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高產出晶片固著裝置的制造方法_3

文檔序號:10283476閱讀:來源:國知局
承臺14的上方;或者具有至少二第一工件20的壓合頭151系轉動至承臺14的上方。
[0065]S9,第三視覺定位模塊18系擷取位于壓合頭151之第一工件20、第二工件21與承臺14之影像信息,該影像信息為一第三影像信息,壓合單元15系接受該第三影像信息,以使壓合頭151能夠將至少二第一工件20壓合于第二工件21。于將第一工件20壓合于第二工件21前,承臺14亦接收第三影像信息,以調整承臺14相對于具有第一工件20之壓合頭151的位置。待壓合完畢后,壓合單元15與承臺14系回復至最初位置,或移至下一個工作位置,以待再次壓合程序。
[0066]請配合參考第8圖所示,一種高產出晶片固著裝置的第三種方法,其步驟包含有:
[0067]S10,多吸放單元12系朝向載臺10方向移動,多吸放單元12系吸取上述之至少二第一工件20,待吸取至少二第一工件20后。并朝向調整臺13方向移動,而將至少二第一工件20放置于調整臺13之調整座131。其系可采用上述之SI與S2或S6之步驟。
[0068]S11,至少二調整座131相對移動,以調整位于至少二調整座131的第一工件20的位置。并使其上的二個以上第一工件20的間隔距離,可以調整為第二工件21上的第一工件20的間距。
[0069]S12,如第4圖所示,多壓合單元15以一旋轉運動方式朝向調整臺13方向移動,壓合頭151系吸取位于調整座131之至少二第一工件20。具有至少二第一工件20之壓合頭151系以一旋轉運動方式移動至承臺14的上方。于本步驟中,其系可采用上述之S8或S4之步驟。
[0070]多壓合單元15系能夠以一旋轉運動方式移動,該旋轉運動方式系能夠使多個壓合頭151能夠依序作業(yè)。進而提升壓合之效率。
[0071]S13,壓合頭151能夠將至少二第一工件20壓合于第二工件21。于本步驟中,其系能夠采用上述S9或S5之步驟。
[0072]上述之第一影像信息、第二影像信息與第三影像信息系用于提升定位的精準性。
[0073]如上所述高產出晶片固著裝置的各實施例,其步驟能夠為:
[0074]多頂出單元11依據該命令,朝向載臺10的方向移動,以將頂出至少二第一工件
20。待頂出至少二第一工件20后,多頂出單元11系回復至最初位置,以待再次頂出至少二第一工件20。此步驟亦能夠省略。
[0075]若省略上述之頂出步驟,多吸放單元12系吸取位于載臺10之至少二第一工件20,待吸取至少二第一工件20后。并朝向調整臺13方向移動,而將至少二第一工件20放置于調整臺13之調整座131。
[0076]至少二調整座131相對移動,以調整位于至少二調整座131之第一工件20的位置。并使其上的二個以上第一工件20的間隔距離,可以調整為第二工件21上的第一工件20的間距。
[0077]多壓合單元15以一旋轉運動方式朝向調整臺13方向移動,壓合頭151系吸取位于調整座131之至少二第一工件20。具有至少二第一工件20之壓合頭151系以一旋轉運動方式移動至承臺14的上方。多壓合單元15更能進一步進行一縱向往復移動、一直線往復運動或一橫向往復運動。該縱向往復移動、該直線往復運動或該橫向往復運動系為一選擇性運動。
[0078]另外,翻轉單元19系吸取位于調整臺13的至少二第一工件20,并將至少二第一工件20轉動一角度。多壓合單元15以一旋轉運動方式移動朝向翻轉單元19移動,以吸取位于翻轉單元19之第一工件20。具有至少二第一工件20之壓合頭151系以一旋轉運動方式移動至移動至承臺14的上方。
[0079]壓合頭151將至少二第一工件20壓合于第二工件21,于壓合前,上述之加熱模塊141、152系分別加熱第二工件21與第一工件20,加熱后的第一工件20與第二工件21系更易于壓合。
