本發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例涉及一種多堆疊式固化系統(tǒng)及用于制造半導(dǎo)體器件的方法。

背景技術(shù)：
已經(jīng)進(jìn)行了用于確定在半導(dǎo)體制造工藝過程中用于固化成型在印刷電路板(PCB)上的密封劑(encapsulant)的方法的研究。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例提供一種固化系統(tǒng)及操作該固化系統(tǒng)的方法，固化系統(tǒng)及操作該固化系統(tǒng)的方法可在一個(gè)腔室中固化具有不同固化限制時(shí)間的產(chǎn)品。本發(fā)明構(gòu)思的方面不應(yīng)該限于上面的描述，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將從在此描述的示例性實(shí)施例清楚地理解其他未提到的方面。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的一方面，提供一種多堆疊式固化系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括：腔室，具有入口和出口；儲(chǔ)盒，位于腔室中。具有密封劑的多個(gè)基板裝載在儲(chǔ)盒中。加熱器安裝在腔室中。加熱器被構(gòu)造并布置成加熱具有密封劑的所述多個(gè)基板。裝載單元與入口相鄰，并具有輸送裝置和推桿?；遄R(shí)別裝置位于裝載單元上。控制裝置結(jié)合到基板識(shí)別裝置。入口的尺寸大于具有密封劑的所述多個(gè)基板中每個(gè)基板的尺寸，且小于儲(chǔ)盒的尺寸。在實(shí)施例中，儲(chǔ)盒包括多個(gè)裝載槽，所述多個(gè)裝載槽被構(gòu)造并布置成裝載具有密封劑的所述多個(gè)基板。推桿的厚度小于裝載槽的節(jié)距。在實(shí)施例中，裝載單元還包括：板；軌，形成在所述板上。輸送裝置包括：第一輸送裝置，結(jié)合到所述板；第二輸送裝置，位于第一輸送裝置和入口之間，被構(gòu)造成沿著所述軌水平地運(yùn)動(dòng)。在實(shí)施例中，基板識(shí)別裝置安裝在第一輸送裝置上。在實(shí)施例中，第一輸送裝置和第二輸送裝置中的每個(gè)包括多個(gè)壓緊輪，所述多個(gè)壓緊輪被構(gòu)造并布置成一次只輸送具有密封劑的所述多個(gè)基板中的一個(gè)基板。在實(shí)施例中，基板識(shí)別裝置包括快速響應(yīng)(QR)碼掃描器、二維(2D)條形碼掃描器或者條形碼掃描器。在實(shí)施例中，具有密封劑的所述多個(gè)基板中每個(gè)基板包括識(shí)別(ID)碼，其中，ID碼是QR碼、2D條形碼或條形碼。在實(shí)施例中，所述系統(tǒng)還包括卸載單元，該卸載單元與出口相鄰，并具有第三輸送裝置和拉出件。在實(shí)施例中，拉出件包括夾具，夾具的尺寸允許夾具夾住具有密封劑的所述多個(gè)基板中選擇的一個(gè)基板。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的另一方面，提供一種多堆疊式固化系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括腔室，腔室具有入口和出口。儲(chǔ)盒位于腔室中。具有密封劑的多個(gè)基板裝載在儲(chǔ)盒中。加熱器安裝在腔室中。加熱器被構(gòu)造并布置成加熱具有密封劑的所述多個(gè)基板。卸載單元與出口相鄰。卸載單元具有輸送裝置和夾具?；遄R(shí)別裝置位于卸載單元上?？刂蒲b置結(jié)合到基板識(shí)別裝置。出口的尺寸大于具有密封劑的所述多個(gè)基板中每個(gè)基板的尺寸，且小于儲(chǔ)盒的尺寸。在實(shí)施例中，夾具具有這樣的尺寸，所述尺寸允許夾具夾住具有密封劑的所述多個(gè)基板中選擇的一個(gè)基板。在實(shí)施例中，卸載單元還包括：板；軌，形成在所述板上。輸送裝置沿著所述軌水平地運(yùn)動(dòng)。在實(shí)施例中，卸載單元的輸送裝置包括多個(gè)壓緊輪，所述多個(gè)壓緊輪被構(gòu)造并布置成一次只輸送具有密封劑的所述多個(gè)基板中的一個(gè)基板。