下方面不同。
[0060]如圖5所示，氣體激光振蕩裝置500的激光氣體導(dǎo)入機(jī)構(gòu)540的激光氣體導(dǎo)入路徑542被分為兩支。被分為了兩支的激光氣體導(dǎo)入路徑542通過被分為了兩支的激光氣體循環(huán)路徑431的激光氣體導(dǎo)入口 135和激光氣體導(dǎo)入口 535(第四激光氣體導(dǎo)入口)進(jìn)行連接。由此，不會(huì)對(duì)來自熱交換器133的激光氣體的流動(dòng)造成影響而能夠左右均等地導(dǎo)入新的激光氣體。
[0061]另外，在圖3所示的氣體激光加工機(jī)中，可以取代氣體激光振蕩裝置100而使用氣體激光振蕩裝置400、氣體激光振蕩裝置500。
[0062]另外，在實(shí)施方式1及實(shí)施方式2中，激光氣體導(dǎo)入口 115、415也可以形成為沿著激光振蕩部110的側(cè)面的狹縫形狀。由此，激光氣體從激光振蕩部110的側(cè)面整體導(dǎo)入，能夠抑制從激光氣體導(dǎo)入口 115、415導(dǎo)入的激光氣體的紊流。
[0063]工業(yè)上的可利用性
[0064]本發(fā)明的氣體激光振蕩裝置、氣體激光振蕩方法以及氣體激光加工機(jī)在氣體激光振蕩裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)再次開始時(shí)，也能夠迅速地輸出穩(wěn)定的激光束，在切斷、焊接的加工中是有用的。
[0065]附圖標(biāo)號(hào)說明
[0066]100、400、500、900氣體激光振蕩裝置
[0067]110、410激光振蕩部
[0068]111、411、901 放電管
[0069]112、412 放電部
[0070]113、413激光氣體供給口
[0071]114,414激光氣體排出口
[0072]115、135、415、535 激光氣體導(dǎo)入口
[0073]116、117、416、417、902、903 電極
[0074]118、418、904 電源
[0075]119、906 全反射鏡
[0076]120,907部分反射鏡
[0077]121 激光
[0078]130、430激光氣體循環(huán)機(jī)構(gòu)
[0079]131、431激光氣體循環(huán)路徑
[0080]132、133、910、911 熱交換器
[0081]134、912 鼓風(fēng)機(jī)
[0082]136激光氣體取出口
[0083]137排氣栗
[0084]140、440、540激光氣體導(dǎo)入機(jī)構(gòu)
[0085]141、142、441、542激光氣體導(dǎo)入路徑
[0086]143激光氣體導(dǎo)入裝置
[0087]144計(jì)時(shí)器
[0088]145控制部
[0089]146激光氣體氣瓶
[0090]147、148 開閉閥
[0091]300氣體激光加工機(jī)
[0092]301反射鏡
[0093]302加工炬
[0094]303聚光透鏡
[0095]304工作臺(tái)
[0096]305X 軸馬達(dá)
[0097]306Y 軸馬達(dá)
[0098]307加工工件
[0099]905放電空間
[0100]908激光束
[0101]909激光氣體流路
[0102]913箭頭
[0103]914a全反射鏡保持部
[0104]914b部分反射鏡保持部
[0105]915無極放電管
[0106]916銅環(huán)
[0107]917激光氣體導(dǎo)入部
[0108]918連接管
[0109]919激光氣體供給裝置
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種氣體激光振蕩裝置，其特征在于，具備: 激光振蕩部，其具有設(shè)置于第一端部的全反射鏡以及部分反射鏡中的一方、設(shè)置于與所述第一端部相反側(cè)的第二端部的全反射鏡以及部分反射鏡中的另一方、以及對(duì)激光氣體進(jìn)行激勵(lì)的第一放電管； 第一激光氣體供給口，其設(shè)置在所述第一端部與所述第一放電管之間，并向所述激光振蕩部供給激光氣體； 激光氣體排出口，其設(shè)置在所述第二端部與所述第一放電管之間，并從所述激光振蕩部將激光氣體排出； 第一激光氣體導(dǎo)入口，其設(shè)置在所述第一端部與所述第一放電管之間，并向所述激光振蕩部導(dǎo)入激光氣體； 激光氣體循環(huán)路徑，其將所述第一激光氣體供給口與所述激光氣體排出口連接；第二激光氣體導(dǎo)入口，其設(shè)置于所述激光氣體循環(huán)路徑，并向所述激光氣體循環(huán)路徑導(dǎo)入激光氣體；以及 激光氣體導(dǎo)入機(jī)構(gòu)，其與所述第一激光氣體導(dǎo)入口以及所述第二激光氣體導(dǎo)入口連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體激光振蕩裝置，其中， 所述氣體激光振蕩裝置還具備鼓風(fēng)機(jī)，所述鼓風(fēng)機(jī)設(shè)置于所述激光氣體循環(huán)路徑，并使激光氣體從所述激光氣體排出口朝向所述第一激光氣體供給口進(jìn)行循環(huán)， 所述第二激光氣體導(dǎo)入口設(shè)置在所述鼓風(fēng)機(jī)與所述第一激光氣體供給口之間。