[0080]綜合上述,本創(chuàng)作系利用多頂出單元,以頂出至少二位于載臺之第一工件,再利用多吸放單元取放該至少第一工件,并利用多壓合單元將至少二第一工件壓合于位于承臺之第二工件處。
[0081]藉由增加頂出位于載臺之第一工件的數量,以及將多個第一工件同時壓合于第二工件處,而達到提升產能的效果。
[0082]上述實施例只為說明本實用新型的技術構思及特點,其目的在于讓熟悉此項技術的人士能夠了解本實用新型的內容并據以實施,并不能以此限制本實用新型的保護范圍。凡根據本實用新型精神實質所作的等效變化或修飾,都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種高產出晶片固著裝置,其特征在于:其包含有: 一載臺; 一多吸放單元,其系位于該載臺的上方; 一調整臺,其系相鄰于該載臺; 一承臺,其系相鄰于該調整臺;以及 一多壓合單元,其系設于該承臺的上方; 其中,該載臺系供至少二第一工件設置;該多吸放單元系吸取該至少二第一工件,并將該至少二第一工件放置于該調整臺;該承臺系供一第二工件設置;該多壓合單元系進行一旋轉運動,該多壓合單元系吸取位于該調整臺的至少二第一工件,并將該至少二第一工件壓合于該第二工件。2.根據權利要求1所述高產出晶片固著裝置,其特征在于:所述調整臺系調整該至少二第一工件的相對位置,該調整臺具有一位移模塊,以使該調整臺能夠進行一縱向往復運動、一直線往復運動或一橫向往復運動。3.根據權利要求1所述高產出晶片固著裝置,其特征在于:其更具有一翻轉單元,該翻轉單元系位于該調整臺與該多壓合單元之間。4.根據權利要求1所述高產出晶片固著裝置,其特征在于:其更具有一第一視覺定位模塊,該第一視覺定位模塊系位于該多吸放單元的上方。5.根據權利要求1所述高產出晶片固著裝置,其特征在于:其更具有一第二視覺定位模塊,該第二視覺定位模塊系位于該調整臺的上方。6.根據權利要求1所述高產出晶片固著裝置,其特征在于:其更具有一第三視覺定位模塊,該第三視覺定位模塊系位于該承臺與該多壓合單元的上方。7.根據權利要求1所述高產出晶片固著裝置,其特征在于:所述載臺具有一位移模塊,以使該載臺進行一直線往復運動、一橫向往復移動或一旋轉運動;該承臺具有一位移模塊,以使該承臺進行一直線往復運動、一橫向往復移動或一旋轉往附運動。8.根據權利要求1所述高產出晶片固著裝置,其特征在于:其更具有一多頂出單元,該多頂出單元系設于該載臺的下方,該多頂出單元具有至少二頂針,該多頂出單元更具有一位移模塊,以使該多頂出單元系相對于該載臺呈一縱向往復運動、一直線往復運動或一橫向往復運動。9.根據權利要求1所述高產出晶片固著裝置,其特征在于:所述多吸放單元具有一位移模塊,以使該多吸放單元進行一縱向往復移動、一直線往復運動或一橫向往復運動,該多吸放單元具有至少二吸取頭。10.根據權利要求1所述高產出晶片固著裝置,其特征在于:所述多壓合單元具有一位移模塊,以使該多壓合單元進行一縱向往復運動或該旋轉運動,該多壓合單元具有至少二壓合頭。
【專利摘要】一種高產出晶片固著裝置,其包含有:一載臺;一多吸放單元,其系位于該載臺的上方;一調整臺,其系相鄰于該載臺;一承臺,其系相鄰于該調整臺;以及一多壓合單元,其系設于該承臺的上方;其中,該載臺系供至少二第一工件設置;該多頂出單元系頂出位于該載臺之至少二第一工件;該多吸放單元系吸取該至少二第一工件,并將該至少二第一工件放置于該調整臺;該承臺系供一第二工件設置;該多壓合單元系進行一旋轉運動,該多壓合單元系吸取位于該調整臺之至少二第一工件,并將該至少二第一工件壓合于該第二工件。
【IPC分類】H01L21/67
【公開號】CN205194664
【申請?zhí)枴緾N201520851749
【發(fā)明人】石敦智
【申請人】蘇州均華精密機械有限公司
【公開日】2016年4月27日
【申請日】2015年10月30日
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