在實(shí)施例中，所述系統(tǒng)還包括裝載單元，該裝載單元與入口相鄰，并具有第二輸送裝置和推壓件。在實(shí)施例中，推壓件包括推桿，推桿被構(gòu)造成一次只推動(dòng)具有密封劑的所述多個(gè)基板中的一個(gè)基板。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的另一方面，提供一種多堆疊式固化系統(tǒng)。該多堆疊式固化系統(tǒng)包括：裝載區(qū)；卸載區(qū)；固化區(qū)，包括腔室。所述腔室具有多個(gè)入口和多個(gè)出口。儲(chǔ)盒布置在腔室中。儲(chǔ)盒被構(gòu)造并布置成通過入口接收從裝載區(qū)輸送到腔室的具有密封劑的多個(gè)基板。所述多個(gè)基板的密封劑具有不同的固化限制時(shí)間。所述多個(gè)基板中的一個(gè)基板具有固化時(shí)間已經(jīng)過去的密封劑。所述一個(gè)基板與所述多個(gè)出口中的一個(gè)出口對(duì)齊，以輸出到卸載區(qū)。在實(shí)施例中，入口和出口的尺寸大于具有密封劑的所述多個(gè)基板的尺寸，且小于儲(chǔ)盒的尺寸。在實(shí)施例中，所述系統(tǒng)還包括加熱器，該加熱器位于腔室中，加熱器被構(gòu)造并布置成加熱具有密封劑的所述多個(gè)基板。在實(shí)施例中，裝載區(qū)包括裝載單元，裝載單元具有輸送裝置和推桿，其中，儲(chǔ)盒包括多個(gè)裝載槽，所述多個(gè)裝載槽被構(gòu)造并布置成裝載所述多個(gè)基板，其中，推桿的厚度小于裝載槽的節(jié)距。在實(shí)施例中，所述系統(tǒng)還包括基板識(shí)別裝置，該基板識(shí)別裝置位于裝載單元上。基板識(shí)別裝置包括快速響應(yīng)(QR)碼掃描器、二維(2D)條形碼掃描器或者條形碼掃描器。所述多個(gè)基板中的每個(gè)基板包括識(shí)別(ID)碼。ID碼是QR碼、2D條形碼或條形碼。其他實(shí)施例的具體細(xì)節(jié)包括在具體的描述和附圖中。附圖說明通過對(duì)本發(fā)明構(gòu)思的優(yōu)選實(shí)施例的更加具體的描述，本發(fā)明構(gòu)思的前述和其他特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)將是清楚的，本發(fā)明構(gòu)思的優(yōu)選實(shí)施例在附圖中示出，其中，在不同的視圖中，相同的參考字符指示相同的部件。附圖不一定按照比例繪制，其重點(diǎn)在于說明本發(fā)明構(gòu)思的原理。在附圖中：圖1是根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例的多堆疊式固化系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖；圖2和圖3分別是圖1的多堆疊式固化系統(tǒng)的透視圖和主視圖；圖4是根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例的多堆疊式固化系統(tǒng)從多堆疊式固化系統(tǒng)的裝載單元觀看的透視圖；圖5是多堆疊式固化系統(tǒng)從圖4的卸載單元觀看的透視圖；圖6是圖1的多堆疊式固化系統(tǒng)的裝載單元的透視圖；圖7是圖6的裝載單元的第一輸送裝置和第二輸送裝置的透視圖；圖8是圖6的裝載單元的第一輸送裝置的透視圖；圖9是圖6的裝載單元的第二輸送裝置的透視圖；圖10是圖6的裝載單元的推壓件的透視圖；圖11至圖13是示出圖10的推壓件的操作的透視圖；圖14是圖1的多堆疊式固化系統(tǒng)的腔室的透視圖；圖15和圖16是圖14的腔室的入口的透視圖；圖17是圖14的腔室的儲(chǔ)盒的透視圖；圖18是圖17的儲(chǔ)盒中每個(gè)儲(chǔ)盒的一部分的放大視圖；圖19是安裝在圖14的腔室中的加熱器的透視圖；圖20和圖21是圖14的腔室的出口的透視圖；圖22是圖1的多堆疊式固化系統(tǒng)的卸載單元的透視圖；圖23是圖22的卸載單元的第三輸送裝置和水平運(yùn)動(dòng)軌的透視圖；圖24是圖22的卸載單元的第三輸送裝置的透視圖；圖25和圖26是圖22的卸載單元的拉出件的透視圖；圖27是根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例的基板識(shí)別裝置的透視圖；圖28是根