本發(fā)明涉及生產(chǎn)制造領(lǐng)域，尤其涉及一種基板載臺(tái)和基板加工裝置。

背景技術(shù)：

在顯示基板的加工過(guò)程中，由于相鄰張的玻璃基板進(jìn)入設(shè)備的時(shí)間間隔較短，位于設(shè)備內(nèi)機(jī)臺(tái)上方的離子棒除靜電有效距離較短。經(jīng)常發(fā)生設(shè)備內(nèi)玻璃基板和機(jī)臺(tái)由于靜電吸附，導(dǎo)致不能進(jìn)行正常對(duì)位的情況發(fā)生，甚至發(fā)生玻璃破損，發(fā)生此問(wèn)題處理時(shí)間較長(zhǎng)。目前使用防靜電液涂覆來(lái)防止靜電產(chǎn)生，但是此方法有效期較短，一次涂覆設(shè)備停用時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，且目前尚不能證明加工過(guò)程是否會(huì)使防靜電液發(fā)生變性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明提供一種基板載臺(tái)和基板加工裝置，能夠減少基板在加工過(guò)程中產(chǎn)生的靜電。

基于上述目的本發(fā)明提供的基板載臺(tái)，用于承載基板，包括：

用以支撐基板的支撐條，所述支撐條的支撐面設(shè)置有多個(gè)第一出氣孔，所述支撐條的內(nèi)部設(shè)置有與所述多個(gè)第一出氣孔連通的出氣管，用以向所述多個(gè)第一出氣孔輸送氣體以支撐基板；

用于向基板輸送離子風(fēng)的離子風(fēng)輸送結(jié)構(gòu)；

用于向所述離子風(fēng)輸送結(jié)構(gòu)提供離子風(fēng)的離子風(fēng)提供結(jié)構(gòu)。

可選的，所述離子風(fēng)輸送結(jié)構(gòu)包括：

設(shè)置在所述支撐條的支撐面上的多個(gè)第二出氣孔；

與所述多個(gè)第二出氣孔連通的離子風(fēng)輸送管路。

可選的，所述離子風(fēng)輸送管路復(fù)用所述出氣管，所述第二出氣孔復(fù)用所述第一出氣孔。

可選的，所述離子風(fēng)輸送管路設(shè)置于所述出氣管至少一側(cè)。

可選的，所述離子風(fēng)輸送管道設(shè)置于所述出氣管兩側(cè)。

可選的，所述支撐條橫截面為“凸”字型，包括位于中間的凸起部和位于兩側(cè)且高度低于凸起部的延伸部；所述離子風(fēng)輸送管路設(shè)置于所述延伸部?jī)?nèi)，所述出氣管設(shè)置于所述凸起部?jī)?nèi)。

