半導(dǎo)體零件清洗承載裝置中安裝架4的立體圖。本實施例中，所述安裝架4優(yōu)選為L型，便于掛在所述框架3的角落，增加穩(wěn)定性。同時，所述安裝架4通過緊固件固定于所述側(cè)板上。
[0055]具體的，所述緊固件可以為螺栓與螺母，如圖6所示，所述安裝架4上設(shè)有至少兩個定位孔8，如圖3及圖4所示，所述螺栓16穿過所述定位孔8，并穿通所述側(cè)板與所述螺母配合將所述安裝架4固定。
[0056]具體的，各定位孔8可以橫向排列或豎向排列，本實施例中，各定位孔8優(yōu)選為豎向排列，有利于降低所述安裝架4的寬度，并提高所述安裝架4的穩(wěn)固性。
[0057]具體的，所述安裝架4上還設(shè)有兩個導(dǎo)軌安裝孔9，用于容置所述導(dǎo)軌5的端部。所述導(dǎo)軌安裝孔9豎向設(shè)置于所述定位孔8上方。
[0058]進一步的，所述導(dǎo)軌5端部可設(shè)有螺孔(未圖示)，如圖5b所示，所述螺孔與螺栓16相配合，將所述導(dǎo)軌5固定于兩對安裝架4之間。每一對安裝架4之間均具有兩根導(dǎo)軌5，可以防止所述零件承載架單元6的主體轉(zhuǎn)動，保證所述零件承載架單元6豎直放置。
[0059]請參閱圖7，顯示為本實用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置中零件承載架單元6的立體圖。如圖所示，所述零件承載架單元6包括承載架本體10、穿通所述承載架本體10的一對導(dǎo)軌套孔11、連接于所述承載架本體10 —側(cè)的滾輪支撐架12及安裝于所述滾輪支撐架12上的滾輪13 ;所述滾輪13外周設(shè)有容置半導(dǎo)體零件邊緣的凹槽14。如圖3及圖4所示，所述零件承載架單元6通過所述導(dǎo)軌套孔11套設(shè)于所述導(dǎo)軌5上。
[0060]具體的，所述滾輪支撐架12端部形成有一對側(cè)翼，該一對側(cè)翼被一固定軸15穿通，所述滾輪13位于該一對側(cè)翼之間并套設(shè)于所述固定軸15上，所述滾輪13可繞所述固定軸15自由轉(zhuǎn)動。所述凹槽14的橫截面包括但不限于V型或U型，可以限制零件的位移。所述滾輪13的材料優(yōu)選為非金屬材質(zhì)，最好為塑料，有利于在支撐半導(dǎo)體零件時盡量減少刮擦。本實施例中，所述滾輪13的材料優(yōu)選為聚醚醚酮(Polyetheretherketones，簡稱Peek)，其構(gòu)成單位為氧-對亞苯基-氧-羰-對亞苯基，是一種半結(jié)晶性、熱塑性塑料，具有耐正高溫260度、機械性能優(yōu)異、自潤滑性好、耐化學(xué)品腐蝕、阻燃、耐剝離性、耐磨的優(yōu)點。
[0061]具體的，每一對導(dǎo)軌5上至少套設(shè)有有10個零件承載架單元6，優(yōu)選為10?15個，從而一次可豎向承載至少10個零件，從而提高清洗產(chǎn)能。
[0062]請參閱圖8a?Sc，分別顯示為將零件2放置于本實用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置中的立體圖、側(cè)視圖及正視圖(作為示例，僅放置了一個零件)。請參閱圖9，顯示為將零件2放置于本實用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置中的局部放大圖。根據(jù)零件外徑的不同，在放置過程中，零件中心會隨滾輪13的轉(zhuǎn)動逐漸下降，直至零件2邊緣相切于所述滾輪13固定。其中，尺寸較大的環(huán)形零件中心點較高，尺寸較小的環(huán)形零件中心件較低，只要零件的最大外徑處小于兩側(cè)滾輪之間的距離，都能實現(xiàn)立式承載于一對滾輪之間。因此，本實用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置可以同時承載多個尺寸不同的零件，并能夠放置零件之間互相碰撞。
[0063]請參閱圖10，顯示為將本實用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置放置于清洗槽I中的示意圖(作為示例，清洗槽中僅放置有一套承載裝置)。在使用過程中，將承載有若干半導(dǎo)體零件的承載裝置放置于清洗槽I中后，放清洗液沒過零件，然后開啟超聲波，進行零件的清洗。對于現(xiàn)有常用的I米XI米XI米的清洗槽，可以并排放置兩組所述承載裝置，每組承載裝置至少可以承載10?15個零件，從而大幅提高產(chǎn)能。并且由于零件承載架單元支撐采用滾輪設(shè)計，可以減少零件的刮擦。同時，零件承載架單元采用可拆卸設(shè)計，如零件承載架單元損壞或污染可更換。
