氣體導(dǎo)入口 415 (第三激光氣體導(dǎo)入口)、電極416 (第三電極)、電極417 (第四電極)、以及電源418 (第二電源)。控制部145對(duì)兩個(gè)電源118、418進(jìn)行控制。激光氣體排出口 114位于兩個(gè)放電管111、411之間，各結(jié)構(gòu)左右對(duì)稱。
[0057]此外，激光氣體循環(huán)機(jī)構(gòu)430構(gòu)成為在熱交換器133的下游處，激光氣體循環(huán)路徑431被分為兩支且與兩個(gè)激光氣體供給口 113、413連接。另外，激光氣體導(dǎo)入機(jī)構(gòu)440構(gòu)成為在開閉閥147的下游處，激光氣體導(dǎo)入路徑441被分為兩支且與兩個(gè)激光氣體導(dǎo)入口115、415 連接。
[0058]氣體激光振蕩裝置400在左右設(shè)置放電部112、412，并且具有兩個(gè)激光氣體供給口 113、413和兩個(gè)激光氣體導(dǎo)入口 115、415。由此，能夠減少每一個(gè)激光氣體供給口、激光氣體導(dǎo)入口中的激光氣體量，能夠抑制激光氣體的紊流。
[0059]氣體激光振蕩裝置500與氣體激光振蕩裝置400在以