可選的，所述離子風(fēng)提供裝置包括：

清潔干燥空氣提供機(jī)構(gòu)：用于提供清潔干燥的空氣；

離子發(fā)生機(jī)構(gòu)：用于產(chǎn)生離子，并使離子夾雜在所述清潔干燥的空氣中；

供電機(jī)構(gòu)：用于向離子發(fā)生機(jī)構(gòu)供電，使得離子發(fā)生機(jī)構(gòu)產(chǎn)生離子。

可選的，所述離子發(fā)生機(jī)構(gòu)為針狀金屬部件。

可選的，所述針狀金屬部件設(shè)置于第二出氣孔處。

可選的，所述第一出氣孔的數(shù)量與所述第二出氣孔的數(shù)量相等。

同時(shí)，本發(fā)明提供一種基板加工裝置，包括本發(fā)明任意一項(xiàng)實(shí)施例所提供的基板載臺(tái)。

從上面所述可以看出，本發(fā)明提供的基板載臺(tái)和基板加工裝置，除了能夠向玻璃基板提供氣浮功能以外，還能夠在承載基板的同時(shí)向基板提供離子風(fēng)，能夠去除基板在基板載臺(tái)上產(chǎn)生的靜電，避免基板上積累過(guò)多的靜電而被吸附，導(dǎo)致后續(xù)的對(duì)位操作無(wú)法正常對(duì)位，保證了基板加工的質(zhì)量；靜電消除和基板加工可同時(shí)進(jìn)行，無(wú)需耗費(fèi)多余的時(shí)間，保證了生產(chǎn)加工效率。同時(shí)，本發(fā)明實(shí)施例在原有的基板載臺(tái)基礎(chǔ)上進(jìn)行簡(jiǎn)單改造就能夠?qū)崿F(xiàn)其承載基板以及減少或消除靜電的功能。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例的支撐條橫截面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例的支撐條俯視方向結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。

本發(fā)明首先提供一種基板載臺(tái)，用于承載基板，如圖1所示，包括：

用以支撐基板的支撐條101，所述支撐條101的支撐面設(shè)置有多個(gè)第一出氣孔102，所述支撐條的內(nèi)部設(shè)置有與所述多個(gè)第一出氣孔102連通的出氣管103，用以向所述多個(gè)第一出氣孔102輸送氣體以支撐基板；

用于向基板輸送離子風(fēng)的離子風(fēng)輸送結(jié)構(gòu)；

用于向所述離子風(fēng)輸送結(jié)構(gòu)提供離子風(fēng)的離子風(fēng)提供結(jié)構(gòu)。

在基板的加工過(guò)程中，由于相鄰張的玻璃基板進(jìn)入設(shè)備的時(shí)間間隔較短，位于設(shè)備內(nèi)機(jī)臺(tái)上方的離子棒除靜電有效距離較短。經(jīng)常發(fā)生設(shè)備內(nèi)玻璃基板和機(jī)臺(tái)由于靜電吸附，導(dǎo)致不能進(jìn)行正常對(duì)位情況發(fā)生，甚至發(fā)生玻璃破損，發(fā)生此問(wèn)題處理時(shí)間較長(zhǎng)，對(duì)整個(gè)工藝流程造成嚴(yán)重的不良影響。目前使用防靜電液涂覆來(lái)防止靜電產(chǎn)生，但是此方法有效期較短，一次涂覆設(shè)備停用時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，且目前尚不能證明加工過(guò)程是否會(huì)使防靜電液發(fā)生變性。

本發(fā)明提供的基板載臺(tái)，在現(xiàn)有的基板載臺(tái)的基礎(chǔ)上，增設(shè)靜電消除結(jié)構(gòu)(即離子風(fēng)輸送結(jié)構(gòu))，能夠在支撐基板使得基板能夠被加工的同時(shí)，向被支撐的基板提供離子風(fēng)，從而能夠利用離子風(fēng)去除基板在載臺(tái)上產(chǎn)生的靜電，從而達(dá)到消除基板靜電的目的。同時(shí)，本發(fā)明能夠在基板支撐在載臺(tái)上時(shí)向基板提供所述離子風(fēng)，既能夠消除靜電，又能夠增強(qiáng)載臺(tái)對(duì)基板的支撐力，提高支撐穩(wěn)定性，不會(huì)因?yàn)橄o電而停止基板加工工序，不會(huì)影響整個(gè)工藝的執(zhí)行效率。

在本發(fā)明具體實(shí)施例中，所述離子風(fēng)輸送結(jié)構(gòu)可以復(fù)用所述出氣管和所述第一出氣孔。

具體的，所述離子風(fēng)為帶有一定量電荷的氣體，當(dāng)這種離子風(fēng)吹送到基板上時(shí)，能夠中和基板上產(chǎn)生的靜電，從而達(dá)到減少或去除基板靜電的目的。

在本發(fā)明一些實(shí)施例中，仍然參照?qǐng)D1，所述離子風(fēng)輸送結(jié)構(gòu)包括：

設(shè)置在所述支撐條的支撐面上的多個(gè)第二出氣孔105；

與所述多個(gè)第二出氣孔105連通的離子風(fēng)輸送管路。

在本發(fā)明具體實(shí)施例中，所述離子風(fēng)輸送管路可以復(fù)用所述出氣管。所述多個(gè)第二出氣孔的送風(fēng)方向可以相同，也可以不相同。

