22、一溫度感應(yīng)器23與一加熱控制器24，濕氧氣供應(yīng)控制部12與容器22連接，以輸入氧氣到裝有水的容器22內(nèi)，加熱器21與加熱控制器24耦合，溫度感應(yīng)器23與加熱控制器24耦合，利用加熱器21對容器22內(nèi)的水加熱并因此產(chǎn)生水蒸氣，而產(chǎn)生的水蒸氣會與輸入容器22內(nèi)的氧氣結(jié)合再輸出，溫度感應(yīng)器23設(shè)于容器22，作為檢測容器22內(nèi)的水蒸氣溫度之用，溫度感應(yīng)器23并將感應(yīng)得知的溫度回傳加熱控制器24，令加熱控制器24根據(jù)回傳的感應(yīng)溫度高于或低于一預(yù)設(shè)值進(jìn)而控制加熱器21關(guān)閉加熱或啟動加熱，容器22具有濕氧氣輸出口 221，以輸出與水蒸氣結(jié)合的氧氣；
[0030]保溫輸送單元3是沿著一輸送管路31設(shè)置保溫元件32，保溫元件32并與外部加熱控制器33耦合，而且輸送管路31的兩端分別銜接容器22的濕氧氣輸出口 221與擴散爐管4，外部加熱控制器33是控制保溫元件32的保溫溫度，使與氧氣相互結(jié)合的水蒸氣進(jìn)入輸送管路31內(nèi)后，仍然維持在氣態(tài)狀態(tài)不致于凝結(jié)成水。
[0031]在本實用新型的制備太陽能電池的干濕氧氣供應(yīng)裝置的較佳實施例中，干氧氣供應(yīng)控制部11包括一氧氣流量控制器111與一開關(guān)閥門112，是以氧氣流量控制器111控制氧氣輸入擴散爐管4的流量，并由開關(guān)閥門112控制氧氣輸入擴散爐管4的時機。
[0032]在本實用新型的制備太陽能電池的干濕氧氣供應(yīng)裝置的另一較佳實施例中，濕氧氣供應(yīng)控制部12也同樣包括一氧氣流量控制器121與一開關(guān)閥門122，是以氧氣流量控制器121控制氧氣輸入容器22內(nèi)的流量，并由開關(guān)閥門122控制氧氣輸入容器22內(nèi)的時機。
[0033]據(jù)此，當(dāng)欲進(jìn)行擴散工藝時，分別以干氧氣供應(yīng)控制部11的氧氣流量控制器111與濕氧氣供應(yīng)控制部12的氧氣流量控制器121控制氧氣輸入本裝置的流量，接著再分別打開干氧氣供應(yīng)控制部11的開關(guān)閥門112與濕氧氣供應(yīng)控制部12的開關(guān)閥門122，使經(jīng)過干氧氣供應(yīng)控制部11輸出的氧氣為干燥氧氣，并接著輸入擴散爐管4中，而經(jīng)過濕氧氣供應(yīng)控制部12輸出的氧氣會再進(jìn)入容器22內(nèi)，并與容器22內(nèi)的水蒸氣結(jié)合形成濕氧氣，其中水蒸氣的產(chǎn)生是由加熱器21對內(nèi)部裝有水的容器22加熱煮沸，而加熱煮沸的時機與溫度控制由加熱控制器24所控制，接著濕氧氣由容器22的濕氧氣輸出口 221輸出并進(jìn)入保溫輸送單元3的輸送管路31中，此時外部加熱控制器33會控制保溫元件32持續(xù)進(jìn)行加熱保溫的動作，以避免濕氧氣凝結(jié)成水，最后濕氧氣被送入擴散爐管4并與干燥氧氣及？0(:13再加上氮氣在擴散爐管4中進(jìn)行擴散工藝，以在基板上形成p-n接面。
[0034]本實用新型的制備太陽能電池的干濕氧氣供應(yīng)裝置，通過供應(yīng)干、濕氧氣給擴散爐管4，能加快擴散爐管4中進(jìn)行POCL3 (三氯氧化磷)轉(zhuǎn)換為P (磷)的化學(xué)反應(yīng)速率，并提高P(磷)形成的電阻值，且能在表面形成氧化層以去除表面缺陷，同時副產(chǎn)物形成的氧化層及PSG(磷硅玻璃)較為松散，易于在后續(xù)工藝中予以移除。
