制備太陽(yáng)能電池的干濕氧氣供應(yīng)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型有關(guān)于一種制備太陽(yáng)能電池的干濕氧氣供應(yīng)裝置，尤其是指一種能提供干、濕氧氣至擴(kuò)散爐管中的干濕氧氣供應(yīng)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]伴隨著人類科技與文明的發(fā)展，地球上如石油、天然氣、煤等能源因?yàn)楸淮罅渴褂茫磳⑾ТM，同時(shí)也讓溫室效應(yīng)日益嚴(yán)重，各地氣候也產(chǎn)生劇烈變迀，造成生活環(huán)境面臨超乎預(yù)期的危害。而國(guó)際間有因?yàn)槿绱硕_始重視各項(xiàng)環(huán)保議題，同時(shí)并積極尋找開發(fā)新的替代能源。常見(jiàn)的具環(huán)保的替代能源為:風(fēng)力發(fā)電、水力發(fā)電、太陽(yáng)能發(fā)電。
[0003]由于太陽(yáng)的能量是取之不盡、用之不竭，因此若能夠有效運(yùn)用太陽(yáng)能，則不僅能解決消耗性能源的問(wèn)題，環(huán)保問(wèn)題也能同時(shí)獲得改善。太陽(yáng)能，主要是利用太陽(yáng)能電池吸收太陽(yáng)光能后，再直接將之轉(zhuǎn)換成電能，以供需求端應(yīng)用。且拜科技之賜，太陽(yáng)能系統(tǒng)的壽命從5?10年，至今已可達(dá)25年以上，因此隨著技術(shù)的成熟，太陽(yáng)能電池的需求也成數(shù)倍成長(zhǎng)，尤其到了 2005年后，在德國(guó)等環(huán)保先進(jìn)國(guó)家制定新建筑法規(guī)的因素下，太陽(yáng)能電池的需求量大增，甚至在2011年的福島核災(zāi)后，各國(guó)鑒于核能的使用可能帶來(lái)嚴(yán)重的生存威脅，更進(jìn)一步推波全球太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展。
[0004]太陽(yáng)能電池的制作流程為:先將晶片清洗，再進(jìn)行粗糙化刻蝕，以增加光的有效路徑，提高太陽(yáng)光的吸收率，接著使用POCl3(三氯氧化磷)再加上氧氣和氮?dú)庠跀U(kuò)散爐管中進(jìn)行擴(kuò)散以在基板上形成p-n接面，然后用氫氟酸來(lái)去除掉擴(kuò)散工藝中所產(chǎn)生的二氧化硅層(S12),然后進(jìn)行抗反射膜制作，以增加太陽(yáng)能電池的光吸收，進(jìn)而提高太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率，最后再制作電極，如此即完成太陽(yáng)能電池的制作。
[0005]然而，傳統(tǒng)太陽(yáng)能電池在擴(kuò)散工藝中，僅單純輸入干燥氧氣與POCl3 (三氯氧化磷)作用，以致于在使POCl3 (三氯氧化磷)轉(zhuǎn)換為P (磷)的化學(xué)反應(yīng)速率慢，且P (磷)形成的電阻值不高，同時(shí)副產(chǎn)物形成的氧化層及PSG(磷硅玻璃)較為堅(jiān)實(shí)，而不易于在后續(xù)工藝中予以移除。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]本實(shí)用新型的主要目的是提供一種制備太陽(yáng)能電池的干濕氧氣供應(yīng)裝置，是通過(guò)供應(yīng)干、濕氧氣給擴(kuò)散爐管，能加快擴(kuò)散爐管中進(jìn)行POCL3 (三氯氧化磷)轉(zhuǎn)換為P (磷)的化學(xué)反應(yīng)速率，并提高P (磷)形成的電阻值，且能在表面形成氧化層以去除表面缺陷，同時(shí)副產(chǎn)物形成的氧化層及PSG(磷硅玻璃)較為松散，易于在后續(xù)工藝中予以移除。
[0007]上述本實(shí)用新型的主要目的與功效，是由以下的具體技術(shù)手段所達(dá)成:
[0008]一種制備太陽(yáng)能電池的干濕氧氣供應(yīng)裝置，包括一干、濕氧氣供應(yīng)控制單元、一蒸氣加熱控制單元與一保溫輸送單元；其中:
