接于一驅動缸8的活塞桿上，驅動缸8可以為氣缸，也可以為液壓油缸，本實施例具體采用液壓油缸，當液壓油缸的活塞桿處于伸出狀態(tài)下，則第三輸送帶5為水平設置，這時位于第三輸送帶5上的硅片可以被正常輸送，當活塞桿處于縮回狀態(tài)時，則第三輸送帶5為傾斜設置，這時位于第三輸送帶5上的硅片則滑至所述第三輸送帶5的從動軸的一端的下方設置的廢硅片收納盒7內。所述第三輸送帶5和第四輸送帶6串連設置，即所述第三輸送帶5和第四輸送帶6接續(xù)對硅片進行輸送。
[0028]所述硅片分片機構的第二輸送帶2與所述硅片輸送機構對接，即第二輸送帶2上的硅片輸送至硅片輸送機構的第四輸送帶6上。所述吹氣口通過管路與一供氣裝置連通，該供氣裝置可以為鼓風機。所述第一輸送帶傾斜設置。所述儲片盒內容納有水。所述第四輸送帶水平設置。所述廢硅片收納盒內容納有水。
[0029]為了防止硅片在硅片輸送機構上跑偏而對不準硅片承載盒，在硅片輸送機構，特別是第四輸送帶的兩側設置限位板9，使硅片在兩限位板9之間移動，為了調整兩限位板9之間的距離，將限位板9固定在驅動氣缸10的氣缸桿上，這樣兩限位板9之間的距離可以方便地調整。
[0030]所述空載硅片承載盒輸送帶11和負載硅片承載盒輸送帶12平行且間隔設置，所述硅片供片裝置設于所述空載硅片承載盒輸送帶11和負載硅片承載盒輸送帶12之間。
[0031]空載硅片承載盒輸送帶11用來運輸空載的硅片承載盒13?？蛰d硅片承載盒輸送帶11、負載硅片承載盒輸送帶12和硅片供片裝置的共同的端部設有硅片承載盒轉移裝置，當空載硅片承載盒輸送帶11將硅片承載盒13運送至末端后，硅片承載盒轉移裝置將硅片承載轉移并對準硅片供片裝置的輸送末端設置，這樣硅片供片裝置可以將硅片插至硅片承載盒13內，當硅片承載盒13插滿后，再由硅片承載盒轉移裝置將負載的硅片承載盒13移至負載硅片承載盒輸送帶12上運走。
[0032]第一輸送帶I的驅動軸和第二輸送帶的驅動軸與同一個驅動電機3驅動連接，驅動連接具體采用帶傳動的方式。硅片上下移動驅動裝置可以為絲杠螺母機構，堆垛的硅片放置在一平臺上，該平臺下作用有絲杠螺母機構，該絲杠螺母機構由步進電機驅動。第一輸送帶共有兩端，位于第二輸送帶上方的一端稱之為第一端，位于儲片盒上方的一端稱之為弟~*立而O
[0033]工作方法:向儲片盒內充水，也可以采用其它種類的液體替代水，但是以不損害和不影響硅片的后續(xù)加工為宜。然后將堆垛的硅片放置在儲片盒內的硅片上下移動驅動裝置的平臺上，然后啟動硅片上下移動驅動裝置即步進電機，使硅片上移直至堆垛的硅片的頂層的第一片硅片接觸到第一輸送帶I的第二端的下側面，然后啟動驅動電機以驅動第一輸送帶I和第二輸送帶2轉動。當硅片接觸到第一輸送帶的第二端的下側面時，由于第一輸送帶的轉動，且硅片的表面存在有水，因此硅片的一端利用水的粘結力和第一輸送帶轉動的慣性而吸附固定在第一輸送帶的下表面，這樣與第一輸送帶接觸的硅片與其下的硅片之間會產(chǎn)生縫隙，吹氣口則朝著縫隙吹氣，使與第一輸送帶接觸的硅片與其下的硅片徹底分開，分開后的硅片利用第一輸送帶的轉動的慣性和水的粘結力，硅片由第一輸送帶的第二端向輸送帶的一端移動，該移動是在第一輸送帶的下側面進行。當移動到第一輸送帶的第一端端部時，則落至第二輸送帶上表面，由第二輸送帶將硅片送出以實現(xiàn)分片操作。
[0034]第二輸送帶將硅片輸送至第一個第四輸送帶上，第四輸送帶的上方設置硅片檢測設備，即設置一個鏡頭，通過拍攝硅片的照片與控制系統(tǒng)的硅片進行對比，當硅片不合格時，控制系統(tǒng)發(fā)出指令，驅動缸的活塞桿縮回，不合格的硅片從第三輸送帶上滑至廢硅片收納盒內，由于廢硅片收納盒內容納有水，因此廢硅片不會再次被摔碎。
