與晶圓其余部分的切痕拉斷。
[0031]在與晶圓形狀相適應(yīng)的支撐臺(tái)上開設(shè)一個(gè)或多個(gè)與晶圓裂痕相適應(yīng)的第一凹槽，可避免第一凹槽與繃膜框發(fā)生碰撞，無需在晶圓裂片前將晶圓轉(zhuǎn)移至更大內(nèi)徑的繃膜框上，工藝得到簡(jiǎn)化，生產(chǎn)效率提高。同時(shí)節(jié)省了粘附晶圓用薄膜的使用量，生產(chǎn)成本降低。
[0032]當(dāng)晶圓上需斷裂的裂痕未落入第一凹槽的對(duì)應(yīng)區(qū)域內(nèi)，可通過水平移動(dòng)支撐臺(tái)，調(diào)整支撐臺(tái)上的第一凹槽的位置，從而使晶圓上需斷裂的塊狀晶圓落入第一凹槽的對(duì)應(yīng)區(qū)域內(nèi)。
[0033]本實(shí)用新型在第一凹槽的一側(cè)增設(shè)第二凹槽。在對(duì)第一凹槽抽真空的同時(shí)，也對(duì)一側(cè)的第二凹槽抽真空，使第二凹槽呈負(fù)壓。利用第二凹槽的吸附固定住晶圓，再利用第一凹槽吸附需要分離的晶圓，可提高裂片的成功率及效率。晶圓上的每一個(gè)裂痕均可對(duì)應(yīng)一個(gè)第一凹槽，可通過對(duì)所有第一凹槽同時(shí)抽真空，使晶圓上的裂痕同時(shí)斷裂。大大縮短了裂片所需時(shí)間，提高了裂片效率。
[0034]通過升降支撐臺(tái)，使支撐臺(tái)與處在不同作業(yè)高度的晶圓配合進(jìn)行裂片。
[0035]本實(shí)用新型通過抽真空處理形成壓差，使晶圓斷裂，沖擊力較劈刀更容易控制，裂片的穩(wěn)定性、精準(zhǔn)度都大大提高，有效避免晶圓發(fā)生崩裂損失的情況，使裂片的良品率提尚O
【附圖說明】
[0036]圖1為承載有晶圓的晶圓承載框的結(jié)構(gòu)主視圖；
[0037]圖2為承載有晶圓的晶圓承載框的結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0038]圖3為傳動(dòng)裂片機(jī)使用示意圖；
[0039]圖4為傳動(dòng)裂片機(jī)缺陷示意圖；
[0040]圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例1中的晶圓轉(zhuǎn)移裝置的俯角主視圖；
[0041 ] 圖6為將圖5中的晶圓固定裝置隱藏后的俯視主視圖；
[0042]圖7為圖6的仰角主視圖；
[0043]圖8為圖6的側(cè)視圖；
[0044]圖9為本實(shí)用新型實(shí)施例1中的支撐臺(tái)的剖視圖；
[0045]圖10為圖9中的I放大圖；
[0046]圖11為本實(shí)用新型實(shí)施例1中的第一底座上的結(jié)構(gòu)主視圖；
[0047]圖12為本實(shí)用新型實(shí)施例1中的第二底座上的結(jié)構(gòu)主視圖；
[0048]圖13為本實(shí)用新型實(shí)施例1中的第一底座轉(zhuǎn)動(dòng)的原理示意圖；圖14為本實(shí)用新型實(shí)施例1中的第一底座升降的原理示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0049]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)的描述:
[0050]如圖5-13所示，晶圓裂片裝置包括支撐臺(tái)I。優(yōu)選支撐臺(tái)I的形狀與待裂片的晶圓形狀相適應(yīng)。支撐臺(tái)I開設(shè)有多個(gè)第一凹槽11和多個(gè)第二凹槽12。每個(gè)第一凹槽11和每個(gè)第二凹槽12均與通過抽真空管13與抽真空裝置(圖中未示出)連通。通過每個(gè)抽真空管13可獨(dú)立地進(jìn)行抽真空處理。第一凹槽11和第二凹槽12呈條狀，且第一凹槽11的寬度大于第二凹槽12的寬度。作為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，第一凹槽11數(shù)目與第二凹槽12數(shù)目相同。每個(gè)第二凹槽12位于其中一個(gè)第一凹槽11的一側(cè)。第一凹槽11的長(zhǎng)度與晶圓上的裂痕的長(zhǎng)度相適應(yīng)。第一凹槽11的槽底向下彎曲，呈弧形。(如圖9和10所示)晶圓裂片裝置還包括晶圓固定裝置20。晶圓固定裝置20用于夾持繃膜框01，從而將晶圓03固定在支撐臺(tái)I的上方。