[0035]以上所舉者僅是本實用新型的部分實施例，并非用以限制本實用新型，致依本實用新型的創(chuàng)意精神及特征，稍加變化修飾而成者，亦應(yīng)包括在本專利權(quán)利要求之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種制備太陽能電池的干濕氧氣供應(yīng)裝置，其特征在于，包括一干、濕氧氣供應(yīng)控制單元、一蒸氣加熱控制單元與一保溫輸送單元；其中: 所述干、濕氧氣供應(yīng)控制單元，分為干氧氣供應(yīng)控制部與濕氧氣供應(yīng)控制部，所述干氧氣供應(yīng)控制部與所述濕氧氣供應(yīng)控制部均是作為氧氣供應(yīng)流量與供應(yīng)時機的控制，所述干氧氣供應(yīng)控制部和擴散爐管連接； 所述蒸氣加熱控制單元，包括一加熱器、一容器、一溫度感應(yīng)器與一加熱控制器，所述濕氧氣供應(yīng)控制部與所述容器連接，以輸入氧氣到裝有水的容器內(nèi)，所述加熱器與所述加熱控制器耦合，所述溫度感應(yīng)器與所述加熱控制器耦合，所述加熱器對所述容器內(nèi)的水加熱以產(chǎn)生水蒸氣與輸入所述容器內(nèi)的氧氣結(jié)合，所述溫度感應(yīng)器設(shè)于所述容器，以檢測所述容器內(nèi)的水蒸氣溫度，所述溫度感應(yīng)器并將感應(yīng)溫度回傳所述加熱控制器，所述加熱控制器根據(jù)所述回傳的感應(yīng)溫度高于或低于一預(yù)設(shè)值控制所述加熱器關(guān)閉加熱或啟動加熱，所述容器具有濕氧氣輸出口； 所述保溫輸送單元，沿著一輸送管路設(shè)置一保溫元件，所述保溫元件與一外部加熱控制器耦合，所述輸送管路的兩端分別銜接所述容器的濕氧氣輸出口與所述擴散爐管，所述外部加熱控制器能控制所述保溫元件的保溫溫度，使進(jìn)入所述輸送管路的結(jié)合氧氣的水蒸氣維持在氣態(tài)狀態(tài)。2.如權(quán)利要求1所述的制備太陽能電池的干濕氧氣供應(yīng)裝置，其特征在于，所述干氧氣供應(yīng)控制部包括一氧氣流量控制器與一開關(guān)閥門，以所述氧氣流量控制器控制氧氣輸入所述擴散爐管的流量，并由所述開關(guān)閥門控制氧氣輸入所述擴散爐管的時機。3.如權(quán)利要求1或2所述的制備太陽能電池的干濕氧氣供應(yīng)裝置，其特征在于，所述濕氧氣供應(yīng)控制部包括一氧氣流量控制器與一開關(guān)閥門，以所述氧氣流量控制器控制氧氣輸入所述容器內(nèi)的流量，并由所述開關(guān)閥門控制氧氣輸入所述容器內(nèi)的時機。
【專利摘要】本實用新型關(guān)于一種制備太陽能電池的干濕氧氣供應(yīng)裝置，包括一干、濕氧氣供應(yīng)控制單元、一蒸氣加熱控制單元與一保溫輸送單元；干、濕氧氣供應(yīng)控制單元分為干氧氣供應(yīng)控制部與濕氧氣供應(yīng)控制部，濕氧氣供應(yīng)控制部與蒸氣加熱控制單元連接，蒸氣加熱控制單元再連接保溫輸送單元，保溫輸送單元與干氧氣供應(yīng)控制部則和擴散爐管連接；當(dāng)外接的氧氣供應(yīng)單元將氧氣輸入干、濕氧氣供應(yīng)控制單元后，進(jìn)入干氧氣供應(yīng)控制部的氧氣便會直接被送至擴散爐管，而進(jìn)入濕氧氣供應(yīng)控制部的氧氣則進(jìn)入蒸氣加熱控制單元與水蒸氣結(jié)合，再由保溫輸送單元輸出至擴散爐管，期間并由保溫輸送單元進(jìn)行保溫，避免與氧氣結(jié)合的水蒸氣凝結(jié)成水。通過本裝置輸送干、濕氧氣進(jìn)入擴散爐管協(xié)作轉(zhuǎn)換三氯氧化磷為磷的化學(xué)反應(yīng)速率能夠更為快速。
【IPC分類】H01L31/18
【公開號】CN204668335
【申請?zhí)枴緾N201520293012
【發(fā)明人】段麟生
【申請人】段麟生
【公開日】2015年9月23日
【申請日】2015年5月6日