在本發(fā)明一些實(shí)施例中，所述離子風(fēng)輸送管路復(fù)用所述出氣管，所述第二出氣孔復(fù)用所述第一出氣孔。

在本發(fā)明一些實(shí)施例中，所述離子風(fēng)輸送管路設(shè)置于所述出氣管至少一側(cè)，保證具有使至少部分區(qū)域靜電減少的效果。同時(shí)，所述離子風(fēng)輸送管路具有補(bǔ)充基板載臺(tái)的氣浮的功能。

在本發(fā)明一些實(shí)施例中，所述離子風(fēng)輸送管道設(shè)置于所述出氣管兩側(cè)，進(jìn)一步保證基板每個(gè)區(qū)域的靜電都能夠得到減少或消除，增強(qiáng)靜電去除效果。

在本發(fā)明具體實(shí)施例中，所述離子風(fēng)包括CDA(清潔干燥空氣，Clean Dry Air)，考慮到CDA氣體流量有限，為保證氣浮效果及除靜電效果，設(shè)置兩路離子風(fēng)輸送管道。

在本發(fā)明一些實(shí)施例中，仍然參照?qǐng)D1，所述支撐條101橫截面為“凸”字型，包括位于中間的凸起部1011和位于兩側(cè)且高度低于凸起部1011的延伸部1012；所述離子風(fēng)輸送管路設(shè)置于所述延伸部1012內(nèi)，所述出氣管103設(shè)置于所述凸起部?jī)?nèi)。

通過(guò)上述這種結(jié)構(gòu)，在載臺(tái)原有氣浮功能的基礎(chǔ)上，增加了支撐條下端的寬度，形成“凸”字型結(jié)構(gòu)，通過(guò)在玻璃載臺(tái)基板的支撐條上添加兩根氣管作為離子風(fēng)輸送管路，達(dá)到消除玻璃基板背面靜電的技術(shù)效果，從而解決靜電導(dǎo)致玻璃基板與基板載臺(tái)相吸附，使得玻璃基板無(wú)法對(duì)位甚至發(fā)生破損的技術(shù)問(wèn)題。離子風(fēng)輸送管路連接第二出氣孔，設(shè)置于出氣管的兩側(cè)，不會(huì)對(duì)載臺(tái)的結(jié)構(gòu)造成大幅度的改變，管路的布設(shè)也比較容易。離子風(fēng)輸送管路對(duì)稱(chēng)設(shè)置有利于基板在載臺(tái)上支撐的穩(wěn)定性。將支撐條改為橫截面“凸”字形結(jié)構(gòu)，能夠增強(qiáng)支撐條在向基板提供氣體的過(guò)程中的組裝穩(wěn)定性?？紤]到增加離子風(fēng)的作用范圍，第二出氣孔需要與玻璃基板間存在一定的距離，離子風(fēng)嘴需安裝于玻璃載臺(tái)下方，因此將支撐條設(shè)計(jì)為“凸”字型，同時(shí)該設(shè)計(jì)便于離子風(fēng)嘴的安裝、拆卸、更換。

在本發(fā)明一些實(shí)施例中，所述離子風(fēng)提供裝置包括：

清潔干燥空氣提供機(jī)構(gòu)：用于提供清潔干燥的空氣；

離子發(fā)生機(jī)構(gòu)：用于產(chǎn)生離子，并使離子夾雜在所述清潔干燥的空氣中；

供電機(jī)構(gòu)：用于向離子發(fā)生機(jī)構(gòu)供電，使得離子發(fā)生機(jī)構(gòu)產(chǎn)生離子。

在具體實(shí)施例中，離子發(fā)生機(jī)構(gòu)可以設(shè)置在離子風(fēng)輸送線(xiàn)路的起始端，即清潔干燥空氣提供機(jī)構(gòu)中，這樣可以簡(jiǎn)化電路設(shè)計(jì)。