[0051]晶圓裂片裝置還包括第一底座2。支撐臺(tái)I可水平移動(dòng)地設(shè)置在第一底座2上。晶圓裂片裝置還包括第一驅(qū)動(dòng)裝置，第一驅(qū)動(dòng)裝置為第一電機(jī)31。第一電機(jī)31設(shè)置在第一底座2上，通過第一傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)支撐臺(tái)I水平往復(fù)移動(dòng)。第一傳動(dòng)裝置為絲杠螺母，絲杠螺母包括螺紋配合的螺母41和第一絲桿42。第一絲桿42通過兩個(gè)間隔設(shè)置的絲桿支架43可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在第一底座2上。螺母41套設(shè)在第一絲桿42上，并與支撐臺(tái)I連接。第一電機(jī)31通過第一傳動(dòng)帶44驅(qū)動(dòng)第一絲桿42轉(zhuǎn)動(dòng)，從而驅(qū)動(dòng)螺母41沿第一絲桿42移動(dòng)。螺母41移動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)支撐臺(tái)I水平移動(dòng)。
[0052]第一底座2上還包設(shè)置第一導(dǎo)向裝置，第一導(dǎo)向裝置包括相配合的導(dǎo)軌61和滑塊62。導(dǎo)軌61設(shè)置在第一底座2上，滑塊62設(shè)置在導(dǎo)軌61上并可沿導(dǎo)軌61滑動(dòng)。螺母41或支撐臺(tái)I與滑塊62連接。第一導(dǎo)向裝置可防止支撐臺(tái)I歪斜，確保支撐臺(tái)I移動(dòng)時(shí)的穩(wěn)定。
[0053]本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例還包括第一位置檢測(cè)裝置和控制主機(jī)(圖中未示出)。第一位置檢測(cè)裝置用于檢測(cè)支撐臺(tái)I的位置，并向控制主機(jī)發(fā)送信號(hào)?？刂浦鳈C(jī)控制第一電機(jī)31工作，并根據(jù)第一位置檢測(cè)裝置的信號(hào)決定第一電機(jī)31啟動(dòng)和停止。
[0054]第一位置檢測(cè)裝置包括第一接近開關(guān)71和第一凸片72。第一凸72安裝在螺母42上，與支撐臺(tái)I同步移動(dòng)。第一接近開關(guān)71位于第一凸片72的行進(jìn)路線上。第一接近開關(guān)71根據(jù)第一凸片72是否位于第一接近開關(guān)71的檢測(cè)范圍內(nèi)，向控制主機(jī)發(fā)出不同的信號(hào)。控制主機(jī)根據(jù)第一接近開關(guān)71的信號(hào)不同，決定第一電機(jī)31的工作。第一凸片72位于第一接近開關(guān)71的檢測(cè)范圍內(nèi)，第一接近開關(guān)71向控制主機(jī)發(fā)出一種信號(hào)，控制主機(jī)根據(jù)該種信號(hào)控制第一電機(jī)31繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)螺母移動(dòng)。第一凸片7位于第一接近開關(guān)71的檢測(cè)范圍的臨界點(diǎn)或超出第一接近開關(guān)71的檢測(cè)范圍時(shí)，第一接近開關(guān)71向控制主機(jī)發(fā)出另一種信號(hào)或者無信號(hào)，控制主機(jī)根據(jù)該狀況控制第一電機(jī)31反轉(zhuǎn)，驅(qū)動(dòng)螺母42反向移動(dòng)。
[0055]晶圓裂片裝置還包括第二底座8。第一底座2上安裝有轉(zhuǎn)軸21。轉(zhuǎn)軸21可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在第二底座6上。第二底座2上安裝有第二驅(qū)動(dòng)裝置。第二驅(qū)動(dòng)裝置為第二電機(jī)32。如圖13所示，第二電機(jī)32通過電機(jī)支架321安裝在第二底座8上。轉(zhuǎn)軸21貫穿電機(jī)支架321后通過第二傳動(dòng)裝置與第二電機(jī)32的動(dòng)力輸出軸傳動(dòng)連接。第二電機(jī)32通過第二傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸21轉(zhuǎn)動(dòng)，從而驅(qū)動(dòng)第一底座2和支撐臺(tái)I轉(zhuǎn)動(dòng)。第二傳動(dòng)裝置包括第二傳動(dòng)帶45。第二傳動(dòng)帶45繞在第二電機(jī)32的動(dòng)力輸出軸和轉(zhuǎn)軸21上。
