高產出晶片固著裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種高產出晶片固著裝置，尤指一種能夠同時頂出多個第一工件，并將多個第一工件同時壓合于一第二工件的裝置。
【背景技術】
[0002]頂出、吸取與壓合的步驟系常見于半導體制程中。頂出系利用頂針推頂一晶片(晶粒)，以使晶片與一膜體相互分離。吸取系利用一吸取頭將前述之被推頂的晶片移動至另一位置。壓合系利用一壓合頭將晶片壓合于一基板處。
[0003]然上述頂針、吸取頭或壓合頭系設計僅能頂出一晶片或吸取一晶片，但對于講求效率的半導體產業(yè)而言，僅能頂出單一晶片的頂針、僅能吸取單一晶片的吸取頭或僅能壓合單一晶片的壓合頭，其產能有限。特別是當因晶片厚度很薄或材質脆弱時，頂出需要很長的制程時間，或當晶片需要一定的壓合時間時，習知的方法不論機構的運作的速度如何提升，生產效率依然低落，故需要有一全新的作業(yè)方式，來突破舊有方式的限制，有效提升產會K。

【發(fā)明內容】

[0004]本實用新型目的在于提供一種高產出晶片固著裝置，其系利用同時頂出至少二第一工件，并將該至少二第一工件同于壓合于一第二工件處，藉以達到提升產能的效果。
[0005]為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是:一種高產出晶片固著裝置，其包含有:
[0006]一載臺；
[0007]—多吸放單元，其系位于該載臺的上方；
[0008]一調整臺，其系相鄰于該載臺；
[0009]一承臺，其系相鄰于該調整臺；以及
[0010]一多壓合單元，其系設于該承臺的上方；
[0011]其中，該載臺系供至少二第一工件設置；該多吸放單元系吸取該至少二第一工件，并將該至少二第一工件放置于該調整臺；該承臺系供一第二工件設置；該多壓合單元系進行一旋轉運動，該多壓合單元系吸取位于該調整臺的至少二第一工件，并將該至少二第一工件壓合于該第二工件。
[0012]上述方案中，所述調整臺系調整該至少二第一工件的相對位置，該調整臺具有一位移模塊，以使該調整臺能夠進行一縱向往復運動、一直線往復運動或一橫向往復運動。
[0013]上述方案中，其更具有一翻轉單元，該翻轉單元系位于該調整臺與該多壓合單元之間。
[0014]上述方案中，其更具有一第一視覺定位模塊，該第一視覺定位模塊系位于該多吸放單元的上方。
[0015]上述方案中，其更具有一第二視覺定位模塊，該第二視覺定位模塊系位于該調整臺的上方。
[0016]上述方案中，其更具有一第三視覺定位模塊，該第三視覺定位模塊系位于該承臺與該多壓合單元的上方。
[0017]上述方案中，所述載臺具有一位移模塊，以使該載臺進行一直線往復運動、一橫向往復移動或一旋轉運動；該承臺具有一位移模塊，以使該承臺進行一直線往復運動、一橫向往復移動或一旋轉往附運動。
[0018]上述方案中，其更具有一多頂出單元，該多頂出單元系設于該載臺的下方，該多頂出單元具有至少二頂針，該多頂出單元更具有一位移模塊，以使該多頂出單元系相對于該載臺呈一縱向往復運動、一直線往復運動或一橫向往復運動。
[0019]上述方案中，所述多吸放單元具有一位移模塊，以使該多吸放單元進行一縱向往復移動、一直線往復運動或一橫向往復運動，該多吸放單元具有至少二吸取頭。
[0020]上述方案中，所述多壓合單元具有一位移模塊，以使該多壓合單元進行一縱向往復運動或該旋轉運動，該多壓合單元具有至少二壓合頭。
[0021]綜合上述，本實用新型高產出晶片固著裝置，其系同時頂出多個第一工件，并將所頂出的多個第一工件同時壓合于第二工件處，藉以達到提升產能的效果。為使多壓合單元的效率更高，多壓合單元可采用旋轉多群組的方式進行。