[0064]綜上所述，本實用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置由框架、兩對安裝架、兩對導(dǎo)軌及若干零件承載架單元組成，其中，所述框架采用鏤空設(shè)計，從而不影響零件浸泡；兩對安裝架安裝于所述框架的四個角落，兩對導(dǎo)軌分別安裝于兩對安裝架之間，零件承載架單元套設(shè)于所述導(dǎo)軌上。多個零件承載架單元組成并排承載結(jié)構(gòu)，從而實現(xiàn)多個零件直立并行放置。特別的，所述零件承載架單元支撐采用滾輪設(shè)計，一方面，可以使得其與零件之間的摩擦從滑動摩擦變?yōu)闈L動摩擦，減少刮擦；另一方面，采用滾輪設(shè)計可以滿足不同尺寸的環(huán)形零件的放置需求，圓環(huán)零件邊緣相切于兩側(cè)滾輪凹槽中固定，其中尺寸較大的環(huán)形零件中心點較高，尺寸較小的環(huán)形零件中心件較低，只要零件的最大外徑處小于兩側(cè)滾輪之間的距離，都能實現(xiàn)立式承載于一對滾輪之間。同時，本實用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置采用可拆卸設(shè)計，可實現(xiàn)損壞或污染后可更換其配件，節(jié)省成本。所以，本實用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點而具高度產(chǎn)業(yè)利用價值。
[0065]上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【主權(quán)項】
1.一種半導(dǎo)體零件清洗承載裝置，其特征在于，所述承載裝置包括: 框架，由四條側(cè)板圍成四方形； 兩對安裝架，分別安裝于所述框架上部的四個角落； 兩對導(dǎo)軌，分別平行安裝于兩對安裝架之間； 若干零件承載架單元，所述零件承載架單元包括承載架本體、穿通所述承載架本體的一對導(dǎo)軌套孔、連接于所述承載架本體一側(cè)的滾輪支撐架及安裝于所述滾輪支撐架上的滾輪；所述滾輪外周設(shè)有容置半導(dǎo)體零件邊緣的凹槽；所述零件承載架單元通過所述導(dǎo)軌套孔套設(shè)于所述導(dǎo)軌上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置，其特征在于:每條側(cè)板均包括至少一個通槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置，其特征在于:每條側(cè)板均包括一個長方形通槽，所述通槽與所述側(cè)板的體積比大于1/2。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置，其特征在于:所述安裝架為L型，所述安裝架掛在所述框架角落，并通過緊固件固定于所述側(cè)板上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置，其特征在于:所述緊固件為螺栓與螺母，所述安裝架上設(shè)有至少兩個定位孔，所述螺栓穿過所述定位孔，并穿通所述側(cè)板與所述螺母配合將所述安裝架固定。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置，其特征在于:各定位孔豎向排列。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置，其特征在于:所述安裝架上還設(shè)有兩個導(dǎo)軌安裝孔，所述導(dǎo)軌安裝孔豎向設(shè)置于所述定位孔上方。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置，其特征在于:所述導(dǎo)軌端部設(shè)有螺孔，所述螺孔與螺栓相配合，將所述導(dǎo)軌固定于兩對安裝架之間。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置，其特征在于:所述滾輪支撐架端部形成有一對側(cè)翼，該一對側(cè)翼被一固定軸穿通，所述滾輪位于該一對側(cè)翼之間并套設(shè)于所述固定軸上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置，其特征在于:所述凹槽的橫截面為V型或U型。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置，其特征在于:每一對導(dǎo)軌上至少套設(shè)有10個零件承載架單元。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置，其特征在于:所述滾輪的材料為聚醚醚酮。
【專利摘要】本實用新型提供一種半導(dǎo)體零件清洗承載裝置，所述承載裝置包括：框架，由四條側(cè)板圍成四方形；兩對安裝架，分別安裝于所述框架上部的四個角落；兩對導(dǎo)軌，分別平行安裝于兩對安裝架之間；若干零件承載架單元，所述零件承載架單元包括承載架本體、穿通所述承載架本體的一對導(dǎo)軌套孔、連接于所述承載架本體一側(cè)的滾輪支撐架及安裝于所述滾輪支撐架上的滾輪；所述滾輪外周設(shè)有容置半導(dǎo)體零件邊緣的凹槽；所述零件承載架單元通過所述導(dǎo)軌套孔套設(shè)于所述導(dǎo)軌上。本實用新型的半導(dǎo)體零件清洗承載裝置可以大幅提高半導(dǎo)體零件的清洗產(chǎn)能，降低零件報廢率。
【IPC分類】H01L21-67
【公開號】CN204332923
【申請?zhí)枴緾N201520025320
【發(fā)明人】周潤鋒, 陳杰, 沈祥江
【申請人】中芯國際集成電路制造(北京)有限公司
【公開日】2015年5月13日
【申請日】2015年1月14日