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體激光振蕩裝置，其中， 所述氣體激光振蕩裝置還具備激光氣體取出口，所述激光氣體取出口設(shè)置于所述激光氣體循環(huán)路徑，并從所述激光氣體循環(huán)路徑將激光氣體取出， 所述激光氣體取出口設(shè)置在所述鼓風(fēng)機(jī)與所述激光氣體排出口之間。4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的氣體激光振蕩裝置，其中， 所述氣體激光振蕩裝置還具備: 第一熱交換器，其設(shè)置在所述激光氣體循環(huán)路徑中的、所述激光氣體排出口與所述鼓風(fēng)機(jī)之間；以及 第二熱交換器，其設(shè)置在所述激光氣體循環(huán)路徑中的、所述第一激光氣體供給口與所述鼓風(fēng)機(jī)之間。5.根據(jù)權(quán)利要求1?4中任一項(xiàng)所述的氣體激光振蕩裝置，其中， 所述第一激光氣體導(dǎo)入口設(shè)置在所述第一激光氣體供給口與所述第一端部之間。6.根據(jù)權(quán)利要求1?5中任一項(xiàng)所述的氣體激光振蕩裝置，其中， 所述氣體激光振蕩裝置還具備: 第二放電管，其設(shè)置在所述激光氣體排出口與所述第二端部之間，并對(duì)激光氣體進(jìn)行激勵(lì)； 第二激光氣體供給口，其設(shè)置在所述第二端部與所述第二放電管之間，并向所述激光振蕩部供給激光氣體；以及 第三激光氣體導(dǎo)入口，其設(shè)置在所述第二端部與所述第二放電管之間，并向所述激光振蕩部導(dǎo)入激光氣體， 所述激光氣體循環(huán)路徑與所述第二激光氣體供給口連接。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣體激光振蕩裝置，其中， 所述氣體激光振蕩裝置還具備第四激光氣體導(dǎo)入口，所述第四激光氣體導(dǎo)入口設(shè)置于所述激光氣體循環(huán)路徑，并向所述激光氣體循環(huán)路徑導(dǎo)入激光氣體， 所述第四激光氣體導(dǎo)入口設(shè)置在所述激光氣體排出口與所述第二激光氣體導(dǎo)入口之間。8.—種氣體激光振蕩方法，其特征在于，包括: 第一激光氣體導(dǎo)入工序，在該第一激光氣體導(dǎo)入工序中，向激光振蕩部導(dǎo)入激光氣體； 循環(huán)工序，在該循環(huán)工序中，通過與所述激光振蕩部連接的激光氣體循環(huán)路徑而使激光氣體振蕩部的激光氣體進(jìn)行循環(huán)； 激光振蕩工序，在該激光振蕩工序中，向所述激光氣體振蕩部施加電壓，從而對(duì)激光氣體進(jìn)行激勵(lì)；以及 第二激光氣體導(dǎo)入工序，在該第二激光氣體導(dǎo)入工序中，向所述激光氣體循環(huán)路徑導(dǎo)入激光氣體， 在所述激光振蕩工序中，當(dāng)檢測(cè)到激光振蕩時(shí)，開始所述第二激光氣體導(dǎo)入工序，當(dāng)經(jīng)過規(guī)定時(shí)間時(shí)，結(jié)束所述第二激光氣體導(dǎo)入工序。9.一種氣體激光加工機(jī)，其具備: 權(quán)利要求1?7所述的氣體激光振蕩裝置； 反射鏡，其對(duì)從所述氣體激光振蕩裝置輸出的激光進(jìn)行反射； 加工炬，其具有對(duì)由所述反射鏡反射后的激光進(jìn)行匯聚的聚光透鏡；以及 工作臺(tái)，其保持加工工件，所述加工工件被照射由所述聚光透鏡匯聚后的激光。
【專利摘要】現(xiàn)有的氣體激光振蕩裝置在導(dǎo)入激光氣體的量比通常多時(shí)，在全反射鏡、部分反射鏡附近會(huì)產(chǎn)生紊流，放電變得不穩(wěn)定，激光束的輸出變得不穩(wěn)定。本發(fā)明的氣體激光振蕩裝置具有激光振蕩部、第一激光氣體供給口、激光氣體排出口、第一激光氣體導(dǎo)入口、激光氣體循環(huán)路徑以及第二激光氣體導(dǎo)入口。第一激光氣體導(dǎo)入口設(shè)置在全反射鏡以及部分反射鏡中的一方與第一放電管之間，并向激光振蕩部導(dǎo)入激光氣體。第二激光氣體導(dǎo)入口設(shè)置于激光氣體循環(huán)路徑，并向激光氣體循環(huán)路徑導(dǎo)入激光氣體。激光氣體導(dǎo)入機(jī)構(gòu)與第一激光氣體導(dǎo)入口以及第二激光氣體導(dǎo)入口連接。
【IPC分類】H01S3/036
【公開號(hào)】CN105359355
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201480037321
【發(fā)明人】持山智浩, 小山賢起, 江口聰
【申請(qǐng)人】松下知識(shí)產(chǎn)權(quán)經(jīng)營(yíng)株式會(huì)社
【公開日】2016年2月24日
【申請(qǐng)日】2014年8月18日
【公告號(hào)】EP3021431A1, US20160111846, WO2015107570A1