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例的形成在印刷電路板(PCB)的一個(gè)表面上的識(shí)別(ID)碼的布局；圖29是圖28的PCB的一部分的具體放大視圖；圖30是根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的另一實(shí)施例的形成在PCB的一個(gè)表面上的ID碼的布局；圖31是示出根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例的PCB、ID碼、密封劑的設(shè)置方式的透視圖；圖32是示出根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例的成型裝置、多堆疊式固化系統(tǒng)及標(biāo)記裝置的構(gòu)造的框圖；圖33是示出根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例的操作多堆疊式固化系統(tǒng)的方法的流程圖。具體實(shí)施方式現(xiàn)在，將參照附圖更加全面地描述各個(gè)實(shí)施例，在附圖中示出了一些實(shí)施例。然而，本發(fā)明構(gòu)思可以以不同的形式實(shí)施，且不應(yīng)該被解釋為限于在此闡述的實(shí)施例。相反，提供這些實(shí)施例以使本公開是徹底的和完全的，并將本發(fā)明構(gòu)思的范圍完全地傳達(dá)給本領(lǐng)域的技術(shù)人員。在附圖中，為了清楚起見，可夸大區(qū)域和層的厚度。還將理解的是，當(dāng)一個(gè)層被稱為“在”另一層或基板“上”時(shí)，該層可直接在另一層或基板上，或者還可存在中間層。相同的標(biāo)號(hào)始終指示相同的元件。將理解的是，雖然在此可使用術(shù)語第一、第二等來描述各個(gè)元件、部件、區(qū)域、層和/或部分，但是這些元件、部件、區(qū)域、層和/或部分不應(yīng)該受這些術(shù)語限制。這些術(shù)語僅用于將一個(gè)元件、部件、區(qū)域、層或部分與另一元件、部件、區(qū)域、層或部分區(qū)分開。因此，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的教導(dǎo)的情況下，下面討論的第一元件、部件、區(qū)域、層或部分可被稱為第二元件、部件、區(qū)域、層或部分。為了方便描述，在此可使用描述空間關(guān)系的術(shù)語(例如，“頂端”、“底端”、“頂表面”、“底表面”、“上”、“下”等)，以描述如附圖中所示的一個(gè)元件或特征與另一元件或特征的關(guān)系。將理解的是，這樣的術(shù)語意在除了包括在附圖中描述的方位之外還包括使用或操作的裝置的不同方位。例如，如果附圖中的裝置被翻轉(zhuǎn)，則被描述為在其他元件或特征“下面”或“下方”的元件將位于所述其他元件或特征“上方”。因此，術(shù)語“下面”可包括上面和下面兩個(gè)方向。所述裝置的方位可以以其他方式改變(例如，旋轉(zhuǎn)90度或者一些其他角度)，在此描述的空間關(guān)系應(yīng)該被解釋為在改變的方位范圍內(nèi)。在此使用的術(shù)語僅僅是為了描述特定實(shí)施例的目的，并不意在成為本發(fā)明構(gòu)思的限制。如在此使用的，除非上下文另外清楚地指示，否則單數(shù)形式也意在包括復(fù)數(shù)形式。還將理解的是，當(dāng)在本說明書中使用術(shù)語“包含”和/或“包括”時(shí)，說明存在所述特征、整體、步驟、操作、元件、部件和/或它們的組，但不排除存在或附加一個(gè)或更多其他特征、整體、步驟、操作、元件、部件和/或它們的組。除非另外限定，否則在此使用的所有術(shù)語(包括技術(shù)術(shù)語和科技術(shù)語)具有與本發(fā)明構(gòu)思所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員通常所理解的意思相同的意思。還將理解的是，在本說明書中的術(shù)語(例如，在通常使用的字典中定義的術(shù)語)應(yīng)該被解釋為具有與它們?cè)谙嚓P(guān)領(lǐng)域的上下文中的意思相同的意思，并且除非在此清楚地限定，否則所述術(shù)語將不被解釋為理想的或過于正式的意思。