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多堆疊式固化系統(tǒng)的制造方法與工藝

文檔序號:11432750閱讀:來源:國知局
多堆疊式固化系統(tǒng)的制造方法與工藝

技術(shù)特征:
1.一種多堆疊式固化系統(tǒng),包括:腔室,具有入口和出口;儲盒,位于腔室中,其中,具有密封劑的多個基板裝載在儲盒中;加熱器,安裝在腔室中,加熱器被構(gòu)造并布置成加熱具有密封劑的所述多個基板;裝載單元,與入口相鄰,并具有輸送裝置和推桿;基板識別裝置,位于裝載單元上;控制裝置,結(jié)合到基板識別裝置,其中,入口的尺寸大于具有密封劑的所述多個基板中每個基板的尺寸,且小于儲盒的尺寸。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng),其中,儲盒包括多個裝載槽,所述多個裝載槽被構(gòu)造并布置成裝載具有密封劑的所述多個基板,其中,推桿的厚度小于裝載槽的節(jié)距。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng),其中,裝載單元還包括:板;軌,形成在所述板上,其中,輸送裝置包括:第一輸送裝置,結(jié)合到所述板;第二輸送裝置,位于第一輸送裝置和入口之間,被構(gòu)造成沿著所述軌水平地運(yùn)動。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng),其中,基板識別裝置安裝在第一輸送裝置上。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng),其中,第一輸送裝置和第二輸送裝置中的每個包括多個壓緊輪,所述多個壓緊輪被構(gòu)造并布置成一次只輸送具有密封劑的所述多個基板中的一個基板。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng),其中,基板識別裝置包括快速響應(yīng)碼掃描器、二維條形碼掃描器或者條形碼掃描器。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng),其中,具有密封劑的所述多個基板中的每個基板包括識別碼,其中,識別碼是快速響應(yīng)碼、二維條形碼或條形碼。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng),所述系統(tǒng)還包括:卸載單元,與出口相鄰,并具有第三輸送裝置和拉出件。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng),其中,拉出件包括夾具,夾具的尺寸允許夾具夾住具有密封劑的所述多個基板中選擇的一個基板。10.一種多堆疊式固化系統(tǒng),包括:腔室,具有入口和出口;儲盒,位于腔室中,其中,具有密封劑的多個基板裝載在儲盒中;加熱器,安裝在腔室中,加熱器被構(gòu)造并布置成加熱具有密封劑的所述多個基板;卸載單元,與出口相鄰,具有輸送裝置和夾具;基板識別裝置,位于卸載單元上;控制裝置,結(jié)合到基板識別裝置,其中,出口的尺寸...
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