采用清潔干燥空氣作為離子風(fēng)的氣流主體時(shí)，能夠降低離子風(fēng)的成本，清潔干燥的空氣基本上不會(huì)與基板載臺(tái)所承載的基板發(fā)生不良反應(yīng)。

在本發(fā)明一些實(shí)施例中，仍然參照?qǐng)D1，圖1中所述離子發(fā)生機(jī)構(gòu)為針狀金屬部件106。

所述針狀金屬部件，為長(zhǎng)條形金屬；針狀金屬部件伸出所述第二出氣孔，且所述針狀金屬部件伸出所述第二出氣孔的高度不超過(guò)所述支撐條的頂面，能夠在清潔干燥空氣中有效地產(chǎn)生離子且易于安裝在基板載臺(tái)上。

在本發(fā)明一些實(shí)施例中，仍然參照?qǐng)D1，所述針狀金屬部件106設(shè)置于第二出氣孔105處。

在本發(fā)明具體實(shí)施例中，可以將針狀金屬部件進(jìn)行彎折，以擴(kuò)大離子的擴(kuò)散范圍。

將針狀金屬部件設(shè)置于第二出氣孔處，能夠使得產(chǎn)生的離子得到有效的利用，離子產(chǎn)生后能夠立即提供給基板，避免離子在較長(zhǎng)距離的輸送過(guò)程中產(chǎn)生損耗，影響靜電減少或消除效果。

在本發(fā)明一些實(shí)施例中，所述第一出氣孔的數(shù)量與所述第二出氣孔的數(shù)量相等。

基板在加工的過(guò)程中，所述基板載臺(tái)向基板輸送氣體，用于支撐基板，氣體在與基板表面摩擦的過(guò)程中產(chǎn)生靜電，如圖2所示，當(dāng)?shù)谝怀鰵饪?01的數(shù)量與每一側(cè)第二出氣孔202的數(shù)量基本相等，第二出氣孔202設(shè)置于第一出氣孔201兩側(cè)時(shí)，能夠有效地減少或消除每個(gè)第一出氣孔201輸送的氣體在基板上產(chǎn)生的靜電，同時(shí)不會(huì)影響基板支撐的平衡性。

當(dāng)?shù)谝怀鰵饪變蓚?cè)均設(shè)置有第二出氣孔時(shí)，兩側(cè)的第二出氣孔對(duì)應(yīng)的兩個(gè)離子風(fēng)輸送管路可以分開(kāi)控制，從而可以根據(jù)需要調(diào)整離子風(fēng)的輸送量。也可以通過(guò)控制供電機(jī)構(gòu)提供的電能大小，從而可以調(diào)整離子風(fēng)中的離子量。

同時(shí)，本發(fā)明還提供一種基板加工裝置，包括本發(fā)明任意一項(xiàng)實(shí)施例所提供的基板載臺(tái)。

從上面所述可以看出，本發(fā)明提供的基板載臺(tái)和基板加工裝置，除了能夠向玻璃基板提供氣浮功能以外，還能夠在承載基板的同時(shí)向基板提供離子風(fēng)，能夠去除基板在基板載臺(tái)上產(chǎn)生的靜電，避免基板上積累過(guò)多的靜電而被吸附，導(dǎo)致后續(xù)的對(duì)位操作無(wú)法正常對(duì)位，保證了基板加工的質(zhì)量；靜電消除和基板加工可同時(shí)進(jìn)行，無(wú)需耗費(fèi)多余的時(shí)間，保證了生產(chǎn)加工效率。同時(shí)，本發(fā)明實(shí)施例在原有的基板載臺(tái)基礎(chǔ)上進(jìn)行簡(jiǎn)單改造就能夠?qū)崿F(xiàn)其承載基板以及減少或消除靜電的功能。

應(yīng)當(dāng)理解，本說(shuō)明書(shū)所描述的多個(gè)實(shí)施例僅用于說(shuō)明和解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。并且在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。

顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。