[0022]載臺的第一工件之所以必需由一頂出單元頂出，其系因在半導體制程中，第一工件常為晶片，其黏合在一藍膜上，藍膜黏在一鐵環(huán)上，鐵環(huán)則置放在載臺上，故欲使晶片與藍膜分離，必需有一頂出行為方能達成。
【附圖說明】
[0023]圖1為第一實施例的示意圖；
[0024]圖2為一調整臺調整至少二第一工件之相對位置的示意圖；
[0025]圖3為一調整臺調整至少二第一工件之相對位置之另一示意圖；
[0026]圖4為一多壓合單元進行一旋轉運動的示意圖；
[0027]圖5為第二實施例的示意圖；
[0028]圖6為第一實施例的流程示意圖；
[0029]圖7為第二實施例的流程示意圖；
[0030]圖8為一高產出晶片固著裝置的第三種流程示意圖。
[0031]以上附圖中:10、載臺；100、位移模塊；11、多頂出單元；110、頂針；111、位移模塊；
12、多吸放單元；120、位移模塊；121、吸取頭；13、；調整臺；130、位移模塊；131、調整座；14、承臺；140、位移模塊；141、加熱模塊；15、多壓合單元；150、位移模塊；151、壓合頭；152、加熱模塊；16、第一視覺定位模塊；17、第二視覺定位模塊；18、第三視覺定位模塊；19、翻轉單元；20、第一工件；21、第二工件；S1~S13、步驟。
【具體實施方式】
[0032]下面結合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述:
[0033]實施例一:
[0034]請配合參考第I圖所示，本實施例是一種高產出晶片固著裝置，其具有一載臺10、一多頂出單元11、一多吸放單元12、一調整臺13、一承臺14、一多壓合單元15、一第一視覺定位模塊16、一第二視覺定位模塊17與一第三視覺定位模塊18。
[0035]載臺10具有一位移模塊100，以使載臺10能夠進行一直線往復運動(X軸向往復運動)、一橫向往復移動(Y軸向往復運動)或一旋轉運動。載臺10系能夠供至少二第一工件20設置。該第一工件20為一基板、一晶圓、一晶片或一晶粒。
[0036]多頂出單元11系設于載臺10的下方，多頂出單元11具有至少二頂針110，多頂出單元11更具有一位移模塊111，以使多頂出單元11能夠相對于載臺10呈一縱向往復運動(Z軸向往復運動)、一直線往復運動或一橫向往復運動。頂針110系能夠頂出至少二位于載臺10的第一工件20。然頂針110可以依需要頂出的第一工件20數量，以控制單針或多針同步頂出。
[0037]多吸放單元12系設于載臺10的上方，多吸放單元12具有一位移模塊120，以使多吸放單元12能夠進行一縱向往復移動、一直線往復運動或一橫向往復運動。多吸放單元12具有至少二吸取頭121，多吸放單元12系耦接一真空模塊，以提供一負壓吸力或一正壓推力給吸取頭121，而使各吸取頭121能夠吸放至少二第一工件20。
[0038]調整臺13系相鄰于載臺10，調整臺13具有一位移模塊130，以使調整臺13能夠進行一縱向往復運動、一直線往復運動或一橫向往復運動，調整臺13具有至少二調整座131，各調整座131系能夠進行一直線往復運動或一橫向往復運動。調整座13的功能在于調整其上方的第一工件20的位置，以使二個以上的第一工件20之間的距離符合要置于于第二工件21上的距離，并使位置更加精準。
[0039]承臺14系相鄰于調整臺13，承臺14系供至少一第二工件21設置，該第二工件21為一基板、一膜體、一晶圓、一晶片或一晶粒。承臺14具有一位移模塊140，以使承臺14能夠進行一直線往復運動、一橫向往復運動或一旋轉運動。該承臺14具有一加熱模塊141，該加熱模塊141系用于加熱第二工件21，以使第一工件20易于壓合第二工件21。
[0040]多壓合單元15系設于承臺14的上方，多壓合單元15具有一位移模塊150，以使多壓合單元15能夠進行一縱向往復運動、一橫