[0035]上述實施例只為說明本實用新型的技術構思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術的人士能夠了解本實用新型的內容并據(jù)以實施，并不能以此限制本實用新型的保護范圍。凡根據(jù)本實用新型精神實質所作的等效變化或修飾，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種硅片插片機，其特征在于:包括空載硅片承載盒輸送帶、負載硅片承載盒輸送帶和硅片供片裝置，所述硅片供片裝置包括硅片分片機構、硅片輸送機構和硅片位置校正裝置；所述硅片分片機構包括第一輸送帶、第二輸送帶、儲片盒和吹氣口 ；所述第一輸送帶與第二輸送帶上下間隔設置，所述第一輸送帶位于所述第二輸送帶的上方，且所述第一輸送帶的第一端的投影位于所述第二輸送帶上，所述儲片盒對應所述第一輸送帶的第二端設置，所述儲片盒內設有硅片上下移動驅動裝置；所述吹氣口位于所述第一輸送帶的下方，吹氣方向朝向所述儲片盒設置；所述硅片輸送機構包括至少一個第三輸送帶和至少一個第四輸送帶；所述第三輸送帶的從動軸鉸接于一驅動缸的活塞桿上，所述第三輸送帶的從動軸的一端的下方設有廢硅片收納盒；所述第三輸送帶和第四輸送帶串連設置；所述硅片分片機構的第二輸送帶與所述硅片輸送機構對接；所述硅片輸送機構的兩側設有硅片位置校正裝置；所述空載硅片承載盒輸送帶和負載硅片承載盒輸送帶平行且間隔設置，所述硅片供片裝置設于所述空載硅片承載盒輸送帶和負載硅片承載盒輸送帶之間。
2.根據(jù)權利要求1所述的硅片插片機，其特征在于:所述吹氣口通過管路與一供氣裝置連通。
3.根據(jù)權利要求1所述的硅片插片機，其特征在于:所述第一輸送帶傾斜設置。
4.根據(jù)權利要求1所述的硅片插片機，其特征在于:所述儲片盒內容納有水。
5.根據(jù)權利要求1所述的硅片插片機，其特征在于:所述第四輸送帶水平設置。
6.根據(jù)權利要求1所述的硅片插片機，其特征在于:所述廢硅片收納盒內容納有水。
7.根據(jù)權利要求1所述的硅片插片機，其特征在于:所述硅片位置校正裝置設于第四輸送帶兩側。
8.根據(jù)權利要求1所述的硅片插片機，其特征在于:所述硅片位置校正裝置包括兩間隔并平行設立的限位板，每個限位板作用有驅動氣缸。
【專利摘要】硅片插片機，包括空載硅片承載盒輸送帶、負載硅片承載盒輸送帶和硅片供片裝置，所述硅片供片裝置包括硅片分片機構、硅片輸送機構和硅片位置校正裝置。所述硅片輸送機構包括至少一個第三輸送帶和至少一個第四輸送帶。所述硅片分片機構的第二輸送帶與所述硅片輸送機構對接；所述硅片輸送機構的兩側設有硅片位置校正裝置；所述空載硅片承載盒輸送帶和負載硅片承載盒輸送帶平行且間隔設置，所述硅片供片裝置設于所述空載硅片承載盒輸送帶和負載硅片承載盒輸送帶之間。本實用新型的結構包括空載硅片承載盒輸送帶、負載硅片承載盒輸送帶和硅片供片裝置，三者組合實現(xiàn)硅片自動化裝硅片承載盒過程，具有生產(chǎn)效率高的優(yōu)點。
【IPC分類】H01L21-677, H01L31-18
【公開號】CN204375784
【申請?zhí)枴緾N201520107801
【發(fā)明人】邱文良
【申請人】蘇州博陽能源設備有限公司
【公開日】2015年6月3日
【申請日】2015年2月13日