[0009]所述干、濕氧氣供應(yīng)控制單元，分為干氧氣供應(yīng)控制部與濕氧氣供應(yīng)控制部，所述干氧氣供應(yīng)控制部與所述濕氧氣供應(yīng)控制部均是作為氧氣供應(yīng)流量與供應(yīng)時(shí)機(jī)的控制，所述干氧氣供應(yīng)控制部和所述擴(kuò)散爐管連接；
[0010]所述蒸氣加熱控制單元，包括一加熱器、一容器、一溫度感應(yīng)器與一加熱控制器，所述濕氧氣供應(yīng)控制部與所述容器連接，以輸入氧氣到裝有水的容器內(nèi)，所述加熱器與所述加熱控制器耦合，所述溫度感應(yīng)器與所述加熱控制器耦合，所述加熱器對(duì)所述容器內(nèi)的水加熱以產(chǎn)生水蒸氣與輸入所述容器內(nèi)的氧氣結(jié)合，所述溫度感應(yīng)器設(shè)于所述容器，以檢測(cè)所述容器內(nèi)的水蒸氣溫度，所述溫度感應(yīng)器并將感應(yīng)溫度回傳所述加熱控制器，所述加熱控制器根據(jù)所述回傳的感應(yīng)溫度高于或低于一預(yù)設(shè)值控制所述加熱器關(guān)閉加熱或啟動(dòng)加熱，所述容器具有濕氧氣輸出口 ；
[0011]所述保溫輸送單元，沿著一輸送管路設(shè)置一保溫元件，所述保溫元件與一外部加熱控制器耦合，所述輸送管路的兩端分別銜接所述容器的濕氧氣輸出口與所述擴(kuò)散爐管，所述外部加熱控制器能控制所述保溫元件的保溫溫度，使進(jìn)入所述輸送管路的結(jié)合氧氣的水蒸氣維持在氣態(tài)狀態(tài)。
[0012]如上所述的制備太陽(yáng)能電池的干濕氧氣供應(yīng)裝置，其中，所述干氧氣供應(yīng)控制部包括一氧氣流量控制器與一開關(guān)閥門，以所述氧氣流量控制器控制氧氣輸入所述擴(kuò)散爐管的流量，并由所述開關(guān)閥門控制氧氣輸入所述擴(kuò)散爐管的時(shí)機(jī)。
[0013]如上所述的制備太陽(yáng)能電池的干濕氧氣供應(yīng)裝置，其中，所述濕氧氣供應(yīng)控制部包括一氧氣流量控制器與一開關(guān)閥門，是以所述氧氣流量控制器控制氧氣輸入所述容器內(nèi)的流量，并由所述開關(guān)閥門控制氧氣輸入所述容器內(nèi)的時(shí)機(jī)。
【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1為本實(shí)用新型制備太陽(yáng)能電池的干濕氧氣供應(yīng)裝置的架構(gòu)示意圖。
[0015]主要元件符號(hào)說(shuō)明:
[0016]I 干、濕氧氣供應(yīng)控制單元11干氧氣供應(yīng)控制部
[0017]111氧氣流量控制器112開關(guān)閥門
[0018]12濕氧氣供應(yīng)控制部121氧氣流量控制器
[0019]122開關(guān)閥門2 蒸氣加熱控制單元
[0020]21加熱器22容器
[0021]221濕氧氣輸出口23溫度感應(yīng)器
[0022]24加熱控制器3 保溫輸送單元
[0023]31輸送管路32保溫元件
[0024]33外部加熱控制器4 擴(kuò)散爐管
【具體實(shí)施方式】
[0025]為令本實(shí)用新型所運(yùn)用的技術(shù)內(nèi)容、實(shí)用新型目的及其達(dá)成的功效有更完整且清楚的揭露，茲于下詳細(xì)說(shuō)明之，并請(qǐng)一并參閱所揭的圖式及圖號(hào)。
[0026]請(qǐng)參看圖1所示，其是本實(shí)用新型的制備太陽(yáng)能電池的干濕氧氣供應(yīng)裝置的架構(gòu)示意圖。
[0027]本實(shí)用新型的制備太陽(yáng)能電池的干濕氧氣供應(yīng)裝置，包括一干、濕氧氣供應(yīng)控制單元1、一蒸氣加熱控制單元2與一保溫輸送單元3 ;其中:
[0028]干、濕氧氣供應(yīng)控制單元I分為干氧氣供應(yīng)控制部11與濕氧氣供應(yīng)控制部12，干氧氣供應(yīng)控制部11與濕氧氣供應(yīng)控制部12主要作為控制氧氣供應(yīng)流量與供應(yīng)時(shí)機(jī)之用，干氧氣供應(yīng)控制部11連接至擴(kuò)散爐管4 ;
[0029]蒸氣加熱控制單元2包括一加熱器21、一容器