1 ] 如圖1所示，在第一橫管9上還附連有一個氣管25，較佳地，氣管25通過氣管支架24支承在第一橫管9上。具體而言，氣管支架24上設有孔，氣管25穿過氣管支架24的孔支承在第一橫管9上，氣管25的出口朝向承載盤并布置在承載盤2的上方。氣管支架24上的孔構造成可軸向和徑向地調(diào)節(jié)氣管25的位置。
[0022]接著，參照圖2具體描述清洗部分中軸承部的結構。軸承部構造成使豎管10能夠在電機13的帶動下轉(zhuǎn)動。軸承部包括緊固在臺板7上的軸承座17、在軸承座17內(nèi)分別置于軸承座17上下兩端的上軸承15和下軸承16、以及閉合軸承座17的防水蓋23。液體輸送管(具體為豎管10)穿過防水蓋并由上軸承15和下軸承16轉(zhuǎn)動支承。
[0023]具體而言，豎管10的外壁與上軸承15和下軸承16的內(nèi)圈配合，豎管10上設有卡簧槽用以安裝軸卡簧18，軸承座17的內(nèi)壁上有兩處卡簧槽，分別用以安裝孔卡簧19、20。這樣，通過軸卡簧18、孔卡簧19能夠固定上軸承15的軸向位置，而通過孔卡簧20、臺板7的上表面能夠固定下軸承16的軸向位置。軸承座17的底部與臺板7通過諸如螺絲的緊固件連接，軸承座17的與所述臺板7接觸的底部設有密封圈槽，用以安裝密封圈21，從而起防水密封作用。
[0024]防水蓋23構造成覆蓋軸承座17的上端，用以防止水及水汽進入軸承座17的腔室內(nèi)，起到保護軸承及阻止水進入臺板7下方的作用。防水蓋23大致呈圓盤狀，通常由諸如樹脂等的非金屬材料制成，以達到良好的密封性。防水蓋23的中心設有圓孔，豎管10穿設于其中并與之緊配合。防水蓋23的外周設有突邊231，軸承座17的上端設有與之相對應的臺階部，防水蓋23的突邊231與軸承座17的臺階部相配合，從而可進一步有效防止水及水汽的進入到軸承座17內(nèi)部。
[0025]在使用中，經(jīng)過磨邊處理的藍寶石外延片I自動或手動地放置到承載盤2上，將純水從臺板7下方的第二橫管11的進口端111引入，經(jīng)過輸送管輸送到噴頭8。與此同時，承載盤2在電機4的帶動下旋轉(zhuǎn)，而噴頭8在電機3的正反旋轉(zhuǎn)運動的帶動下左右往復擺動，從而清洗裝置能夠有效地對外延片表面上的污物進行沖洗，經(jīng)過設定時間之后，沖洗停止，隨后，向氣管25通入干燥氣體，對外延片進行干燥。
[0026]采用根據(jù)本實用新型的外延片清洗裝置100可以高效地、全面地對經(jīng)磨邊處理的外延片進行清洗。
[0027]本實用新型雖然以較佳實施例公開如上，但其并不是用來限定本實用新型，任何本領域技術人員在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，都可以做出可能的變動和修改。因此，凡是未脫離本實用新型技術方案的內(nèi)容，依據(jù)本實用新型的技術實質(zhì)對以上實施例所作的任何修改、等同變化及修飾，均落入本實用新型權利要求所界定的保護范圍之內(nèi)。
【主權項】
1.一種外延片清洗裝置，所述外延片清洗裝置包括轉(zhuǎn)動操作的清洗部分和轉(zhuǎn)動操作的承載部分，所述清洗部分和所述承載部分固定在臺板上，其特征在于，所述清洗部分包括: 噴頭，所述噴頭位于所述承載部分的上方； 液體輸送管，所述液體輸送管具有進口端和出口端，所述出口端與所述噴頭相連， 軸承部，所述軸承部支承液體輸送管；以及 電機，所述電機設置在所述臺板下方驅(qū)動所述液體輸送管作往復擺動。
2.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述液體輸送管的所述進口端位于臺板下方。
3.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，液體輸送管包括: 第一橫管，所述第一橫管的一端連接到所述噴頭； 豎管，所述豎管垂直于所述第一橫管并與所述第一橫管流體聯(lián)通；和 第二橫管，所述第二橫管位于所述臺板下方并且流體聯(lián)通地連接于所述豎管。
4.如權利要求3所述的清洗裝置，其特征在于，所述豎管包括空心段和實心段，所述空心段和所述實心段連續(xù)直線延伸，所述第一橫管和所述第二橫管均連接在所述豎管的所述空心段上，并且，所述實心段的一端連接所述空心段，所述實心段的另一端連接到所述電機。
5.如權利要求3所述的清洗裝置，其特征在于，所述清洗裝置還包括輸送干燥氣體的氣管，所述氣管通過支架支承在所述第一橫管上。
6.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述承載部分包括承載盤、轉(zhuǎn)軸以及承載盤電機，所述轉(zhuǎn)軸的一端與所述承載盤相連，所述轉(zhuǎn)軸的另一端通過聯(lián)軸器與承載盤電機相連，所述承載盤電機位于所述臺板的下方，所述承載盤設有真空吸附裝置，所述外延片通過所述真空吸附裝置的真空吸附作用固定在所述承載盤上。
7.如權利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述軸承部包括緊固在所述臺板上的軸承座、在軸承座內(nèi)部分別置于軸承座上下兩端的上軸承和下軸承以及閉合軸承座的防水蓋，所述液體輸送管穿過防水蓋并由所述上軸承和所述下軸承轉(zhuǎn)動支承。
8.如權利要求7所述的清洗裝置，其特征在于，所述液體輸送管上設有卡簧槽用以安裝軸卡簧，所述軸承座的內(nèi)壁上有兩個卡簧槽分別用以安裝第一孔卡簧和第二孔卡簧，所述軸卡簧和所述第一孔卡簧固定所述上軸承的軸向位置，所述第二孔卡簧和所述臺板固定所述下軸承的軸向位置。
9.如權利要求7所述的清洗裝置，其特征在于，所述防水蓋的外周設有突邊，所述軸承座的上端設有臺階部，所述防水蓋的所述突邊與所述軸承座的所述臺階部相配合。
10.如權利要求7所述的清洗裝置，其特征在于，所述軸承座的與所述臺板接觸的底部設有密封圈槽，密封圈設置在所述密封圈槽中。
【專利摘要】本實用新型提供了一種外延片清洗裝置，外延片清洗裝置包括轉(zhuǎn)動操作的清洗部分和轉(zhuǎn)動操作的承載部分，清洗部分和承載部分固定在臺板上，其中，清洗部分包括：噴頭，噴頭位于承載部分的上方；液體輸送管，液體輸送管具有進口端和出口端，出口端與噴頭相連，軸承部，軸承部支承液體輸送管；以及電機，電機設置在臺板下方驅(qū)動液體輸送管作往復擺動。采用根據(jù)本實用新型的清洗裝置，外延片清洗裝置可以高效地、全面地對經(jīng)磨邊處理的外延片進行清洗。
【IPC分類】H01L21-67
【公開號】CN204332926
【申請?zhí)枴緾N201520051801
【發(fā)明人】丁云鑫, 徐小明, 劉俊卿, 周永君, 李東昇
【申請人】杭州士蘭明芯科技有限公司
【公開日】2015年5月13日
【申請日】2015年1月26日