一種半導(dǎo)體零件清洗承載裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，涉及一種半導(dǎo)體零件清洗承載裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體反應(yīng)腔的預(yù)防性維護(hù)(PM:Preventive Maintenance)中，石英和娃刻蝕工藝中使用的組件需要進(jìn)行超聲波清洗。目前半導(dǎo)體工廠中使用的晶圓尺寸多為300mm直徑，故工藝組件零件大多為圓環(huán)形結(jié)構(gòu)，如插入環(huán)(inser ring)、對光環(huán)(focus ring)、邊緣環(huán)(edge ring)等，其內(nèi)徑為(300+x)mm，外徑為(300+x+y)mm，其中，x、y的值根據(jù)不同廠商機(jī)型設(shè)計略有差距。
[0003]為了防止組件零件損壞，這些組件零件不能堆疊放置。在清洗過程中，這些零件只能平放在超聲波清洗槽中，而清洗槽容積有限，一次最多只能清洗2到4件零件。如圖1所示，顯示為四件零件2放置于清洗槽I中時的側(cè)視剖面圖。如圖2所示，顯示為清洗槽的俯視圖，可見，即使一層僅放置兩件零件2，也可能發(fā)生互相刮蹭問題而導(dǎo)致零件報廢。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中不僅存在半導(dǎo)體零件清洗效率較低的問題，浪費(fèi)了大量時間和空間，還存在零件報廢率較高的問題，導(dǎo)致半導(dǎo)體企業(yè)生產(chǎn)成本提高。
[0005]因此，提供一種新型半導(dǎo)體零件清洗承載裝置，以充分利用清洗槽空間，并不對零件產(chǎn)生破壞，成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個重要技術(shù)問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種半導(dǎo)體零件清洗承載裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中半導(dǎo)體零件的清洗效率低、零件報廢率高的問題。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體零件清洗承載裝置，所述承載裝置包括:
[0008]框架，由四條側(cè)板圍成四方形；
[0009]兩對安裝架，分別安裝于所述框架上部的四個角落；
[0010]兩對導(dǎo)軌，分別平行安裝于兩對安裝架之間；
[0011 ] 若干零件承載架單元，所述零件承載架單元包括承載架本體、穿通所述承載架本體的一對導(dǎo)軌套孔、連接于所述承載架本體一側(cè)的滾輪支撐架及安裝于所述滾輪支撐架上的滾輪；所述滾輪外周設(shè)有容置半導(dǎo)體零件邊緣的凹槽；所述零件承載架單元通過所述導(dǎo)軌套孔套設(shè)于所述導(dǎo)軌上。
[0012]可選地，每條側(cè)板均包括至少一個通槽。
[0013]可選地，每條側(cè)板均包括一個長方形通槽，所述通槽與所述側(cè)板的體積比大于1/2。
[0014]可選地，所述安裝架為L型，所述安裝架掛在所述框架角落，并通過緊固件固定于所述側(cè)板上。
[0015]可選地，所述緊固件為螺栓與螺母，所述安裝架上設(shè)有至少兩個定位孔，所述螺栓穿過所述定位孔，并穿通所述側(cè)板與所述螺母配合將所述安裝架固定。
[0016]可選地，各定位孔豎向排列。
[0017]可選地，所述安裝架上還設(shè)有兩個導(dǎo)軌安裝孔，所述導(dǎo)軌安裝孔豎向設(shè)置于所述定位孔上方。
[0018]可選地，所述導(dǎo)軌端部設(shè)有螺孔，所述螺孔與螺栓相配合，將所述導(dǎo)軌固定于兩對安裝架之間。
[0019]可選地，所述滾輪支撐架端部形成有一對側(cè)翼，該一對側(cè)翼被一固定軸穿通，所述滾輪位于該一對側(cè)翼之間并套設(shè)于所述固定軸上。
[0020]可選地，所述凹槽的橫截面為V型或U型。
[0021]可選地，每一對導(dǎo)軌上至少套設(shè)有10個零件承載架單元。
[0022]可選地，所述滾輪的材料為聚醚醚酮。
[0023]如上所述，本實(shí)用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置，具有以下有益效果:本實(shí)用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置由框架、兩對安裝架、兩對導(dǎo)軌及若干零件承載架單元組成，其中，所述框架采用鏤空設(shè)計，從而不影響零件浸泡；兩對安裝架安裝于所述框架的四個角落，兩對導(dǎo)軌分別安裝于兩對安裝架之間，零件承載架單元套設(shè)于所述導(dǎo)軌上。多個零件承載架單元組成并排承載結(jié)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)多個零件直立并行放置。特別的，所述零件承載架單元支撐采用滾輪設(shè)計，一方面，可以使得其與零件之間的摩擦從滑動摩擦變?yōu)闈L動摩擦，減少刮擦；另一方面，采用滾輪設(shè)計可以滿足不同尺寸的環(huán)形零件的放置需求，圓環(huán)零件邊緣相切于兩側(cè)滾輪凹槽中固定，其中尺寸較大的環(huán)形零件中心點(diǎn)較高，尺寸較小的環(huán)形零件中心件較低，只要零件的最大外徑處小于兩側(cè)滾輪之間的距離，都能實(shí)現(xiàn)立式承載于一對滾輪之間。同時，本實(shí)用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置采用可拆卸設(shè)計，可實(shí)現(xiàn)損壞或污染后可更換其配件，節(jié)省成本。
