技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種音圈電機(jī)，包括：定子，設(shè)有凹槽結(jié)構(gòu)，凹槽結(jié)構(gòu)的數(shù)量≧1；動(dòng)子，具有突狀結(jié)構(gòu)，所述突狀結(jié)構(gòu)設(shè)置在上述凹槽結(jié)構(gòu)內(nèi)，且形狀與所述凹槽結(jié)構(gòu)相匹配；以及線圈，至少部分設(shè)置在所述凹槽結(jié)構(gòu)內(nèi)。本發(fā)明通過設(shè)置與凹槽結(jié)構(gòu)相適配的突狀結(jié)構(gòu)對動(dòng)子產(chǎn)生與其重力方向相反的重力補(bǔ)償力，不僅能提高電機(jī)的穩(wěn)定性，降低了線圈因重力而產(chǎn)生的推力壓力，而且增加了電機(jī)的行程，進(jìn)一步提高了音圈電機(jī)的整體性能，有效滿足了光刻機(jī)長行程運(yùn)動(dòng)和高精度定位需求。

技術(shù)研發(fā)人員：段素丙;陳慶生;季漢川;胡兵;王瓊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海微電子裝備有限公司
文檔號碼：201510416089
技術(shù)研發(fā)日：2015.07.15
技術(shù)公布日：2017.05.24