圖1是根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例的多堆疊式固化系統(tǒng)的系統(tǒng)框圖。圖2和圖3分別是圖1的多堆疊式固化系統(tǒng)的透視圖和主視圖。圖4是根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例的多堆疊式固化系統(tǒng)從多堆疊式固化系統(tǒng)的裝載單元觀看的透視圖。圖5是多堆疊式固化系統(tǒng)從圖4的卸載單元觀看的透視圖。參照?qǐng)D1，多堆疊式固化系統(tǒng)可包括裝載區(qū)22、固化區(qū)44和卸載區(qū)66。固化區(qū)44可布置在裝載區(qū)22和卸載區(qū)66之間。裝載單元23可安裝在裝載區(qū)22中。裝載單元23可包括第一輸送裝置24、第二輸送裝置25和推桿27。每個(gè)第一輸送裝置24可以是固定的輸送裝置。第一輸送裝置24可以彼此平行。每個(gè)第二輸送裝置25可以是可變的輸送裝置。每個(gè)第二輸送裝置25可與第一輸送裝置24連續(xù)地相鄰。每個(gè)第二輸送裝置25可在裝載區(qū)22中水平地運(yùn)動(dòng)(見涂黑的箭頭)。第一基板識(shí)別裝置81A和第二基板識(shí)別裝置81B可結(jié)合到第一輸送裝置24。固化區(qū)44可包括腔室45、加熱器55及一個(gè)或更多儲(chǔ)盒51。每個(gè)儲(chǔ)盒51可在腔室45中豎直地運(yùn)動(dòng)。加熱器55可安裝在腔室45中，并加熱腔室45的內(nèi)部。卸載單元67可安裝在卸載區(qū)66中。卸載單元67可包括第三輸送裝置69。第三輸送裝置69可在卸載區(qū)66中水平地運(yùn)動(dòng)(見涂黑的箭頭)。第三基板識(shí)別裝置81C可附著到第三輸送裝置69。第一基板識(shí)別裝置81A、第二基板識(shí)別裝置81B和第三基板識(shí)別裝置81C可以是快速響應(yīng)(QR)碼掃描器、二維(2D)條形碼掃描器或條形碼掃描器。參照?qǐng)D2和圖3，裝載區(qū)22、固化區(qū)44和卸載區(qū)66可一體地構(gòu)造。控制裝置93可安裝在固化區(qū)44的一個(gè)表面上?？刂蒲b置93可包括信息管理系統(tǒng)(IMS)服務(wù)器。在另一實(shí)施例中，控制裝置93可連接到外部主機(jī)。在另一實(shí)施例中，控制裝置93結(jié)合到第一基板識(shí)別裝置81A、第二基板識(shí)別裝置81B和第三基板識(shí)別裝置81C中的任何或所有基板識(shí)別裝置，和/或與第一基板識(shí)別裝置81A、第二基板識(shí)別裝置81B和第三基板識(shí)別裝置81C中的任何或所有基板識(shí)別裝置通信。參照?qǐng)D4和圖5，裝載單元23可與腔室45的一個(gè)表面結(jié)合。第一空氣簾49F可形成在腔室45的所述一個(gè)表面上。卸載單元67可與腔室45的另一表面結(jié)合。第二空氣簾49B和出口61可形成在腔室45的所述另一表面上。圖6是圖1的多堆疊式固化系統(tǒng)的裝載單元23的透視圖。圖7是圖6的裝載單元23的第一輸送裝置24和第二輸送裝置25的透視圖。圖8是圖6的裝載單元23的第一輸送裝置24的透視圖，圖9是圖6的裝載單元23的第二輸送裝置25的透視圖。參照?qǐng)D6，裝載單元23可包括安裝在第一板34上的第一輸送裝置24、第二輸送裝置25及一個(gè)或更多推壓件26。每個(gè)推壓件26可包括推桿27、第一支架28和第一上下單元29。參照?qǐng)D7，第一軌35可形成在第一板34上。第一輸送裝置24和第二輸送裝置25可安裝在第一板34上。第一輸送裝置24可布置成彼此平行。每個(gè)第二輸送裝置25可與第一輸送裝置24連續(xù)地相鄰。每個(gè)第二輸送裝置25可(例如)在水平方向上沿著第一軌35運(yùn)動(dòng)(見雙向箭頭)。第一基板識(shí)別裝置81A和第二基板識(shí)別裝置81B可結(jié)合到第一輸送裝置24。參照?qǐng)D8，每個(gè)第一輸送裝置24可包括第二支架36及安裝在第二支架36上的多個(gè)壓緊輪89。第二支架36可結(jié)合到第一板34。參照?qǐng)D9，每個(gè)第二輸送裝置25可包括第三支架37及安裝在第三支架37上的多個(gè)壓緊輪89。第三支架37可與第...