[0056]本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例中，還包括第二導(dǎo)向裝置，第二導(dǎo)向裝置包括相配合的導(dǎo)向桿63和弧形槽64。導(dǎo)向桿63安裝于第一底座2上，弧形槽64設(shè)置于第二底座8上。導(dǎo)向桿63插置于弧形槽64內(nèi)，并可沿弧形槽64移動(dòng)，用于限制第一底座2的轉(zhuǎn)動(dòng)軌跡。更優(yōu)選地是，弧形槽64為通槽，導(dǎo)向桿63穿過弧形槽64。
[0057]第二底座2上還設(shè)置有第二位置檢測(cè)裝置。第二位置檢測(cè)裝置用于檢測(cè)支撐臺(tái)2的轉(zhuǎn)動(dòng)角度，并向控制主機(jī)發(fā)送信號(hào)。控制主機(jī)控制所述第二電機(jī)32工作，并根據(jù)第二位置檢測(cè)裝置的信號(hào)決定第二電機(jī)32的停止或啟動(dòng)。第二位置檢測(cè)裝置包括第二凸片73和兩個(gè)第二接近開關(guān)74。第二凸片73與支撐臺(tái)I同步轉(zhuǎn)動(dòng)。第二接近開關(guān)74間隔設(shè)置，位于第二凸片73的移動(dòng)路徑上。第二接近開關(guān)74根據(jù)第二凸片73是否位于第二接近開關(guān)74的檢查范圍內(nèi)發(fā)送不同的信號(hào)?？刂浦鳈C(jī)根據(jù)第二接近開關(guān)74的信號(hào)不同，決定第二電機(jī)32是否工作及工作方向。第二凸片73移動(dòng)至第二接近開關(guān)74的檢查范圍內(nèi)，第二接近開關(guān)74發(fā)送信號(hào)至控制主機(jī)，控制主機(jī)控制第二電機(jī)32停止工作，或控制第二電機(jī)32反轉(zhuǎn)，驅(qū)動(dòng)支撐臺(tái)I反轉(zhuǎn)。
[0058]控制主機(jī)控制第二電機(jī)32停止工作后，第一底座2會(huì)因慣性而存在繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)的趨勢(shì)，故可通過限位裝置進(jìn)一步限制第一底座2的轉(zhuǎn)動(dòng)角度，從而阻止支撐臺(tái)2繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)。限位裝置包括同步板9，同步板9 一端為弧形。同步板9弧形的一端安裝于轉(zhuǎn)軸21上，同步板9隨轉(zhuǎn)軸21轉(zhuǎn)動(dòng)。第二凸片73安裝于同步板9弧形的一端。第二底座8上安裝有兩個(gè)止動(dòng)塊81。兩個(gè)止動(dòng)塊81間隔設(shè)置，位于同步板9另一端的轉(zhuǎn)動(dòng)路線上，用于阻止同步板9轉(zhuǎn)動(dòng)，從而阻止轉(zhuǎn)軸21轉(zhuǎn)動(dòng)。止動(dòng)塊81為柔性材料制成，可防止撞擊磨損。還包括套筒91。套筒91的兩端分別與第一底座2和同步板9連接。導(dǎo)向桿63貫穿套筒91。套筒91對(duì)第一底座2具有一定的支撐作用，使第一底座2上的一部分重量從轉(zhuǎn)軸21轉(zhuǎn)移至套筒91，提高了第一底座2和支撐臺(tái)I轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的穩(wěn)定性。
[0059]晶圓裂片裝置還包括第三驅(qū)動(dòng)裝置，第三驅(qū)動(dòng)裝置為第三電機(jī)33。如圖7和圖14所示，第三電機(jī)33安裝在轉(zhuǎn)軸21的端部，與轉(zhuǎn)軸21同步轉(zhuǎn)動(dòng)。第三電機(jī)33通過第三傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)支撐臺(tái)I升降。第三傳動(dòng)裝置包括螺紋配合的第二絲桿46和螺紋套筒47。螺紋套筒47的一端與第一底座2連接，轉(zhuǎn)軸21套設(shè)在螺紋套筒47外，通過軸向的滑槽和凸塊連接。當(dāng)轉(zhuǎn)軸21在第三電機(jī)33的驅(qū)動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，通過滑槽和凸塊的配合帶動(dòng)螺紋套筒47同步轉(zhuǎn)動(dòng)，通過螺紋套筒47的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)第一底座2轉(zhuǎn)動(dòng)。第三電機(jī)33通過第三傳動(dòng)帶48驅(qū)動(dòng)第二絲桿46轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)螺