【附圖說明】
[0024]圖1顯示為現(xiàn)有技術(shù)中四件零件放置于清洗槽中時的側(cè)視剖面圖。圖2顯示為現(xiàn)有技術(shù)中清洗槽的俯視圖。
[0025]圖3顯示為本實(shí)用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置的立體圖。
[0026]圖4顯示為本實(shí)用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置的分解示意圖。
[0027]圖5a顯示為本實(shí)用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置中框架的立體圖。
[0028]圖5b顯示為本實(shí)用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置中導(dǎo)軌安裝于框架上的立體圖。圖6顯示為本實(shí)用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置中安裝架的立體圖。
[0029]圖7顯示為本實(shí)用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置中零件承載架單元的立體圖。
[0030]圖8a顯示為將零件放置于本實(shí)用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置中的立體圖。
[0031]圖Sb顯示為將零件放置于本實(shí)用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置中的側(cè)視圖。
[0032]圖Sc顯示為將零件放置于本實(shí)用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置中的正視圖。
[0033]圖9顯示為將零件放置于本實(shí)用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置中的局部放大圖。圖10顯示為將本實(shí)用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置放置于清洗槽中的示意圖。元件標(biāo)號說明
[0034]I清洗槽
[0035]2零件
[0036]3框架
[0037]4安裝架
[0038]5導(dǎo)軌
[0039]6零件承載架單元
[0040]7通槽
[0041]8定位孔
[0042]9導(dǎo)軌安裝孔
[0043]10承載架本體
[0044]11導(dǎo)軌套孔
[0045]12滾輪支撐架
[0046]13滾輪
[0047]14凹槽
[0048]15固定軸
[0049]16螺栓
【具體實(shí)施方式】
[0050]以下由特定的具體實(shí)施例說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。
[0051]請參閱圖3至圖10。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。
[0052]本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體零件清洗承載裝置，請參閱圖3及圖4，其中圖3顯示為本實(shí)用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置的立體圖，圖4顯示為本實(shí)用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置的分解示意圖，如圖所示，所述承載裝置包括:框架3、兩對安裝架4、兩對導(dǎo)軌5及若干零件承載架單元6，其中，所述框架3由四條側(cè)板圍成四方形，兩對安裝架4分別安裝于所述框架3上部的四個角落，兩對導(dǎo)軌5分別平行安裝于兩對安裝架4之間，所述零件承載架單元6套設(shè)于所述導(dǎo)軌5上。
[0053]請參閱圖5a及圖5b，分別顯示為本實(shí)用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置中框架3的立體圖及導(dǎo)軌5安裝于框架3上的立體圖。所述框架3由四條側(cè)板圍成四方形，其中，每條側(cè)板均包括至少一個通槽，使得所述框架為鏤空設(shè)計，從而不影響零件浸泡。本實(shí)施例中，每條側(cè)板均包括一個長方形通槽7，所述通槽7與所述側(cè)板的體積比大于1/2，盡量減少框架對清洗液流動性的影響。所述框架3可采用一體成型方式制成，也可以為組裝方式形成。
[0054]請參閱圖6，顯示為本實(shí)用新型的